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LOCATION:Reichenhainer Str. 90\, Chemnitz (Zentr. Hörsaal- und Seminargebäude)
SUMMARY:High-Energy Ion Implantation - Science and Technology (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik\, Zentrum für Mikrotechnologien / Internationales Graduiertenkolleg)
DESCRIPTION:As an introduction the physics of ion/matter interaction and some practical issues will be discussed. Besides the standard low-energy implantation several applications for high energetic light and heavy ions (> 1MeV) have been developed.\nDipl.-Phys. Jan N. Klug\, Ruhr-Universität Bochum\, Dynamitron-Tandem-Laboratorium\nDr. Seckel\, 0371-531 33261\, wolfgang.seckel@zfm.tu-chemnitz.de
ORGANIZER:MAILTO:wolfgang.seckel@zfm.tu-chemnitz.de
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