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Einladung und Programm

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11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik

- Mikromechanik & Mikroelektronik -

Chemnitz, 23./24. Oktober 2012


Vorwort
Organisation
Trägerorganisationen
Programm
Veranstaltungsort
Allgemeine Hinweise
Verbindliche Anmeldung zur Tagung


Vorwort

Mikrosystemtechnik - der Name ist Programm: Extrem miniaturisierte Funktions- und Formelemente in Kombination mit verschiedenen Wirkprinzipien, Materialien, Technologien, Signalverarbeitungs- und Ansteuertechniken haben mit neuartigen Sensoren, Aktoren und intelligenten Systemen den Markt erobert. Die rasante Entwicklung hält seit 20 Jahren an. Neben Mikromechanik und Mikroelektronik sind Mikrofluidik und Mikrooptik wichtige Segmente.

Die Reihe der Chemnitzer Fachtagungen startete 1992, im Jahr 2012 findet sie zum 11. Male statt. Das Interesse am Wissensaustausch mit Fachkollegen ist unverändert groß. Deshalb soll diese Tagung den Spezialisten von Mikromechanik und Mikroelektronik wieder eine Gelegenheit bieten, sowohl den wissenschaftlichen Meinungsaustausch als auch Kontakte pflegen zu können. Die Organisation der Tagung ermöglicht es, sich über Entwicklungen und Forschungsergebnisse beider Gebiete der Mikrosystemtechnik zu informieren. Das Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz (ZfM) sowie die Fraunhofer ENAS sind als Kompetenzzentren in die Tagung involviert.

Das Programm umfasst neben den eingeladenen Vorträgen zahlreiche Fachvorträge, eine Postersession und eine Firmenpräsentation. Der Anteil an Beiträgen zu Anwendungen im medizinischen Bereich ist dabei im Vergleich zu den vorangegangenen Tagungen deutlich gestiegen. Um die ausstellenden Firmen in engen Kontakt mit dem fachkundigen Publikum zu bringen, haben die Firmen im Rahmen einer Extrasession wieder die Gelegenheit, im Auditorium auf sich und ihre Produkte hinzuweisen sowie Eindrücke von neuen Mikro-Produkten und ihrer Leistungsfähigkeit zu vermitteln. Darüber hinaus begleitet die Ausstellung der Firmen die Tagung während der gesamten Dauer.

Die Veranstaltung am Abend des 23. Oktober findet im Naturkundemuseum des Kulturzentrums "DAS TIETZ" statt, das u.a.eine bedeutende Ausstellung des in und um Chemnitz gefundenen "Versteinerten Waldes" beherbergt, die besichtigt werden kann. Der anschließende Empfang bietet reichlich Gelegenheit zum Fachsimpeln.

Wir laden Sie herzlich ein, am 23. und 24. Oktober 2012 nach Chemnitz zu kommen.

Prof. Dr. J. Mehner Prof. Dr. G. Herrmann
Organisationskomitee


Organisation

Programmkomitee:

C. Dittrich GEMAC mbH, Chemnitz
P.-C. Eccardt Siemens AG, München
J. Fischer Fraunhofer IPMS, Dresden
G. Gerlach TU Dresden
T. Geßner TU Chemnitz und Fraunhofer ENAS
U. Heinkel TU Chemnitz
M. Hoffmann TU Ilmenau
L. Kroll TU Chemnitz
J. Mehner TU Chemnitz
M. Maute Robert Bosch GmbH, Stuttgart
B. Michel Fraunhofer ENAS, Chemnitz
H. Rauch iSyst GmbH, Nürnberg
P. Schneider Fraunhofer IIS EAS, Dresden
U. Schwarz X-FAB AG, Erfurt

Organisationskomitee:

Prof. Dr. J. Mehner, Dr. R. Kiehnscherf, Dr. M. Dienel
Tel.: 0371 531 24430, Fax: 0371 531 24439

Prof. Dr. G. Herrmann
Tel.: 0371 531 24310, Fax: 0371 531 24319

Frau Dr. M. Vogel, Firmenpräsentation
Tel.: 0371 45001 203, Fax: 0371 45001 303

Adresse:

Technische Universität Chemnitz
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
z.H. Prof. Dr. G. Herrmann
09107 Chemnitz

e-mail: herrmann@etit.tu-chemnitz.de (Nicht für Anmeldungen verwenden!)


