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Der neuartige Fabry-Perot Filter: Er besteht aus einem an Federn aufgehängtem Silizium-Plättchen und ist derart beweglich, dass in jeder Position jeweils verschiedene Wellenlängen bestimmt werden können.
Foto: TU Chemnitz/Zentrum für Mikrotechnologien

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Forschung

Kleiner, schneller, zuverlässiger

Das Zentrum für Mikrotechnologien zeigt auf der Nürnberger Messe "Sensor + Test 2005" vom 10. bis 12. Mai 2005 die neueste Generation intelligenter Sensoren

Mit neuen Entwicklungen auf dem Gebiet der Sensorik präsentiert sich das Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) der Technischen Universität Chemnitz vom 10. bis 12. Mai 2005 auf der Messe "Sensor + Test 2005" in Nürnberg, dem weltweit führenden Forum für Sensoren, Mess- und Prüftechnik. Am Stand 728 in Halle 7 der Nürnberger Messe wird das ZfM neben Mikrosensoren der neuesten Generation auch komplette Systemlösungen vorstellen.

Was intelligente Sensoren heute zu leisten in der Lage sind, wollen die Chemnitzer Forscher mit ihren eigenen Entwicklungen der Öffentlichkeit zeigen. Mit dabei haben sie etwa den Prototypen eines multifunktionalen Beschleunigungssensors, der zur Navigation von Fahrzeugen und Flugzeugen eingesetzt werden kann. In einem Modellaufbau wird die Funktionsweise des gemeinsam mit Industriepartnern entwickelten Hightech-Systems verdeutlicht. Darüber hinaus werden Sensortypen für die Neigungs- und Vibrationsmessung und andere Silizium-Mikrosysteme vorgestellt, die beispielsweise für Spektrometer, einstellbare Filter sowie Projektions- und Scannersysteme in der Prozessmess-, Umwelt- oder auch Medizintechnik angewendet werden können.

Und zwei weitere Neuentwicklungen des Chemnitzer Zentrums für Mikrotechnologien sollen auf der "Sensor + Test 2005" vorgestellt werden: Bei der ersten handelt es sich um einen Infrarot-Filter, der in der Lage ist, eine besonders hohe Wellenlängen- Auflösung zu erzeugen. Der so genannte "Fabry-Perot Filter" besteht im Kern aus einem beweglichen, nur wenige Millimeter großen Spiegel und überzeugt nicht nur durch seine geringe Baugröße, sondern auch durch seine im Vergleich zu konventionellen Filtern bessere mechanische Stabilität. Der Infrarot-Filter, der in Zusammenarbeit mit der InfraTec GmbH Dresden entwickelt worden ist, kann hauptsächlich in Gasanalyse-Systemen eingesetzt werden.

Auch die zweite Neuheit bezieht sich auf Strahlungsdetektion: Es ist ein Temperaturscanner, der ein zu untersuchendes Objekt über die gezielte Auslenkung eines winzigen Siliziumblättchens abtastet und seine Temperatur durch die aufgenommene Wärmestrahlung bestimmt. Mit dem Temperaturscanner können einfache Temperaturüberwachungen während technologischer Prozesse ebenso durchgeführt werden wie die Erstellung hochaufgelöster örtlicher und zeitlicher Temperaturprofile.

Weitere Informationen geben Prof. Dr. Thomas Geßner, TU Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien, 09107 Chemnitz, Telefon (03 71) 5 31 - 31 30, Fax (03 71) 5 31 - 31 30, E-Mail thomas.gessner@zfm.tu-chemnitz.de oder Mario Baum, Telefon (03 71) 53 97 - 9 26, E-Mail mario.baum@zfm.tu-chemnitz.de.

Das ZfM im Internet: http://www.zfm.tu-chemnitz.de Die Messe "Sensor + Test 2005" im Internet: http://www.sensor-test.de.

Alexander Friebel
02.05.2005

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