Dr.-Ing. Ulf Kotarsky
danach Prozessingenieur bei GLOBALFOUNDRIES
Arbeitsgebiete
- Forschungsprojekt "In-die Parametervariation" mit GLOBALFOUNDRIES
- theoretische Arbeiten zum Sachgebiet
- Entwicklung von geeigneten Messverfahren zur Aufnahme von Parametervariationen von Transistorarrays und speziell kontaktierten Transistoren aus dem Die
- Entwicklung und Bereitstellung von Auswerte- und Darstellungsverfahren
- Vorbereitung von Experimenten zur Untersuchung von In-die Parametervariationen
- Mitarbeit bei der Entwicklung von geeigneten Teststrukturen
- Vergleichende Messungen und Betrachtungen zwischen Transistoren mit dem Gatesystem SiON/POLY im Vergleich zu HKMG und HKMG/POLY