Trägerorganisationen


Technische Universität Chemnitz Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

Verein "Angewandte Mikroelektronik Chemnitz e. V." ( AMEC)

Förderverein für Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik Chemnitz e. V.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM)


Programm

Dienstag, 23. Oktober 2012

Eröffnungssession 1. Tag
Session 1: Applikation (1)
Postersession, Firmenausstellung
Session 2: Medizin (1)
Session 3: Medizin (2)
Abendveranstaltung

Mittwoch, 24. Oktober 2012

Eröffnungssession 2. Tag
Session 4: Werkstoffe, Zuverlässigkeit
Session 5: Messtechnik, Technologie
Parallelsession Forschergruppe 1713, TU Chemnitz
Session 6: Applikation (2)
Session 7: Entwurf, Mikroelektronik

Dienstag, 23. Oktober 2012

Zeit Eröffnungssession 1. Tag
9.30 Eröffnung durch den Rektor der TU Chemnitz
Prof. Dr. Arnold van Zyl
9.45 Energy harvesting and storage at small scales: miniature solutions for macroscale needs
- Eingeladener Vortrag -
Prof. Dr. Carol Livermore, Department of Mechanical and Industrial Engineering, Northeastern University, Boston, Massachusetts
10.25 Feinwerk- und Gerätetechnik - Anwendungsfeld der Mikrotechniken
- Eingeladener Vortrag -
Priv.-Doz. Dr.-Ing. Thomas Nagel, TU Dresden, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design
11.05 -
11.25
Kaffee

Dienstag, 23. Oktober 2012

Zeit Beitrag Session 1: Applikation (1)
11.25 S1-1 Thermische Sensoren zur Messung von Gaseigenschaften und Gaskonzentrationen
Kliche, K.; Kunze, M.; Ashauer, M.; Zengerle, R.; Hahn-Schickard-Gesellschaft, Institut für Mikro- und Informationstechnik, Villingen-Schwenningen
11.45 S1-2 Strukturintegrierte Systeme zur Füllstandsmessung
Leibelt, J.; Kompetenzzentrum Strukturleichtbau e.V.; Chemnitz
12.05 S1-3 Mechanisches Realverhalten eines mikrostrukturierten Reifendrucksensors
Foitzik, A.H.; Göpfrich, A.; Pflüger, M.; Stollfuß, C.; Lietzau, K.-H.; Vogt, T.; Töpfer, H.; Technische Hochschule Wildau; Hochschule Esslingen/Göppingen
12.25 -
13.25
Mittag
Zeit Postersession
13.25 An ihren Postern können die Autoren ihre Beiträge vorstellen und mit den Tagungsteilnehmern ins Gespräch kommen.
Zeit Firmenpräsentation
13.55 Die ausstellenden Firmen erhalten die Gelegenheit, sich und ihre Produkte kurz vorzustellen und auf ihre Stände hinzuweisen

Dienstag, 23. Oktober 2012

Zeit Beitrag Session 2: Medizin (1)
14.25 Koordinationsschulung und Sturzprophylaxe in der Orthopädischen Rehabilitation
- Eingeladener Vortrag -
Chefarzt Dr. med. Michael Thomä, Klinik für Orthopädische Anschlussheilbehandlung, Kliniken Erlabrunn gGmbH
14.55 S2-1 Entwicklungen und Konzepte zum Einsatz von Biosensoren in der Kardiologie
Müller, A.; Tenholte, D.; Mehner, J.; Schweizer, J.; Klinik für Innere Medizin I, Klinikum Chemnitz gGmbH; TU Chemnitz, Professur Mikrosystemtechnik und Gerätetechnik
15.15 S2-2 "Segmented-Flow-Technik" für den Lifesciences Bereich - Applikationen mit der Technologieplattform "pipe-based-bioreactors" aus dem iba Heiligenstadt
Metze, J.; Cahill, B.; Lemke, K.; Grodrian, A.; Römer, R.; Wölfer, K.; Förster, T.; Wiedemeier, S.; Schemberg, J.; Gastrock, G.; Institut für Bioprozess- und Analysenmesstechnik e.V. (iba), Fachbereich Bioprozesstechnik
15.35 -
15.55
Kaffee

