Mikromechanische Arrayanordnungen werfen besondere Probleme bei der Systemmodellierung auf, bedingt durch die kleine räumliche Ausdehnung und die Vielzahl von Arrayeinzelelementen und deren gegenseitige Beeinflussung. Das Array vereint in sich elektrische, mechanische, thermische und optische Wirkprinzipien. Im folgenden werden die Ansätze zur Modellierung des elektrischen, mechanischen, thermischen und optischen Verhaltens des Arrays aufgeführt.