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LOCATION:Uni-Teil 3: Reichenhainer Str. 70\, Chemnitz (Zentr. Hörsaal- und Seminargebäude)
SUMMARY:Kolloquium des SFB 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays": "Gerät zur mechanischen Prüfung von Mikrostrukturen" (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik\, Zentrum für Mikrotechnologien)
DESCRIPTION:Die mechanische Prüfung von Bulk-Si-Mikrostrukturen erfordert die Messung von Kräften im Bereich von 0\,1 mN bis 0\,1 N bei Wegen von 1 µm bis zu einigen mm. Ein Eigenbau-Gerät (Hardware\, Steuer- und Prüfsoftware) wird im Vortrag vorgestellt.\nDr. Joachim Frühauf\, TU Chemnitz - Fakultät ET/IT und Dipl.-Ing. Ales Patka\, Westböhmische Univ. Pilsen\nDr. Seckel\, 0371-531 3261
ORGANIZER:MAILTO:seckel@hrz.tu-chemnitz.de
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