Dienstag, 23. Oktober 2012

Zeit Beitrag Session S3: Medizin (2)
15.55 S3-1 Ein intravesikales Messsystem zur katheterlosen Urodynamik
Hamacher, J.; Tenholte, D.; Muthen, N.; Schumacher, P.; Mehner, J.; Engelmann, U.; Wille, S.; Klinik für Urologie der Uniklinik Köln; TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
16.15 S3-2 Design und Entwicklung eines mikrostrukturierten Wurzelstifts für die Zahnmedizin
Gatomski, G.; Böhme, A.; Schütze, F.; Lietzau, K.-H.; Edel, C.H.; Foitzik, A.H.; Technische Hochschule Wildau
16.35 S3-3 Entwicklung eines miniaturisierten in vitro-Lymphknotens mit Inlay Analytik
Böhme, A.; Ratke, L.; Gatomski, G.; Schütze, F.; Schneider, S.; Edel, C.H.; Frohme, M.; Foitzik, A.H.; Technische Hochschule Wildau
16.55 S3-4 Split.it - automatisierte Zellpassage
Colin, R.; Hochschule Esslingen - University of Applied Sciences, Göppingen

Dienstag, 23. Oktober 2012

Zeit Abendveranstaltung
ab
18.30
Stehempfang und Besichtigung des Museums für Naturkunde nebst Versteinertem Wald im Kulturzentrum "DAS TIETZ"


Mittwoch, 24. Oktober 2012

Zeit Eröffnungssession 2. Tag
9.00 Smart Systems Integration - Innovationstreiber auch in der Zukunft
- Eingeladener Vortrag -
Thomas Köhler, VDI/VDE-IT
Zeit Beitrag Session 4: Werkstoffe, Zuverlässigkeit
9.30 S4-1 Rissvermeidungsstrategien für Mikrosysteme aus Werkstoffverbunden mit Kunststoffen
Michel, B.; Winkler, T.; Rzepka, S.; Auerswald, E.; Auersperg, J.; Fraunhofer ENAS Chemnitz; Micro Materials Center e.V. Berlin; Berliner Nanotest und Design GmbH; AMIC GmbH Berlin
9.50 S4-2 Analyses of mechanical stress on MEMS gyroscopes by measurements and simulations
Dorwarth, M.; Kehrberg, S.; Schmidt, B.; Schellenberg, M.; Rank, H.; Mehner, J.; Robert Bosch GmbH Stuttgart, Dept. of Microsystems and Precision Engineering; Chemnitz University of Technology
10.10 S4-3 The Influence of Thermomechanical Stresses on the Temperature Stability of the Resonant Pressure Sensor Characteristics
Gridchin, V.A.; Chebanov, M.A.; Vasilyev, V.Yu.; Novosibirsk State Technical University; SibIS LLC, Novosibirsk
10.30 S4-4 Hochgenaue Bestimmung mechanischer Spannungen in Elektronik- und MEMS-Komponenten durch ein Stressmesschip
Schindler-Saefkow, F.; Otto, A.; Faust, W.; Wunderle, B.; Michel, B.; Rzepka, S.; Fraunhofer ENAS, Micro Materials Center, Chemnitz; TU Chemnitz; Berliner Nanotest und Design GmbH, Chemnitz
10.50 -
11.10
Kaffee

