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LOCATION:Uni-Teil 3: Reichenhainer Str. 70\, Chemnitz (Zentr. Hörsaal- und Seminargebäude)
SUMMARY:Kolloquium des SFB 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" : MEMS Activities & Silicon Microphons (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik\, Zentrum für Mikrotechnologien ZfM)
DESCRIPTION:"MEMS activities of the Institute of Microelectronics at Tsinghua University"\nProf. Liu Zewen\, Tsinghua Universität Peking / VR China\nDr. Seckel\, 0371-531 3261
ORGANIZER:MAILTO:seckel@hrz.tu-chemnitz.de
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