Dr.-Ing. Armand Beyer

Arbeitsgebiete

• Forschungsprojekt "In-die Parametervariation" mit GLOBALFOUNDRIES
  • theoretische Arbeiten zum Sachgebiet
  • Entwicklung von geeigneten Messverfahren zur Aufnahme von Parametervariationen von Transistorarrays und speziell kontaktierten Transistoren aus dem Die
  • Entwicklung und Bereitstellung von Auswerte- und Darstellungsverfahren
  • Vorbereitung von Experimenten zur Untersuchung von In-die Parametervariationen
  • Mitarbeit bei der Entwicklung von geeigneten Teststrukturen
  • Vergleichende Messungen und Betrachtungen zwischen Transistoren mit dem Gatesystem SiON/POLY im Vergleich zu HKMG und HKMG/POLY

Veröffentlichungen

• Beyer, A.; Reich, R.; Rennau, M.; Ebest, G.: Corona charging of insulated surface and application in the photovoltaic, Proc. of the 13th European Photovoltaic Solar Energy Conference 1995, Nizza
• Beyer, A.; Ebest, G.; Reich, R.: Metal Insulator Semiconductor inversion layer solar cell by Rapid Thermal Processing, Appl. Phys. Letters 67 (1995), 697
• Beyer, A.; Ebest, G.: Neue Verfahrensschritte zur Wirkungsgradverbesserung von MIS-Solarzellen und Übertragung auf zukünftige Si-Substrate, Zwischenbericht zum BMBF-Verbundprojekt "Neue Verfahren zur Erhöhung der Leerlaufspannung von MIS-Inversionsschicht-Solarzellen", April 1995
• Beyer, A.; Ebest, G.; Reich, R.: MIS solar cells with silicon oxynitride tunnel insulator by using rapid thermal processing, Applied Physics Letters 68 (4) 1996 , p.508
• Ebest, G.; Beyer, A.: Neue Verfahren zur Erhöhung der Leerlaufspannung an MIS-Inversionsschicht-Solarzellen, Statusreport 1996 (Photovoltaik), Beitrag Nr.12
• Ebest, G.; Beyer, A.: Neue Verfahren zur Erhöhung der Leerlaufspannung an MIS-Inversionsschicht-Solarzellen, Abschlußbericht zum Forschungsprojekt, 1997
• Ebest, G.; Beyer, A.; Mrwa, A.; Reich, R.: Neue Verfahren zur Erhöhung der Leerlaufspannung von MIS-Inversionsschicht-Solarzellen, Abschlußbericht zum BMBF-Projekt, März 1998
• Mrwa, A.; Ebest, G.; Rennau, M.; Beyer, A.: High Efficiency MIS Inversion Layer Solar Cells Prepared by Rapid Thermal Process (PDF, 172kB), Poster VA 1/11, 16th European Photovoltaic Solar Energy Conference, 1-5 May 2000, Glasgow/Great Britain
• Mrwa, A.; Ebest, G.; Rennau, M.; Beyer, A.: Comparison of different emitter diffusion methods for MINP solar cells: thermal diffusion and RTP, Solar Energy Materials & Solar Cells, Vol. 61, Iss. 2 (2000), pp. 127-134, doi:10.1016/S0927-0248(99)00105-1
• Mrwa, A.; Ebest, G.; Rennau, M.; Beyer, A.: High efficiency MINP solar cells: Comparison between conventional and rapid thermal process (PDF, 192kB), 17th European PVSEC, VC 1.29, Munich, 22-26 October 2001