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LOCATION:Neue Messe München\, Halle B1\, Stand 204
SUMMARY:MATERIALICA 2002\, 5. Internationale Fachmesse für Werkstoffanwendungen\, Oberflächen u. Product Engineering (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik\, Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik\,Fachgruppe Werkstoffe für Elektrotechnik / Elektronik)
DESCRIPTION:Exponat:"Geätzte und plastisch umgeformte Silizium-Strukturen in der Mikro- und Feinwerktechnik"\nAussteller: Herr Prof. Dr. Joachim Frühauf\, Frau Dr. Eva Gärtner\nTel.: 0371/531 3178/3202\, Fax:-3202; e-mail: eva.gaertner@e.technik.tu-chemnitz.de\n\nBereich WD\, Frau Metzner\, Tel.: 0371/531 1327\, e-mail: regine.metzner@verwaltung.tu-chemnitz.de
ORGANIZER:MAILTO:reme@hrz.tu-chemnitz.de
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