Mittwoch, 24. Oktober 2012

Zeit Beitrag Session 5: Messtechnik, Technologie
11.10 S5-1 Innovative Charakterisierungsplattform zur Bewertung von Thermischen Interface-Materialien (TIM)
AboRas, M.; Wunderle, B.; Schacht, R.; May, D.; Winkler, T.; Michel, B.; Berliner Nanotest und Design GmbH, Berlin; Fraunhofer ENAS, Micro Materials Center, Chemnitz; TU Chemnitz; Hochschule Lausitz (FH), Senftenberg
11.30 S5-2 Festigkeitsanalyse an thermokompressionsgebondeten Sensorstrukturen auf Waferlevel
Vogel, K.; Baum, M.; Roscher, F.; Rank, H.; Mayer, T.; Wiemer, M.; Geßner, T.; Fraunhofer ENAS Chemnitz; TU Chemnitz; Robert Bosch GmbH
11.50 S5-3 Field emitting carbon nanotubes in MEMS-structures for movement sensors
Loschek, S.; Hermann, S.; Haibo, Y.; Schulz, S.E.; TU Chemnitz, Center for Microtechnologies
12.10 S5-4 IR-Trocknung von SU-8: Experimentelle und theoretische Untersuchung des Trocknungsverhaltens
Schönfeld, M.; Schubert, S.; Saupe, J.; Vogel, J.; Grimm, J.; Westsächsische Hochschule Zwickau
12.30 S5-5 Laserbasierter Multilayer-Fügeprozess zur Erzeugung heterogener und druckstabiler mikrofluidischer Systeme
Geidel, S.; Enderlein, T.; Morschhauser, A.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.; Fraunhofer ENAS, Abteilung für Multi Device Integration, Chemnitz; TU Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien
12.50 -
13.50
Mittag

Mittwoch, 24. Oktober 2012

Zeit Beitrag Session: DFG-Forschergruppe 1713, TU Chemnitz
10.00 FG0 Eröffnung
Geßner, T. , TU Chemnitz und Fraunhofer ENAS, Sprecher der DFG-Forschergruppe 1713
10.10 FG1 Wafer level approaches for the integration of carbon nanotubes in electronic and sensor applications
Hermann, S.; Loschek, S.; Fiedler, H.; Haibo, Y.; Bonitz, J.; Schulz, S.E. Gessner, T.
10.30 FG2 Design of various test stages for SWNT properties investigation on wafer level
Schondelmaier, G.; Hartmann, S.; Shaporin, A.; Hiller, K.; Mehner, J.; Wunderle, B.
10.50 -
11.10
Kaffee
11.10 FG3 Simulating the Pull-Out of a Carbon Nanotube Embedded in Gold by Means of Molecular Dynamics
Hartmann, S.; Hölck, O.; Wunderle, B.
11.30 FG4 Nanoscale simulations of Carbon Nanotubes for NEMS
Wagner, C.; Schuster, J.; Gessner, T.
11.50 FG5 System level modelling of CNT based mechanical sensor
Kolchuzhin, V.; Shende, M.A.; Markert, E.; Wagner, C.; Heinkel, U.; Mehner, J.; Gessner, T.
12.10 FG6 Untersuchungen zum piezoresistiven Effekt in MOS-Transistoren für die Anwendung in integrierten MEMS-Sensoren
Haas, S.; Schramm, M.; Heinz, S.; Loebel, K.-U.; Reuter, D.; Bertz, A.; Geßner, T.; Horstmann, J.T.
12.30 FG7 LoC Integrationsstrategien für aufgerollte Sensoren
Harazim, S.; Helke, C.; Enderlein, T.; Morschhauser, A.; Nestler, J.; Samuel Sanchez; Grimm, D.; Otto, T.; Schmidt, O. G.; Gessner, T.
12.50 FG8 Nanoscale Characterization in Microtechnologies
Rodriguez, R.D.; Toader, M.; Sheremet, E.; Villabona, A.; Müller, S.; Gordan, O.D.; Hietschold, M.; Zahn, D.R.T.
13.00 -
13.50
Mittag

