Dienstleistungen
Verbundwerkstoffe
Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
- Thermisch- und plasmaunterstützte Vorbehandlung und Beschichtung von Substraten
- Herstellung von Mono- und Multilagenschichten
- Substrate: Fasern, Drähte, Plättchen, max. Ø: 80 mm
- Schichten: Bornitrid, Siliziumnitrid, Yttriumoxid, …
- Prozessgase: Ar, O2, N2, NH3, CH4, Silan, Diboran
- Temperatur: max. 1000 °C
- Arbeitsbereich: 0,5 – 20 mbar
Weiterführende Informationen
Ansprechpartner
Dr.-Ing. Maik Trautmann
- Telefon:+49 371 531-38846
- Fax:+49 371 531-838846
- Raum:3, 3/A104
- E-Mail:
