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Seminar zu Aktuellen Problemen der Technischen und Festkörperphysik


Archiv ab April 1995



nach Jahren:  2011  2010  2009  2008  2007  2006  2005  2004  2003  2002  2001  2000  1999  1998  1997  1996  1995
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Aktueller Seminarplan




2011


  • 15.07.11: S. Böttcher
    "Investigation of carbon based thin film materials deposited by arc evaporation and magnetron sputtering"


  • 08.07.11: S. Bernütz
    "Abscheidung und infrarotspektroskopische Charakterisierung von SiCN:H-Schichten"


  • 01.07.11: M. Seifert
    "Untersuchungen zu Struktur und elektrischen Eigenschaften von dotiertem Silizium im Bereich des Überganges von amorphen zu mikrokristallinen Schichten"


  • 24.06.11: A. Clausner
    "Das Konzept des effektiv geformten Indenters zur Bestimmung der Fließspannung - Experimentalteil und FEM"


  • 27.05.11: M. Günther
    Stand der Dissertation


  • 20.05.11: S. Berg
    "Laser-optische und akustische Charakterisierung von Gläsern und Glasschmelzen"


  • 13.05.11: Prof. F. Richter
    "Gute wissenschaftliche Praxis"


  • 06.05.11: Z. Stryhal
    "Optimization of FCVA device"


  • 29.04.11: F. Nobis
    "Elektrische Schichteigenschaften von magnetrongesputterten a-Si:H Schichten"


  • 15.04.11: S. Peter
    "Arbeitsschutzbelehrung"


  • 04.02.11: T. Baar
    "Plasmagestützte Schichtabscheidung auf isolierenden Substraten"


  • 28.01.11: T. Sack
    "Analyse thermisch induzierter Modifizierungen von a-C:H Schichten mittels Desorptions- und FTIR-Spektroskopie" (Stand der Diplomarbeit)


  • 07.01.11: Z. Stryhal
    "Charakterisierung des Kohlenstoff-Vakuumbogens zur Abscheidung nanokristalliner Schichten"



2010


  • 10.12.10: E. Breyer
    "Elektrische Charakterisierung von a-Si:H-Schichten" (Stand der Diplomarbeit)


  • 03.12.10: F. Nobis
    "Magnetrongesputterte a-Si:H-Schichten"


  • 26.11.10: M. Herrmann
    "Mechanische Charakterisierung von NiTinol-Folien: Nanoindentation, SAW und uniaxialer Zugversuch"


  • 05.11.10: M. Dubau
    "Untersuchung der Reibungs- und Verschleißeigenschaften magnetrongesputterter kohlenstoffbasierter Schichtwerkstoffe"


  • 29.10.10: M. Hahn
    "Modell von Nyberg und Berg zum reaktiven Sputtern"


  • 22.10.10: Prof. F. Richter
    "Transparent Conducting Oxides (TCO) for Photovoltaics and Flat Panel Displays"


  • 09.07.2010: S. Peter
    "A comparative analysis of a-C:H films deposited from five hydrocarbons by thermal desorption spectroscopy"


  • 02.07.2010: K. Richter
    "Untersuchungen zu den Grenzen des effektiv geformten Indenters" (Stand der Diplomarbeit)


  • 18.06.2010: Ph. Schäfer (TU Chemnitz / Professur Halbleiterphysik)
    "Characterization of Amorphous Silicon with Spectroscopic Techniques"


  • 05.02.10: M. Herrmann
    "Effektives Indenterkonzept für die Ermittlung des E-Moduls und der Fließspannung von dünnen Schichten"


    • 11.06.2010: M. Günther
    "Optical emission spectroscopy to characterise mid-frequency pulsed discharges used for a-C:H deposition"

  • 04.06.2010: T. Baar
    "Plasmabeschichtung von Isolatoren" (Stand der Diplomarbeit)


  • 28.05.2010: F. Nobis
    "Magnetronsputtern von Solarsilizium: Literaturergebnisse und eigene Experimente"


  • 21.05.2010: A. Clausner
    "Bestimmung der Fließspannung durch normale Eindringversuche"


  • 30.04.2010: M. Dubau
    "Magnetronabscheidung von dicken a-C:H- und CNx-Schichten" (Stand der Diplomarbeit)


