Mit Ausdauer und Teamwork zum Erfolg
Der TU-Absolvent und langjährige wissenschaftliche Mitarbeiter Prof. Dr. Stefan Schulz ist heute stellvertretender Leiter des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS
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Prof. Dr. Stefan Schulz (r.) leitet die Abteilung Back-End of Line am Fraunhofer ENAS. Foto: Sebastian Muckelbauer
„Eigentlich wollte ich nach der ersten Vorlesung wieder gehen.“ Als der junge Stefan Schulz 1985 nach dreijährigem Militärdienst mit zweimonatiger Verspätung sein Studium Elektronische Bauelemente an der TH Karl-Marx-Stadt beginnen konnte, traute er seinen Augen kaum. Lange vor PowerPoint und elektronischen Skripts brachte es der Professor fertig, die drei großen Tafeln des Hörsaales C 104 zwölf Mal vollzuschreiben, was Schulz und seine Kommilitonen natürlich tapfer mitkritzeln mussten. Doch zum Glück entschied er sich damals zu bleiben – mittlerweile ist Schulz stellvertretender Institutsleiter des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS.
Nach Karl-Marx-Stadt zog es den gebürtigen Erfurter aufgrund des guten Rufes der Professoren und Dozenten sowie der guten sozialen Situation für die Studierenden. Im Gegensatz zu anderen Universitätsstädten der DDR waren in Karl-Marx-Stadt ausreichend moderne Wohnheimplätze vorhanden. Seine Erwartungen an das Studium wurden voll erfüllt: „Ich habe eine sehr gute Wissensbasis in den Naturwissenschaften erworben und im 1978/79 gegründeten Technikum Mikroelektronik (heute Zentrum für Mikrotechnologien) befand man sich als Studierender an vorderster Front der Mikroelektronikentwicklung.“ 1990, das Jahr der politischen Wende, war dann auch ein ereignisreiches Jahr für Schulz. Nachdem er sein Studium erfolgreich abgeschlossen hatte, war es sein ursprünglicher Plan, zurück nach Erfurt zu kehren, wo er von einer Mikroelektronikfirma bereits einen Fördervertrag erhalten hatte. Doch auf Grund seiner ausgezeichneten Studienleistungen bot ihm die Firma ein Stipendium für ein Forschungsstudium an der Universität an. Also entschied sich Schulz dafür, auf dem Gebiet der Interconnectsysteme zu promovieren. Im selben Jahr kam aber auch sein erstes Kind zur Welt, weshalb Schulz das Stipendium wiederum gegen die finanziell attraktivere Stelle als wissenschaftlicher Mitarbeiter eintauschte und parallel dazu promovierte.
Im Rahmen seiner 1996 abgeschlossenen Promotion entwickelte er einen selektiven Abscheidungsprozess für vertikale Wolframkontakte, der auch in zwei Firmen umgesetzt wurde. 2008 wechselte der mittlerweile als Oberingenieur am Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) arbeitende Schulz ans Fraunhofer ENAS, wo er bis heute die Abteilung Back-End of Line leitet, die neue Technologien und Materialien für die Mikro- und Nanoelektronik entwickelt. In Kooperation mit dem ZfM der TU Chemnitz arbeitet seine Abteilung zudem im Exzellenzcluster „Center for Advancing Electronics Dresden“ (cfaed) an Zukunftstechnologien, die frühestens im nächsten Jahrzehnt einsatzfähig sein werden, wie der Integration von Kohlenstoffnanoröhren. 2014 schließlich wurde der in seinen Gebieten international anerkannte Spezialist zum stellvertretenden Institutsleiter im Bereich Mikro-/Nanoelektronik bestellt.
Prof. Schulz liegt der wissenschaftliche Austausch am Herzen. So engagiert er sich seit 2006 bei der Programmgestaltung der internationalen Konferenzen AMC (Advanced Metallization Conference) in den USA und der europäischen MAM (Materials for Advanced Metallization). Bei letzterer hatte er bereits fünf Mal den Vorsitz inne, zuletzt 2014. Ende 2008 wurde er als Honorarprofessor an die TU Chemnitz bestellt. Diesem Ruf folgte er aus Überzeugung, hatte er doch selbst die engagierte und zum Teil ehrenamtliche Tätigkeit von Honorarprofessoren und Dozenten aus der Industrie als sehr positiv für sein Studium empfunden. Es sei vor allem auf sich so rasant entwickelnden Gebieten wie der Mikroelektronik besonders wichtig, dass international tätige, praxiserfahrene Experten ihre Einblicke an die Studierenden weitergeben würden. Im Rahmen dieser Honorarprofessur engagierte er sich an einem mittlerweile abgeschlossenen, internationalen Graduiertenkolleg zum Thema Interconnects und Nanosysteme, an dem auch zwei chinesische Universitäten beteiligt waren.
Für seinen erfolgreichen Werdegang fühlt sich der Wissenschaftler bei einigen Leuten zum Dank verpflichtet. Besonders hervorzuheben sei dabei Prof. Dr. Thomas Geßner, der Institutsleiter des Fraunhofer ENAS und Direktor des Zentrums für Mikrotechnologien, der ihn bereits seit Unizeiten stark förderte. Ebenso dankbar ist er den vielen engagierten und aktiven Mitarbeitern an der TU Chemnitz und am Fraunhofer ENAS. Schulz betont: „Alleine wäre es unmöglich die vielfältigen Aufgaben und Herausforderungen zu bewältigen.“
(Autor: Sebastian Muckelbauer)
Katharina Thehos
18.04.2016
