Oberflächensensitive, zerstörungsfreie elementspezifische Materialcharakterisierung mit bis zu 1 µm räumlicher Auflösung

Bestimmung von Schichtdicken

Tiefenprofile mit Hilfe von Ionenbestrahlung

Monochromatisierte Al-K_α - Quelle

Durchmesser des Messflecks von 1 mm bis 200 µm

Digitalkamera mit Mikroskop zur Abbildung der Oberfläche

Ionenkanone für Ätzen der Oberfläche und Tiefenprofile

Flood gun für Ladungskompensation

Techniken:

• Röntgeninduzierte Photoelektronenspektroskopie (XPS) mit bis zu 1 µm räumlicher Auflösung

• X-Ray Photoelectron Imaging (XPi)

• Auger Elektronen Spektroskopie (AES), Scanning Auger Mapping (SAM)

• Ultraviolet Photoelektronenspektroskopie (UPS)

• Ionenstreuungsspektroskopie (ISS)