  • 23.04.2010: J. Sumpf (TU Chemnitz / Professur Fördertechnik)
    "Kunststoffketten in der Fördertechnik"


  • 16.04.2010: S. Peter
    Arbeitsschutzbelehrung (Beginn: 14:30 Uhr)


  • 22.01.10: S. Peter
    "Einfluss des Precursors auf die PECVD von a-C:H-Schichten"


  • 08.01.10: Houska (University of West Bohemia, Pilsen)
    "Advanced modelling of structures and properties of crystalline, nanocrystalline and amorphous nitrogen-based materials"


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Aktueller Seminarplan


2009


  • 18.12.09: B. Liebig (University of Liverpool)
    "Time-resolved optical imaging of a high power pulsed magnetron discharge"


  • 04.12.09: H. Kupfer, S. Stryhal
    "Vorhaben und erste Ergebnisse zum sächsischen Excellenzcluster ENIPROD"


  • 27.11.09: F. Nobis
    "Solarsilizium mittels Magnetronsputtern"


  • 06.11.09: M. Günther
    "SiCN:H- Abscheidung aus ECR-Mikrowellenplasmen"


  • 30.10.09: Prof. F. Richter
    "Mechanische Eigenschaften von Nanostrukturen" (Übersichtsvortrag)


  • 17.07.2009: O. Chukhrai
    Aktuelle Ergebnisse zur Promotionsarbeit


  • 03.07.2009: M. Günther
    "SiCN:H- und DLC- Abscheidung aus ECR-Mikrowellenplasmen"


  • 26.06.2009: H. Kupfer
    "Neue Projekte SOSI und ENIPROD - Konzepte und erste Experimente"


  • 19.06.2009: H. HattermannBundesanstalt für Materialforschung und Prüfung, Berlin
    "Untersuchung von Sol-Gel-Schichten mit eingeschlossenen WS2-Nanopartikeln"


  • 29.05.2009: B. Heimbke(Fraunhofer Institut ür Elektronenstrahl- und Plasmatechnik, Dresden)
    "Modellierung der optischen Transmissions- und Reflexionsspektren von transparenten leitfähigen Oxiden (TCO)"


  • 08.05.2009: S. Peter
    Arbeitsschutzbelehrung


  • 16.04.2009:

    • Prof. F. Richter
      "Ion energy distributions in ZAO magnetron sputtering from planar and rotatable magnetrons"

    • M. Herrmann
      "Influence of Intrinsic Stress on the Measurement of the Onset of Yielding for Thin Films Using Depth-Sensing Spherical Indentation"


  • 06.02.2009: A. Clausner
    "FE-Ergebnisse zu lateralen Nanoindenterversuchen sowie gleichzeitige Ermittlung von ν und E"


  • 30.01.2009: Z. Stryhal (Universität Usti nad Labem)
    "Tin and tin oxide layers prepared by evaporation and plasma oxidation"


  • 23.01.2009: J. Fahlteich ( Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik, Dresden)
    "Barriereeigenschaften reaktiv gesputterter Metalloxidschichten"


  • 09.01.2009:
    • Prof. F. Richter, Th. Welzel, R. Kleinhempel, Th. Dunger
      "Investigation of the ion energies at the substrate in d.c. and pulsed d.c. magnetron"


    • H. Kupfer
      "Description of the cross magnetron effect as a local variation of the process operation point"

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Aktueller Seminarplan


2008


  • 12.12.2008: M. Herrmann
    "Zum Problem der Härte und Fließspannung von Quarzglas: Misst man mittels Nanoindentation indirekt eine Verdichtung dieses Materials?"


  • 05.12.2008: F. Händel ( Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik, Dresden)
    "Isolations- und Barriereschichten zur monolitischen Verschaltung von CI(G)S-Systemen gegenüber einer metallischen Trägerfolie"


  • 14.11.2008: Th. Welzel
    "Ion Energy Distributions in Magnetron Sputtering of Zinc Aluminium Oxide"


  • 07.11.2008: J. Kousal ( Charles University Prague)
    "In-situ diagnostics of RF magnetron sputtering of nylon"


  • 24.10.2008: M. Haase
    "Mechanische Charakterisierung wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten" (Stand der Diplomarbeit)


