TU Chemnitz, Fakultät Maschinenbau, Professur Mikrofertigungstechnik: Fakultät Maschinenbau: Professur Mikrofertigungstechnik: Ausstattung

FEM Simulationssoftware

• 2D- und 3D-Umgebung
• CAD-Import
• Material Library
• AC/DC - Modul
• Acoustics - Modul
• Chemical Engineering - Modul
• Earth Science - Modul
• Heat Transfer - Modul
• MEMS - Modul
• RF - Modul
• Structural Mechanics - Modul
• Plasma Modul

Serverinfrastruktur mit 512 GB RAM und 32 CPU Kernen. Informationen zum Serverbetrieb via Intranet

Präzisions Mikrofunkenerosionsmaschine Sarix SX - 100

• Arbeitsfläche: 510 x 270 mm
• Verfahrweg X,Y, Z-Richtung: 250, 150, 150 mm
• Verfahrpräzision: +/- 2 µm bei 50 mm Verfahrweg

• Mikrobearbeitung (Erodieren) von Metall
• Mikrobearbeitung (Erodieren) von Keramik
• Erzeugen von Mikrobohrungen ab 50 µm Durchmesser

Freitast-Rauheitsmesssystem GD25

• Messweg: 25 mm
• Rz-Restwerte < 30 nm
• integrierter Y-Tisch (minimale Schrittweite: 0,375 µm)

• Rauheitsmessung an kleinen bis mittelgroßen Bauteilen
• Bestimmung der Schneidenschartigkeit an Zerspanungswerkzeugen
• Topographiemessung an Oberflächen

Form- und Lagemesssystem MMQ200

• hochgenaue Rundheitsmessachse (C), motorische Messachse vertikal (Z) und motorischer Messtaster T7W
• für Werkstücke bis 20 kg
• max. Prüfdurchmesser: 230 mm, max. Prüfhöhe: 250 mm

• Bestimmung von Form- und Lagetoleranzen nach DIN EN ISO 1101, z. B.:
  • Rundheit
  • Geradheit
  • Rundlauf
  • Planlauf
  • Zylinderform
  • Parallelität
•  Rauheitsmessung axial und in Umlaufrichtung (an rotationssymmetrischen Bauteilen)

Oberflächendarstellungs- und Analyse-Software MountainsMap6.1^®

• Messdatenanalyse sämtlicher Dateiformate (konfokale Mikroskope, Weißlichtinterferometer, Rastersondenmikroskope, berührend und berührungslos messende Profilometer)
• universeller Daten-Export
• Bestimmung flächenhafter Oberflächenkennwerte

Mikrobearbeitungsmaschine

• 4 CNC - Achsen
• Hochfrequenzspindel mit max. 200.000 min^-1
• Positioniergenauigkeit: ± 0,3 µm
• Minimalmengenschmiersystem
• integrierter Nd:YVO₄ - Laser (Wellenlänge 532 nm durch Frequenzverdopplung)

• Mikrobearbeitung (Bohren, Fräsen, Sägen) und Mikrostrukturierung (Laserstrahlabtragen)
• Glanzbearbeitung von NE-Metallen

Präzisionsdrehmaschine

• Haupt- und Gegenspindel
• Revolver mit angetriebenen Werkzeugen
• Systeme zur prozessintegrierten Zerspankraft- und Leistungserfassung
• Kühlschmierung mit Emulsion

• Präzisionsbearbeitung von Sonderwerkstoffen und gehärteten Stählen
• Herstellung von Nebenformelementen (z.B. Bohrungen, Gewinde, Schlüsselflächen, ...)

