Ausstattung der Professur Mikrofertigungstechnik
Kugler Microgantry® GU
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Mikrobearbeitungsmaschine
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- Technische Angaben:
- 4 CNC - Achsen
- Hochfrequenzspindel mit max. 200.000 min-1
- Positioniergenauigkeit: ± 0,3 µm
- Minimalmengenschmiersystem
- integrierter Nd:YVO4 - Laser (Wellenlänge 532 nm durch Frequenzverdopplung)
- Anwendung:
- Mikrobearbeitung (Bohren, Fräsen, Sägen) und Mikrostrukturierung (Laserstrahlabtragen)
- Glanzbearbeitung von NE-Metallen
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Spinner PD 32
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Präzisionsdrehmaschine
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- Technische Angaben:
- Haupt- und Gegenspindel
- Revolver mit angetriebenen Werkzeugen
- integrierte Zerspankraftmessplattform
- Kühlschmierung mit Emulsion
- Anwendung:
- Präzisionsbearbeitung von Sonderwerkstoffen und gehärteten Stählen
- Herstellung von Nebenformelementen (z.B. Bohrungen, Gewinde, Schlüsselflächen, ...)
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GDW TDF 26
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Tangentialdrehfräsmaschine
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- Technische Angaben:
- Orthogonal- und Tangentialdrehfräsen
- Hochfrequenzspindel mit max. 50.000 min-1
- Reitstock
- Trockenbearbeitung oder Minimalmengenschmierung
- Anwendung:
- Präzisionsbearbeitung rotationssymmetrischer Werkstücke mit Schlüsselflächen, Nuten und Einstichen
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DMG Microset VIO 20/50 linear
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Werkzeugvoreinstellgerät
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- Technische Angaben:
- Präzisionsspindel
- translatorische Achsen mit Linearantrieben und Glasmaßstäben
- Auf- und Durchlicht
- 2. Kamera zur Vermessung der Spitzenhöhe (mit Auflicht)
- max. Werkzeugdurchmesser 420 mm, max. Länge 500 mm
- umfangreiche Messsoftware
- Anwendung:
- Vermessung von Werkzeugen für Dreh- und Fräsmaschinen
- Bewertung des Werkzeugverschleißes
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P.FÜ.MA 200kN
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Präzisionsumformmaschine
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- Technische Angaben:
- Arbeitsraum: 500 x 500 mm2
- Pressenhub: 400 mm
- Presskraft: Fmax = 200 kN
- Umformgeschwindigkeit: vmax = 3000 mm/min
- AC-Servomotor
- Anwendung:
- Entwicklung von Verfahren und Werkzeugsystemen zur flächigen Mikrostrukturierung
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Die Maschine ist eine Leihgabe der Deutschen Forschungsgemeinschaft DFG.
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Prototyp ECM Anlage
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Modularer Eigenbau für Jet-ECM und PECM
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- Technische Angaben:
- 3-Achssystem in Portalbauweise
- Maximale Spannung 56 V
- Maximaler Strom 10 A
- Gleichstrom und gepulster Gleichstrom
- Maximaler Elektrolytdruck 525 bar
- Elektrolyte: Natriumchlorid und Natriumnitrat
- Anwendung:
- Anlage zur elektrochemischen Mikrobearbeitung
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Der Prototyp wird in Kooperation mit dem Fraunhofer-Institut für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik betrieben.
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Sartorius ME36S
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Mikrowaage
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- Technische Angaben:
- Wägebereich: 31 g
- Ablesbarkeit: 0,001 mg
- Reproduzierbarkeit: ± ≤ 2 µg
- vollautomatische Kalibrier- und Justierfunktion
- Anwendung:
- Bestimmung der abgetragenen Masse bei der ECM-Bearbeitung durch Differenzwägung
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Die Waage ist eine Leihgabe der Deutschen Forschungsgemeinschaft DFG.
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Keyence VHX-100
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3D-Mikroskop
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- 18 Millionen Pixel Auflösung
- 5000 fache Vergrößerung
- 3-dimensionale Anzeigefunktion
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Nikon MM-400
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Messmikroskop
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- Auflicht / Durchlicht
- Polarisator für Interferenzkontrast-Betrachtungen
- Objektive mit Vergrößerungen 2.5x, 10x, 20x, 50x, 100x
- Mikrometer-Positioniertisch (150 mm x 100 mm)
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COMSOL Multiphysics™
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FEM Simulationssoftware
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- CAD-Import
- Material Library
- AC/DC - Modul
- Chemical Engineering - Modul
- MEMS - Modul
- Structural Mechanics - Modul
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Sonstige Ausstattung
- CO2-Schneestrahlreinigungsgerät
- Mikroskope
- System zur Messwerterfassung unter LabView®
- Programmiersystem
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