  • 17.07.2008: J. Bankwitz
    "Abscheidung von Indium-Zinnoxyd (ITO)-Schichten mittels d.c.-gepulster reaktiver Magnetronentladungen"


  • 11.07.2008: S. Peter
    "Plasma- Beschichtung von Mikrostrukturen"


  • 04.07.2008: H. Hattermann (Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung, Berlin)
    "Eigenschaften von Sol-Gel-Schichten mit eingebetteten anorganischen Fullerenen"


  • 27.06.2008: O. Chukhrai
    "Recent investigations of the mechanical behaviour by the combination of normal and lateral loading"


  • 20.06.2008: P. Krone
    "Simulation einer Magnetronentladung" (Stand der Diplomarbeit)


  • 13.06.2008: T. Kopte, B. Heimke(Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik, Dresden)
    "Aktuelle Entwicklungen der Photovoltaik - Perspektiven der Dünnschichttechnologie"


  • 06.06.2008: B. Liebig
    "Räumlich aufgelöste optische Emissionsspektroskopie in einer Magnetronentladung mittels Abel-Inversion" (Stand der Diplomarbeit)


  • 30.05.2008: M. Günther
    "Untersuchung der Abscheidung von a-C:H Schichten in gepulsten Plasmen" (Stand der Diplomarbeit)


  • 23.05.2008: A. Clausner
    "Laterale Belastung eines Berkowich-Indenters"


  • 16.05.2008: M. Herrmann
    "Mechanische Charakterisierung von amorphen Kohlenstoffschichten (a-C:H)"


  • 25.04.2008: S. Peter
    "Arbeitsschutzbelehrung"


  • 18.04.2008: P. Belsky
    "Untersuchungen zur a-C:H Abscheidung in Mittelfrequenzentladungen"


  • 01.02.2008: J. Fahlteich (Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik, Dresden)
    "Barriereeigenschaften reaktiv gesputterter Metalloxidschichten"


  • 25.01.2008: M. Siemers (Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, Braunschweig)
    "Numerische 3D Plasmasimulation: Cross Corner- und Cross Magnetron Effekt"


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Aktueller Seminarplan


2007


  • 14.12.2007: F. Händel (Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik, Dresden)
    "Isolations- und Barriereschichten zur monolitischen Verschaltung von CI(G)S-Systemen gegenüber einer metallischen Trägerfolie"


  • 07.12.2007: Th. Dunger
    "Zeitaufgelöste Einzelsondenmessungen an einer gepulsten Magnetronentladung"


  • 30.11.2007: F. Molnar
    "Die mechanische Charakterisierung eines menschlichen Zahnes mit einem Zahnfüllungsmaterial mittels Nanoindentation"


  • 23.11.2007: T. Raubold
    "Langmuirsondenmessungen an industriellen Magnetronentladungen"


  • 16.11.2007: R. Wiese (Institut für Niedertemperatur-Plasmaphysik e.V. Greifswald)
    "Eine neue kontinuierlich arbeitende Sonde zur Messung des Energieeinstromes bei plasmatechnologischen Prozessen"


  • 02.11.2007: Th. Welzel, Th. Dunger
    "Prozesscharakterisierung mittels Langmuir-Sonden bei von Ardenne Anlagentechnik"


  • 26.10.2007: M. Schorch
    "Abscheidung von Indium-Zinnoxyd (ITO)-Schichten mittels einer reaktiven, gepulsten Magnetronentladung"
    (Arbeitsdiskussion zur Diplomarbeit)


  • 19.10.2007: M. Ouchabane (Centre de Développement des Technologies Avancées, Algier)
    "Diamond-like carbon thin films: deposition and structural characterization"


  • 27.07.2007: Jörn Bankwitz
    "Cross Magnetron Effect bei der Abscheidung von Indium-Zinn-Oxydschichten (ITO): Einsatz von Blenden zur Verbesserung der Schichteigenschaften" (Vortrag zum Laborpraktikum)


  • 13.07.2007:
    • M. Schorch
      "Abscheidung von Indium-Zinnoxyd (ITO)-Schichten mittels einer reaktiven, gepulsten Magnetronentladung"
       (Stand der Diplomarbeit)

