Das mikromechanische Spiegelarray vereint in sich mehrere physikalische Wirkprinzipien. Die Modellierung des Arrays aus Sicht des Systementwurfs nahm daher einen großen Raum im Bearbeitungszeitraum in Anspruch. Nach umfangreichen Untersuchungen und mehreren Modellierungsvarianten kann das gesamte Array mit elektrischem und mechanischem Verhalten mit der Hardwarebeschreibungssprache HDL-A implementiert und mit Hilfe des Simulators Eldo simuliert werden.