HLPH - Publication: ID[1054] [ print ]  -  [ close ]
Author(s):
H. Freitag, D.R.T. Zahn, H. Lang, R. Buschbeck, A. Jakob

Source:
Patent: DE 10 2010 037 278 A1, (2012)

Title:
Verfahren zur Herstellung von Silizium-basierenden Schichten oder Silizium-basierenden Strukturen unter Verwendung von Silizium-enthaltenen Tinten

Abstract:
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Type of Publication:
Patent

Year:
2012