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LOCATION:RENAISSANCE CHEMNITZ HOTEL
SUMMARY:Kolloquium des Sonderforschungsbereiches SFB 379: "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik)
DESCRIPTION:Entwurfsunterstützung; Mikrospiegel; Optische Schalter; Elektrostatische Antriebe; Verträglichkeit von Mikromechanik- und Mikroelektronik-Prozessen; IR-Charakterisierung des Si-Waferbondens; Abscheidung hochreflektierender Schichten\nDr. Göran Herrmann\, Tel. 531 3196
ORGANIZER:MAILTO:seckel@hrz.tu-chemnitz.de
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DTSTAMP:20210802T203313Z
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