Forschungsschwerpunkte der Professur

An der Professur Mikrosysteme und Medizintechnik wird schwerpunktmäßig zu folgenden Themen geforscht:

Entwurf von Mikrosystemen und deren Applikation in eine Geräteumgebung
Modellierung, Simulation und experimentelle Validierung des Verhaltens mikromechanischer Sensoren und Aktoren
Mess- und Prüftechnik für Mikrosysteme
Entwicklung von Entwurfswerkzeugen und -methoden
mechanische Beanspruchung, Lebensdauer, Zuverlässigkeit
Charakterisierung von MEMS und feinwerktechnischen Strukturen