    • Vorträge zum Laborpraktikum:
      • Marcus Günther: "Aufbau und Erprobung eines Ionenenergieanalysators für plasmagestützte Schichtabscheideprozesse"
      • Bernd Liebig: "Räumlich aufgelöste Messungen mit optischer Emissionsspektroskopie in einem Magnetronplasma"
      • Micha Haase: "Bestimmung der mechanischen Eigenschaften von Schichtsystemen mittels Nanoindentation in Kombination mit begleitenden Simulationen"


  • 29.06.2007: M. Karniychuk
    "Evaluation of elastic modulus of coated materials by means of the extended Hertzian model on the basis of elastic and elastic-plastic measurements"


  • 22.06.2007: F. Molnar
    "Neue Möglichkeiten zur Bestimmung der Fließspannung an Schicht-Substrat-Verbunden"


  • 15.06.2007: Marcel Demmler(Roth & Rau AG, Wüstenbrand)
    "Ultrapräzise Schichtdickenkorrektur mit verweilzeitgesteuerten Ionenstrahlen"


  • 08.06.2007: S. Peter
    "Effects of CH4 and C2H2 as precursor on the RF plasma deposition of hard a-C:H films"


  • 21.05.2007: U. Beck (Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung, Berlin)
    "Centrifuge Technology: A Promising Tool for the Determination of Adhesion and Mechanical Properties"


  • 11.05.2007: O. Chukhrai
    "Determination of the intrinsic stress in thin films by nanoindentation"


  • 04.05.2007: Prof. F. Richter
    "Diminution of Film Property Homogeneity Owing to the Cross Magnetron Effect: Reactive Sputtering of Indium Tin Oxide (ITO) as an Example"


  • 27.04.2007: T. Raubold
    "Langmuir-Sondenmessungen an ITO-Abscheideplasmen"


  • 20.04.2007: V. Güther (GfE Metalle und Materialien GmbH, Nürnberg)
    "Herstellung, Eigenschaften und Anwendungen von intermetallischen Hochleistungswerkstoffen auf Basis von γ-TiAl"


  • 26.01.2007: S. Welzel (Institut f. Niedertemperatur-Plasmaphysik e.V. Greifswald)
    "Anwendung dünner Schichten bei der Absorptions-Spektroskopie im mittleren Infrarotbereich"


  • 19.01.2007: M. Herrmann
    "Über die Verwendung von FE-Lösungen zur Modellierung mechanischer Kontakte"


  • 05.01.2007: F. Bleich
    "Untersuchungen zur DLC- Hochrateabscheidung in gepulsten Mittelfrequenzplasmen"
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Aktueller Seminarplan


2006


  • 15.12.2006: R. Kleinhempel
    "Modifizierung und Überführung des ITO-Prozesses bei FHR Anlagenbau"


  • 08.12.2006: Dr. V. Hegadekatte (GKSS-Forschungszentrum Geesthacht)
    "Finite Element Modelling of Contact Problems"


  • 01.12.2006: S. Kadlec (Staccato Consulting, Prag)
    "Simulation of industrial magnetrons: target erosion, cross-corner and related effects"


  • 24.11.2006: F. Molnar
    Gruppen-Diskussionsseminar "Biegemechanik dünner Schichten"


  • 17.11.2006:

  • 10.11.2006: M. Ouchabane (Centre de Développement des Technologies Avancées, Algier)
    "Diamond-like carbon thin films: deposition and structural characterization"


  • 20.10.2006: J. Fahlteich (Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik, Dresden)
    "Transparente Permeationsbarrieren auf flexiblen Substraten"


  • 14.07.2006: S. Peter
    "Vergleichende Untersuchung der DLC-Abscheidung aus Methan und Ethin"

  • 07.07.2006: H. Kupfer
    "AC Powered Reactive Magnetron Deposition of Indium Tin Oxide"

  • 30.06.2006: R. Wiese (Institut für Niedertemperatur-Plasmaphysik Greifswald)
    "Bestimmung der Plasmaparameter bei der ZnO-Deposition mit keramischem und metallischem Target und ihr Zusammenhang mit den Schichtparametern"

  • 23.06.2006: Th. Welzel
    "Zeitliche Potentialänderungen in einer gepulsten Magnetronentladung"

  • 16.06.2006: F. Richter
    "Substrateinfluss bei der E-Modul-Bestimmung an superharten Schichten"

