- Author(s):
- H. Freitag, D.R.T. Zahn, H. Lang, R. Buschbeck, A. Jakob
Source:- Patent: DE 10 2010 037 278 A1, (2012)
Title:- Verfahren zur Herstellung von Silizium-basierenden Schichten oder Silizium-basierenden Strukturen unter Verwendung von Silizium-enthaltenen Tinten
Abstract:- ---
Type of Publication:- Patent
Year:- 2012
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