Tangentialdrehfräsmaschine

• Orthogonal- und Tangentialdrehfräsen
• Hochfrequenzspindel mit max. 50.000 min^-1
• Reitstock
• Trockenbearbeitung oder Minimalmengenschmierung

• Präzisionsbearbeitung rotationssymmetrischer Werkstücke mit Schlüsselflächen, Nuten und Einstichen

Werkzeugvoreinstellgerät

• Präzisionsspindel
• translatorische Achsen mit Linearantrieben und Glasmaßstäben
• Auf- und Durchlicht
• 2. Kamera zur Vermessung der Spitzenhöhe (mit Auflicht)
• max. Werkzeugdurchmesser 420 mm, max. Länge 500 mm
• umfangreiche Messsoftware

• Vermessung von Werkzeugen für Dreh- und Fräsmaschinen
• Bewertung des Werkzeugverschleißes

Präzisionsumformmaschine

• Arbeitsraum: 500 x 500 mm²
• Pressenhub: 400 mm
• Presskraft: F_max = 200 kN
• Umformgeschwindigkeit: v_max = 3000 mm/min
• AC-Servomotor

• Entwicklung von Verfahren und Werkzeugsystemen zur flächigen Mikrostrukturierung

Die Maschine ist eine Leihgabe der Deutschen Forschungsgemeinschaft DFG.

Modularer Eigenbau für Jet-ECM und PECM

• 3-Achssystem in Portalbauweise
• Maximale Spannung 56 V
• Maximaler Strom 10 A
• Gleichstrom und gepulster Gleichstrom
• Maximaler Elektrolytdruck 525 bar
• Elektrolyte: Natriumchlorid und Natriumnitrat

• Anlage zur elektrochemischen Mikrobearbeitung

Der Prototyp wird in Kooperation mit dem Fraunhofer-Institut für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik betrieben.

Präzisionsmikrowaage

• Wägebereich: bis 31 g
• Ablesbarkeit: 0,001 mg
• Reproduzierbarkeit: ± ≤ 2 µg
• vollautomatische Kalibrier- und Justierfunktion

• Bestimmung der abgetragenen Masse bei der ECM-Bearbeitung durch Differenzwägung

Die Waage ist eine Leihgabe der Deutschen Forschungsgemeinschaft DFG.

Analysenwaage

• Wägebereich: 10 mg - 610 g
• Ablesbarkeit: 0,1 mg
• vollautomatische Kalibrier- und Justierfunktion

• Bestimmung der abgetragenen Masse bei der ECM-Bearbeitung durch Differenzwägung
• Ermittlung der durch Verschleiß abgetragenen Massen für tribologische Untersuchungen

3D-Laserscanning Mikroskop

• Violetter Halbleiter-Laser und Halogenleuchte
• 200 bis 18000 fache Vergrößerung
• Minimale Auflösung des Höhenmesssystems 1 nm
• Objektive mit Vergrößerung: 10x, 20x, 50x, 100x, 150x
• Automatische Messung durch motorbetriebenen Objekttisch

Anwendung:

• Vermessung von Werkzeugen für Dreh- und Fräßmaschinen
• Bewertung des Werkzeugverschleißes
• Vermessung von Mikrostrukturen und optische Rauheitsmessung

3D-Mikroskop

• 18 Millionen Pixel Auflösung
• 5000 fache Vergrößerung
• 3-dimensionale Anzeigefunktion

OFV-5000 Controller

• Digitaler Breitband-Geschwindigkeitsdecoder VD-09:
  • Bandbreite: 0 - 2,5 MHz,
  • Maximale Geschwindigekit: 10 m/s
  • Auflösung: 0,02 µm/s
• Digitaler Breitband-Wegdecoder DD900:
  • Wegauflösung: 15 pm
  • Frequenzbereich: 0 - 2,5 MHz

• Berührungslose Schwingungsmessung
• Messung kleinster Längenänderungen

OFV-505 Vibrometer Einpunkt Messkopf

• He-Ne Laser mit einer Wellenlänge von 633 nm
• Arbeitsabstand größer 250 mm bis ca. 5m

Messmikroskop

• Auflicht / Durchlicht
• Polarisator für Interferenzkontrast-Betrachtungen
• Objektive mit Vergrößerungen 2.5x, 10x, 20x, 50x, 100x
• Mikrometer-Positioniertisch (150 mm x 100 mm)

• CO₂-Schneestrahlreinigungsgerät


• Mikroskope


• Pyrometer Infratherm IP 140


• Digitales Höhenmessgerät Mahr 817 CLM-2D