  • 09.06.2006: Th. Dunger
    "Zeitaufgelöste Untersuchung der Elektronenenergie in einer asymmetrisch bipolar gepulsten Magnetronentladung"

  • 02.06.2006: M. Karniychuk
    "Combination of Lateral and Normal Forces for Investigation of Mechanical Properties and Tribological Behaviour of Buld and Coated Materials on the Micro-Scale"

  • 19.05.2006: F. Bleich
    "Untersuchungen zur DLC-Abscheidung in gepulsten Mittelfrequenzplasmen"

  • 12.05.2006: F. Molnar
    "Machbarkeitsstudie zur Erzeugung definierter mechanischer Spannungen in dünnen Schichten und massiven Substratmaterialen"

  • 12.05.2006: K. Shaha (Universität Stuttgart)
    "Effect of variation in process parameters on microhardness of IAEB-PVD"

  • 28.04.2006: D. Glöß (Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik Dresden)
    "Einfluss der Beschichtungsparameter auf den Teilchen- und Energiestrom beim reaktiven Puls-Magnetron-Sputtern"

  • 20.01.2006: M. Herrmann
    "Mechanische Eigenschaften von porösen low-k Dielektrika"

  • 13.01.2006: Prof. F. Richter
    "Moderne Anwendungen dünner Schichten im Nanometer-Bereich"

  • 05.01.2006: T. Ruardij (Photonis - Delft electronic Products, Netherlands)
    "Secondary electron emission in Photonis-DEP Image Intensifiers Tubes"
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Aktueller Seminarplan


2005


  • 16.12.2005: F. Molnar
    "Nanoindentermessungen an Verbindungshalbleitern"

  • 02.12.2005: M. Karniychuk
    "Lateral force unit: new possibilities for the mechanical characterization of materials"

  • 25.11.2005: A. Palmero (Debye Institute, Department of Physics, Utrecht University)
    "Fundamental Processes in Magnetron Sputtering Deposition"

  • 11.11.2005: U. Kretzer (Freiberger Compound Materials GmbH)
    "Dotierung von Galliumarsenid-Einkristallen - Physikalische und technologische Aspekte"

  • 21.10.2005: Prof. X. Yan (Dep. of materials science, Fudan University, Shanghai)
    "A group of molecular functional materials"

  • 15.07.2005: M. Karniychuk
    Lateral force unit: new possibilities for the mechanical characterization of materials

  • 08.07.2005: B. Graffel
    Untersuchungen zur reaktiven Prozessführung bei der ITO-Abscheidung mittels gepulstem MF-Magnetronsputtern

  • 01.07.2005: R. Kleinhempel
    Optische Charakterisierung von ITO-Schichten

  • 24.06.2005: F. Molnar
    Nanoindentermessungen an Halbleitern

  • 17.06.2005: Th. Dunger
    Diagnostik gepulster Magnetronentladungen

  • 03.06.2005: G. Köhler
    Untersuchung der Zusammenhänge von Plasma- und Schichtparametern bei der DLC-Abscheidung in HF-Plasmen

  • 27.05.2005: F. Milde (Von Ardenne Anlagentechnik GmbH, Dresden)
    Anwendungen und prozesstechnische Herausforderung für die Plasmatechnologie bei der Großflächenbeschichtung

  • 29.04.2005: J. Lukás (Westböhmische Universität Plzen)
    Time-resolved Diagnostics of High-power Pulsed DC Magnetron Discharge Plasmas by means of Langmuir Probe Measurements

  • 04.02.2005: Prof. Biederman (Charles University Prague)
    R.f. sputtering of polymers

  • 01.02.2005: Th. Welzel
    Bestimmung des Plasmapotentials in technologischen Entladungen mittels emissiver Sonden

  • 14.01.2005: G. Köhler
    Untersuchung der Zusammenhänge von Plasma- und Schichtparametern bei der DLC-Abscheidung in HF-Plasmen
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2004


  • 10.12.2004: N. Schwarzer
    Qualitative failure analysis of wind surfing boards using thin film modeling technique

  • 26.11.2004: M. Herrmann
    Abscheidung von Indium-Zinn-Oxid mittels einer reaktiven gepulsten Magnetronentladung

  • 12.11.2004: D. Graupner
    Untersuchungen zur Hochrateabscheidung harter DLC-Schichten

