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SUMMARY:5. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik - (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik)
DESCRIPTION:Im Mittelpunkt der Fachtagung stehen Mikromechanik und Mikroelektronik sowie die Wechselbeziehungen zwischen beiden Gebieten.\nDr. G. Herrmann\, Tel.: ++49 (0)371 531 3192\, E-Mail: herrmann@infotech.tu-chemnitz.de
ORGANIZER:MAILTO:gher@hrz.tu-chemnitz.de
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