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LOCATION:Reichenhainer Str. 70\, Chemnitz (Zentr. Hörsaal- und Seminargebäude)
SUMMARY:Kolloquium des SFB 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays": Messung der thermischen Leitfähigkeit dünner Isolatorschichten (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik\, Zentrum für Mikrotechnologien)
DESCRIPTION:Die Messung der thermischen Leitfähigkeit ist notwendig\, um das\nthermische Verhalten von Interconnection Systemen bei Verwendung von\nlow-k Dielektrika und Cu zu simulieren. Die 3w-Methode wurde für die\nMessung dünner Schichten etabliert.\nDipl.-Phys. Annekatrin Delan\, TU Chemnitz\, Zentrum für Mikrotechnologien\nDr. Wolfgang Seckel\, 531 3261
ORGANIZER:MAILTO:seckel@hrz.tu-chemnitz.de
UID:3117@www.tu-chemnitz.de
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