Mittwoch, 24. Oktober 2012

Zeit Beitrag Session 6: Applikation (2)
13.50 S6-1 - Vortrag abgesagt -
An analysis of microelectromechanical converter under stochastic multifrequency vibrations
Ostertak, D.; Dragunov, V.; Vasyukov, V.; Novosibirsk State Technical University
14.10 S6-2 Autarkes Sensornetzwerk zum Monitoring von Hochspannungsleitungen
Voigt, S.; TU Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien
14.30 S6-3 Piezoelektrischer AlN-Bimorph als resonanter Mikroaktor
Hampl, S.; Hoffmann, M.; Technische Universität Ilmenau, FG Mikromechanische Systeme
14.50 -
15.10
Kaffee

Mittwoch, 24. Oktober 2012

Zeit Beitrag Session 7: Entwurf, Mikroelektronik
15.10 S7-1 Nanoampere Stromquelle für integrierte analoge Low-Power-Schaltungstechnik
Fritzsch, M.; Seidel, R.; Horstmann, J.T; TU Chemnitz
15.30 S7-2 A monolithic integrated MEMS in a 350 nm technology for filter monitoring applications
Neubert, M.; Heinz, S.; Erler, K.; Horstmann, J.T.; Seidel, R.; Pohle, A.; Gross, C.; Rönisch, A.; Gabriel, P.D.; TU Chemnitz; EDC Electronic Design Chemnitz GmbH; TURCK duotec GmbH
15.50 S7-3 Ganzheitliche Entwurfsmethodik für energiesparende Systeme
Sauppe, M.; Markert, E.; Horn, T.; Heinkel, U.; Sahm, H.-W.; Otto, K.-H.; TU Chemnitz, Professur Schaltkreis- und Systementwurf; Alcatel-Lucent, Nürnberg
ca. 16.10 Ende der Veranstaltung


