Die "Szene" traf sich wieder in Chemnitz

Mikroelektroniker und Mikromechaniker im Fachgespräch

(MSt) Mehr als 90 Besucher aus vier Ländern besuchten am 13. und 14. Oktober 1997 die 3. Chemnitzer Fachtagung "Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik", die unter anderem von der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der TU Chemnitz ausgerichtet wurde. In 25 Vorträgen berichteten namhafte Wissenschaftler aus Hochschulen und Industrieunternehmen über neue Entwicklungen in der Mikrosystemtechnik. Begleitet wurde die Tagung von einer Produktpräsentation einheimischer und international renommierter Firmen und dem 2. VDE-Forum "Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik". Hauptanliegen des Forums des Verbandes Deutscher Elektrotechniker waren dabei die Suche nach gemeinsamen Verbundprojekten und die Förderung des Erfahrungsaustausches.

Tagungsschwerpunkt des Themenkreises "Entwurf, Simulation, Modellierung" war die Simulation und Modellierung heterogener Komponenten, die Modellierung kompletter Mikrosysteme und die Nutzung der Dokumentation von Entwurfsentscheidungen zur Optimierung des Entwurfsprozesses. Im Mittelpunkt der "Technologie-Session" standen die Fertigung von Mikrospiegeln in der Oberflächenmikromechanik, Mikrobauteile auf der Basis fotostrukturierbarer Gläser, hochtemperaturstabile Metallisierungssysteme und das Erzeugen von Funktionselementen durch anisotropes Ätzen von Silizium. Der Themenkreis "Meßtechnik" widmete sich Themen, wie der Analyse des Dämpfungsverhaltens an bewegten Mikrostrukturen, der mikrooptischen 3D-Meßtechnik und der Mikrodeforma- tionsmessung. Unter dem Thema "Komponenten" wurden ein neuer Beschleunigungssensor, mikrotechnische Systeme zur Dosierung von Gasen und Flüssigkeiten sowie elektrostatische Antriebsvarianten für die Oberflächenmikromechanik vorgestellt. Beiträge der abschließenden "Applikation-Session" enthielten unter anderem Informationen über Sensorsysteme für das intelligente Haus und mikromechanische Ultraschall-Wandler. Aber auch mikromechanische Delta-Sigma-Wandler und integrierte Optik/Optoelektronik auf Siliziumbasis wurden vorgestellt. Wer an der Tagung nicht teilnehmen konnte, aber trotzdem von der Fülle an Fachinformationen profitieren möchte, kann über die Professur Schaltungs- und Systementwurf [Tel. (03 71) 5 31-31 92] einen Tagungsband (Preis: 150 Mark) bestellen. Die nächste Mikrosystemtechnik-Tagung soll laut Aussage der Organisatoren, Prof. Dr. Dietmar Müller und Prof. Dr. Wolfram Dötzel, im Herbst 1999 in Chemnitz stattfinden.