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LOCATION:Reichenhainer Str. 90\, Chemnitz (Zentr. Hörsaal- und Seminargebäude)
SUMMARY:Reliability characterization of Cu and low-k interconnects (Fakultät für Naturwissenschaften\, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik)
DESCRIPTION:Öffentlicher Vortrag innerhalb der Herbstschule des Internationalen Graduiertenkollegs 1215\nDr. Lucille Arnaud\, CEA-Leti\, Grenoble (Frankreich)\nRamona Ecke\, Tel. 0371 / 531-35614\, ramona.ecke@zfm.tu-chemnitz.de
ORGANIZER:MAILTO:thomas.waechtler@zfm.tu-chemnitz.de
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