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LOCATION:Uni-Teil 3: Reichenhainer Str. 70\, Chemnitz (Rühlmann-Bau)
SUMMARY:Kolloquium des Sonderforschungsbereiches 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays": "Integriert optische Strukturen in/auf Silizium" (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik\, Fakultät für Maschinenbau und Verfahrenstechnik\, Fakultät für Naturwissenschaften)
DESCRIPTION:Dipl.-Ing. Bernd Schauwecker\, Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik\, TU Chemnitz\nDr. Wolfgang Seckel\, Tel. 5 31-32 61
ORGANIZER:MAILTO:iroe@hrz.tu-chemnitz.de
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