Navigation

Springe zum Hauptinhalt
Professur Verbundwerkstoffe und Werkstoffverbunde
Professur Verbundwerkstoffe und Werkstoffverbunde

Dienstleistungen

Verbundwerkstoffe

Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)

  • Thermisch- und plasmaunterstützte Vorbehandlung und Beschichtung von Substraten
  • Herstellung von Mono- und Multilagenschichten
  • Substrate: Fasern, Drähte, Plättchen, max. Ø: 80 mm
  • Schichten: Bornitrid, Siliziumnitrid, Yttriumoxid, …
  • Prozessgase: Ar, O2, N2, NH3, CH4, Silan, Diboran
  • Temperatur: max. 1000 °C
  • Arbeitsbereich: 0,5 – 20 mbar

Weiterführende Informationen

Ansprechpartner

Foto des Ansprechpartners Maik Trautmann
Dipl.-Ing. Maik Trautmann

Presseartikel