Der Ansatz zur Modellierung der Arrayansteuerung beruht auf Standardmethoden, wie der Makromodellierung mit Hilfe von gesteuerten Quellen. Am Beispiel der Hochspannungsverstärker innerhalb der Ansteuerelektronik wurden der Entwurf und die Modellierung bis zur Transistorebene durchgeführt und die Verstärker als diskrete Schaltungen realisiert. Mikromechanische Arrayanordnungen werfen hierbei Probleme auf, die bei mikromechanischen Einzelelementen nicht auftreten. Die mikromechanischen Einzelelemente liegen beim 1D-Spiegelarray dicht benachbart. Somit kann die voluminöse Ansteuerelektronik nicht im Sinne einer vertikalen Struktur in unmittelbarer Nähe der Spiegelaktoren angeordnet werden, sondern muß durch Leitungen innerhalb und außerhalb des Arrays mit den Spiegelelektroden verbunden werden. Dadurch kommt es neben mechanischem auch zu elektrischem Übersprechen, das beim Entwurf des Arrays, der Konzeption einer Aufbau- und Verbindungstechnik und bei der Ansteuerung berücksichtigt werden muß. Weiterhin vervielfacht sich der Aufwand für die Ansteuerung mit der Anzahl der Arrayelemente, da jeder Spiegel separat steuerbar sein soll. Ziel war es daher, den Schaltungsaufwand für die notwendigen Ansteuerverstärker möglichst klein zu halten.