Posterbeiträge

Beitrag Titel, Autor, Institution
P1 Experimentelle Untersuchungen zum thermomechanischen Verhalten von photosensitiven Polymeren
Vogel, J.; Feige, H.-J.; Saupe, J.; Schubert, S.; Grimm, J.; University of Applied Sciences Zwickau
P2 Notfallbeatmungsgerät
Colin, R.; Hochschule Esslingen - University of Applied Sciences, Göppingen
P3 Servopresse mit Kraftrückmeldung
Colin, R.; Hochschule Esslingen - University of Applied Sciences; Göppingen
P4 Detektion von Mikropartikeln in einer Volumenströmung mit Hilfe eines Fließsystems auf Kunststoffbasis
Krüger, P.E.; Lietzau, K.-H.; Böhme, A.; Edel, C.H.; Foitzik, A.H.; Technische Hochschule Wildau
P5 Entwicklung einer Prozesssteuerung für einen unikalen Sprühentwickler basierend auf LabVIEW
Rogge, C.; Schnell, E.; Foitzik, A.H.; Technische Hochschule Wildau
P6 Entwicklung eines sterilen Einwegproduktes für eine individuell angepasste Probenentnahme
Stollfuß, C.; Lietzau, K.-H.; Böhme, A.; Foitzik, A.H.; Technische Hochschule Wildau
P7 Herstellung eines Reaktorsystems mit stark vergrößerter Elektrodenoberfläche zur Erhöhung der Stromdichte von biologischen Brennstoffzellen
Kowolik, J.; Wildenauer, F.X.; Foitzik, A.H.; Technische Hochschule Wildau
P8 Lineargetriebener Positioniermechanismus für minimal-invasive kardiologische Anwendungen
Gatomski, G.; Edel, C.-H.; Böhme, A.; Foitzik, A.H.; Technische Hochschule Wildau
P9 Untersuchung der Oberflächendeformation an Mikrosystemen durch Heizimpulse mittels ESPI
Lietzau, K.-H.; Stollfuß, C.; Werner, R.; Edel, C.H.; Foitzik, A.H.; Technische Hochschule Wildau
P10 Charakterisierung durchstimmbarer MOEMS-Fabry-Perot-Filter für die Infrarot-Spektroskopie
Kaiser, C.; InfraTec GmbH, Dresden
P11 The Research Of The Submicron Polysilicon Mesapiezoresistors Electrophysical Properties
Cherkaev, A.S.; Gridchin, V.A.; Chebanov, M.A.; Zinoviev, V.B.; Neizvestnyi, I.G.; Kamaev, G.N.; Novosibirsk State Technical University; Institute of Semiconductor Physics, Siberian Division, Russian Academy of Sciences
P12 Montage der Chips innerhalb der Aluminiumunterlage
Sokol, V.; Patschinin, V.; Schulgov, V.; Belorussische Staatliche Universität für Informatik und Radioelektronik
P13 Entwicklung sensorischer Mikrosysteme auf Basis von Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren
Schönfeld, M.; Schubert, S.; Saupe, J.; Vogel, J.; Grimm, J.; Westsächsische Hochschule Zwickau
P14 Development and characterization of a high precision vibratory MEMS gyroscope system with low-noise integrated readout and control electronics
Köhler, D.; Hiller, K.; Forke, R.; Konietzka, S.; Pohle, A.; Billep, D.; Heinz, S.; Lange, A.; EDC Electronic Design Chemnitz GmbH; Fraunhofer ENAS Chemnitz; TU Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien
P15 Patchstrategien im Embedded Software Design
Kriesten, D.; Heinkel, U.; TU Chemnitz, Professur Schaltkreis- und Systementwurf
P16 Volumenstrommessung in Kapillaren mit einem optischen Sensor
R. Müller, R.; O. Brodersen, O.; CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, Erfurt
P17 Messtechnische Charakterisierung von MEMS Acoustic-Emission-Sensoren nach dem Prinzip des mechanischen Bandpasses
Auerswald, C.; Sorger, A.; Dienel, M.; Mehner, J.; TU Chemnitz, Professur Mikrosystem- und Gerätetechnik
P18 Dynamic Behavior Of Micromechanical Angular Rate Two-Component Sensor
Nesterenko, T.; Koleda, A.; Chursin, Y.; Tomsk Polytechnic University, Tomsk, Russia
P19 Einsatz von Dehnungsmessstreifen und Beschleunigungsaufnehmern zur Überwachung von spanabhebenden Werkzeugen
Kögler, D.; Colin, R.; Hoffmann, R.; Möller, T.; Töpfer, H.; Hochschule Esslingen - University of Applied Sciences; Göppingen; EWS Weigele GmbH Co. KG; Uhingen; TBM - Technologieberatung Möller; Westhausen


Veranstaltungsort

Mercure Kongress Hotel Chemnitz, Brückenstr. 19, D-09111 Chemnitz


Firmenpräsentation

Im Rahmen der 11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik - findet eine Firmen-/Produktpräsentation statt.


Allgemeine Hinweise

Tagungsbüro | Teilnahmegebühr | Übernachtung | Verkehrsverbindungen

Tagungsbüro:

Das Tagungsbüro befindet sich bis zum 22. Oktober 2012 beim Organisationskomitee, am 23./24. Oktober am Tagungsort. Öffnungszeiten während der Tagung:
Dienstag, 23. Oktober 2012: 8.00 bis 17.30 Uhr
Mittwoch, 24. Oktober 2012: 8.00 bis 15.00 Uhr
Telefon-Nr. während der Tagung: +49 (0)371 / 683 461

Teilnahmegebühr:


Tagungs-
unterlagen
Erfrischungs-
getränke
Teilnahme am Abendvortrag Teilnahme am Empfang Einzahlung bis zum 13.10.12 Einzahlung nach dem 13.10.12
normal EUR 320,-
EUR 250,-*
EUR 350,-
EUR 280,-*
ermäßigt (Angehörige von Universitäten, Hoch- und Fachschulen) EUR 270,-
EUR 200,-*
EUR 300,-
EUR 230,-*
Studenten,
Wehr- und Ersatzdienst-
leistende

