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Stellenausschreibung

An der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum für Mikrotechnologien, ist ab dem 01.04.2012 im Rahmen des von der Deutschen Forschungsgemeinschaft geförderten Internationalen Graduiertenkollegs 1215:

„Materials and Concepts for Advanced Interconnects and Nanosystems“

eine Stelle als

Doktorandin/Doktorand
Entgeltgruppe 13 TV-L

im Teilprojekt G1 „Advanced processes, materials and their integration into nanoelectronics interconnect systems“ befristet zu besetzen. Die Stelle ist zunächst bis zum 31.12.2012 befristet, kann jedoch jeweils bis 31.12. eines Jahres auf insgesamt maximal 36 Monate verlängert werden. Die befristete Einstellung erfolgt gemäß den Regelungen des Wissenschaftszeitvertragsgesetzes (WissZeitVG) und des Sächsischen Hochschulgesetzes (SächsHSG) in der jeweils geltenden Fassung.

Arbeitsaufgaben:
Die experimentellen Arbeiten fokussieren auf die Integration verschiedener Prozesse zur Atomlagenabscheidung (ALD) von Metallen, Metallnitriden sowie –oxiden für Anwendungen in hochintegrierten Kontakt- und Leitbahnsystemen von ULSI-Schaltkreisen sowie magnetischen Dünnfilmsystemen. Für diese Anwendungen ist es auch von Interesse, die ALD zur kontrollierten Beschichtung dreidimensionaler Nanostrukturen, z.B. strukturierte ULK-Dielektrika oder Nanomaterialien wie Kohlenstoffnanoröhren (CNTs) zu verwenden. Die Arbeitsaufgaben umfassen insbesondere die Untersuchung von Oberflächen- und Gasphasenprozessen während thermischen und plasmagestützten ALD-Prozessen mit verschiedenen In-Situ- und Ex-Situ-Methoden. Bewerberinnen bzw. Bewerber sollten daher vorteilhafterweise über erste Erfahrungen auf einigen der folgenden Arbeitsgebiete verfügen:

  • Metallorganische Chemie
  • Oberflächenphysik / Oberflächenchemie
  • Analyseverfahren, wie z.B. Raster- und Transmissionselektronenmikroskopie (REM/TEM), Ionenstrahlmikroskopie (FIB), Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS), Auger-Elektronenspektroskopie (AES), Massenspektrometrie, Raman­spektroskopie, Spektralellipsometrie, Schwingquarz-Schichtdickenmessung
  • Beschichtungsverfahren wie Atomlagenabscheidung (ALD) oder Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
  • Anlagentechnik für die Dünnfilmbeschichtung
  • Hochvakuum- und Ultrahochvakuumtechnik
  • Arbeiten unter Reinraumbedingungen

Die Arbeiten stehen in enger Beziehung mit theoretischen Aktivitäten zur Simulation und Modellierung von ALD-Prozessen und –Anlagen. Stetiger Wissensaustausch mit anderen Kollegen der experimentellen und theoretischen Arbeitsgruppe sowie regelmäßige Veröffentlichung der Arbeitsergebnisse im internationalen wissenschaftlichen Umfeld und eine selbstständige Arbeitsweise werden daher erwartet.

Für weitere Informationen zum wissenschaftlichen Inhalt steht Ihnen Herr Dr. Thomas Wächtler (thomas.waechtler@zfm.tu-chemnitz.de) gern zur Verfügung. Einen Überblick über die Inhalte des Internationalen Graduiertenkollegs erhalten Sie online unter http://www.zfm.tu-chemnitz.de/irtg.

Einstellungsvoraussetzungen:

  • Abgeschlossenes wissenschaftliches Hochschulstudium (Diplom oder Master of Science / Master of Engineering) auf dem Gebiet der Naturwissenschaften (Physik, Chemie), der Materialwissenschaften oder der Elektrotechnik, welches zur Zulassung zum höheren Dienst berechtigt.
  • Erfüllung der Promotionsvoraussetzungen der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik laut Promotionsordnung sowie des Internationalen Graduiertenkollegs, insbesondere:
    • sehr gute Englischkenntnisse in Wort und Schrift
    • Bereitschaft zu einem mehrmonatigen Aufenthalt an einer der chinesischen Partnereinrichtungen des Kollegs
    • Teilnahme am Studienprogramm es Graduiertenkollegs
  • Gute Deutschkenntnisse.
  • Weiterhin sind die Einstellungsvoraussetzungen gemäß §§ 46 und 71 des Sächsischen Hochschulgesetzes zu erfüllen.

Die Technische Universität Chemnitz strebt einen hohen Anteil von Frauen in der Lehre und Forschung an. Qualifizierte Frauen sind deshalb ausdrücklich aufgefordert, sich zu bewerben. Schwerbehinderte Menschen werden bei gleicher Eignung bevorzugt berücksichtigt.

Bewerbungen mit den üblichen Unterlagen sind bis 29.02.2012 zu richten an:

Technische Universität Chemnitz

Zentrum für Mikrotechnologien

Dr.-Ing. Thomas Wächtler

D-09107 Chemnitz

E-Mail: thomas.waechtler@zfm.tu-chemnitz.de