Abbildungsverzeichnis

• Entwurfsprozeß mikrotechnischer Systeme
• Systemkomponenten zur Laserstrahlablenkung und Signalformen
• a) Funktionale Zusammenhänge am Einzelaktor und b) Makromodell
• Torsionsaktormodellierung
• Arraymodelle a) strukturorientiert b) verhaltensorientiert
• Implementierungsbeispiel des Gleichungssystems (7) in HDL-A
• Schwebung im Einschwingvorgang der Mikrospiegel bei abweichender Erreger- frequenz von den Spiegeleigenfrequenzen
• Berechnung eines reflektierten Strahls im Raum
• Varianten zur Laserstrahlablenkung mit 1D-Spiegelarrays und Reflexionskörpern
• Strahlquerschnitt nach Reflexion an einer a) Kegeloberfläche b) Kugeloberfläche
• Spiegelarray auf Chipträger B
• Drahtbondverbindungen am Spiegelarray
• Grundkapazitäten (C_p+C₀) in fF für ein Array
• Kapazität bei Auslenkung für beide Spiegelelektroden: Messung und Modell
• Komponenten der Arrayansteuerung
• Prinzipschaltbild für zwei Versionen des Ansteuerverstärkers
• Amplitudengang für zwei Versionen des Hochspannungsverstärkers
• Amplitudengang für zwei Versionen des Hochspannungsverstärkers