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LOCATION:Reichenhainer Str. 70\, Chemnitz (Zentr. Hörsaal- und Seminargebäude)
SUMMARY:Kolloquium des SFB 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays": Migrationsuntersuchungen in Metallisierungsschichten (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik\, Zentrum für Mikrotechnologien)
DESCRIPTION:Berichtet wird über rasterelektronenmikroskopische in situ Untersuchungen\nder Elektromigration in Al- und Cu- Metallisierungsschichten\, wobei\nKorrelationen zu Struktur und Gefüge nachgewiesen wurden.\n\n\nProf. Dr. rer. nat. habil. Klaus Wetzig\, Institut für Festkörperanalytik und Strukturforschung (IFS) im IFW Dresden\nDr. Wolfgang Seckel\, Tel.: 531 3261
ORGANIZER:MAILTO:seckel@hrz.tu-chemnitz.de
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