EUR 80,- pro Tag
Referenten, Posteraussteller
(je Beitrag nur 1 Person)
EUR 230,- EUR 260,-
angemeldete Firmenaussteller gesondert vereinbart
*... Gebühr für eintägige Teilnahme

Die Teilnahmegebühr ist auf das Konto des Fördervereins für Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik Chemnitz e.V. bei der Volksbank Chemnitz,

BLZ 870 962 14,
Konto-Nr. 300 00 88 52,
IBAN: DE72 8709 6214 0300 0088 52, BIC: GENODEF1CH1
Verwendungszweck: "MST 11/12, Name, Einrichtung"

einzuzahlen.
Den Einzahlungsbeleg legen Sie bitte bei der Anmeldung im Tagungsbüro vor. In Ausnahmefällen kann die Teilnahmegebühr im Tagungsbüro in bar zuzüglich einer Bearbeitungsgebühr von EUR 5,- entrichtet werden.


Übernachtung:

Für die Übernachtung in der Zeit vom 22.10.12 zum 24.10.12 wird im Mercure Kongress Hotel Chemnitz bis zum 5.10.12 zu Sonderkonditionen ein Zimmerkontingent vorgehalten.
Reservierungswünsche nach dem 5.10. können nur entsprechend der Auslastung berücksichtigt werden. Sollten Sie eher anreisen/später abreisen wollen als am 22. bzw. 24.10., nehmen Sie bitte Rücksprache mit dem Hotel.

Zimmerpreise:

Komfort-Einzelzimmer EUR 72,-
Business-Einzelzimmer EUR 59,-
Die angegebenen Preise verstehen sich pro Zimmer und Nacht, inkl. Frühstück und Mehrwertsteuer sowie je nach Kategorie weiteren Leistungen/Angeboten, die Sie bei Interesse bitte beim Hotel erfragen.

Reservierung unter dem Stichwort "MST2012" und Bezahlung nehmen Sie bitte selbst direkt im Hotel vor:
Mercure Kongress Hotel Chemnitz
Brückenstr. 19
D-09111 Chemnitz
Tel.: +49 (0)371 683 0
FAX: +49 (0)371 683 505
e-mail: H1581@accor.com


Verkehrsverbindungen:

Anreise mit PKW:
Bitte orientieren Sie sich auf der Web-Seite des Hotels. Das Hotel bietet die Möglichkeit (je nach Verfügbarkeit), den Parkplatz vor dem Haus gegen eine Gebühr zu nutzen, darüber hinaus stehen auch die Tiefgarage in der Galerie Roter Turm sowie das Parkhaus Galerie Roter Turm zur Verfügung. Die Rezeption ist Ihnen gern bei Fragen behilflich.

Anreise mit Bahn:
Zielbahnhof: Chemnitz Hbf, vom Bahnhofsvorplatz mit der Straßenbahn, Linie 2, 6, 522 bis zur Haltestelle Brückenstraße.

Weitere Informationen zu Hotels, Verkehrsverbindungen sowie zu Chemnitz im Allgemeinen und zur Universität/zur Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik im Besonderen erhalten Sie auch über die Homepage der TU Chemnitz im WWW unter der URL:

http://www.tu-chemnitz.de/


Anmeldung zur Tagung:

Bitte senden Sie Ihre verbindliche Teilnahmeerklärung mit dem unten angefügten Formular oder per Post/Fax bis zum 13.10.2012 an das Organisationskomitee. Die Angaben werden in die Teilnehmerliste übernommen, die allen Teilnehmern ausgehändigt wird.


Ich nehme an der 11. Fachtagung Mikrosystemtechnik teil.

Meine E-Mail-Adresse:

Name:

Vorname: Titel:

Firma/Institution:

Abteilung:

Telefon: Fax:

Postfach/Straße:

PLZ:
Ort:
Teilnahme an der Abendveranstaltung Ja/Nein:


G.H., Juli 2012