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LOCATION:Reichenhainer Str. 90\, Chemnitz (Zentr. Hörsaal- und Seminargebäude)
SUMMARY:Promotion (Fakultät für Maschinenbau)
DESCRIPTION:Abscheidung (CVD) und Charakterisierung W-basierter Diffusionsbarrieren für die Kupfermetallisierung\nDipl.-Ing. Ramona Ecke
ORGANIZER:MAILTO:kerstin.hensel@mb.tu-chemnitz.de
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