  • 05.11.2004: St. Welzel
    Untersuchungen einer gepulsten Magnetronentladung mittels OES und elektrischer Sonden

  • 29.10.2004: I. Herrmann
    Elastischer Kugeleindrck zur Bestimmung mechanischer Oberflächeneigenschaften

  • 16.07.2004: H. Kupfer
    Pulsed reactive dual magnetron deposition of MgO films for plasma display panel (PDP) application

  • 09.07.2004: St. Welzel
    Untersuchungen einer gepulsten Magnetronentladung mittels OES und elektrischer Sonden

  • 25.06.2004: K. Graupner
    Untersuchungen zur Hochrateabscheidung harter DLC-Schichten

  • 11.06.2004: D. Glöß (Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik Dresden)
    Einfluss der Beschichtungsparameter beim Puls-Magnetron-Sputtern von TiO2 auf der Energieverteilung der Plasma-Ionen und die Schichteigenschaften

  • 04.06.2004: Th. Schwarz-Selinger (MPI für Plasmaphysik, Garching)
    Bayessche Analyse von Quadrupol-Massenspektren: Was steckt in den Daten?

  • 14.05.2004: R. Kleinhempel
    Grundlagen und Anwendungen der Röntgen-Reflektometrie

  • 16.04.2004: Prof. F. Richter
    Time-resolved Characterization of Pulsed Magnetron Discharges using Langmuir Probes

  • 23.02.2004: M. Klick (Advanced Semiconductor Instruments GmbH)
    Plasmamonitoring unter industriellen Bedingungen für die Halbleiterindustrie

  • 30.01.2004: M. Karniychuk
    New Possibilities of Nanoindentation

  • 30.01.2004: P. Nagy (Hungarian Academy of Sciences)
    Measurement of local adhesion

  • 23.01.2004: R. Puschmann
    Eindruckversuch an porösen low-k-Materialien

  • 09.01.2004: I. Herrmann
    Anwendung und Erweiterung der elastischen Kugeleindruckmethode zur Bestimmung mechanischer Oberflächeneigenschaften
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Aktueller Seminarplan


2003


  • 12.12.2003: S. Peter
    Literaturauswertung und erste Versuche zur Hochrate-Abscheidung von harten a-C:H-Schichten

  • 05.12.2003: H. Kupfer
    Abscheidung von MgO - Schichten mit dem gepulsten Dualmagnetron im Transition-Mode

  • 28.11.2003: T. Dunger
    Zeitaufgelöste Sondenmessungen

  • 14.11.2003: T. Welzel
    Diagnostik an gepulsten Magnetronentladungen

  • 07.11.2003: N. Schwarzer
    The concept of the effectively shaped indenter and its uses

  • 11.07.2003: W.-M. Gnehr (FEP Dresden)
    Puls-Magnetronsputtern von Indium-Zinn-Oxydschichten

  • 04.07.2003: P. Frach, D. Glöß (FEP Dresden)
    Einfluss des Puls-Modus beim reaktiven Puls-Magnetronsputtern auf Struktur und Eigenschaften von Titandioxid

  • 27.06.2003: K. Hofmann
    Abscheidung von CNx-Schichten im nm-Bereich mit dem Penning-Magnetron

  • 13.06.2003: K. Ellmer (Hahn-Meitner-Institut Berlin)
    Magnetronsputtern von Halbleiterschichten

  • 23.05.2003: T. Wittkowski (Universität Kaiserslautern)
    Brillouinlichtstreuung zur Untersuchung elastischer und struktureller Eigenschaften dünner Schichten

  • 16.05.2003: N. Schwarzer
    Mögliche Erweiterungen von Elastica

  • 09.05.2003: Cheng Yuhang
    MgO films deposited by dual magnetron sputtering

  • 11.04.2003: T. Pfeifer
    Mechanical and Sructural Properties of BN Thin Films

  • 03.02.2003: S. Bhattacharyya (Indian Institute of Technology, Kanpur)
     Novel properties of nanocrystalline diamond

  • 31.01.2003: B. Abendroth (Forschungszentrum Rossendorf)
     In-situ-Stressmessungen bei der Magnetronabscheidung von c-BN-Schichten

  • 24.01.2003: F. Weber (Fa. Gühring, Berlin)
    Anwendung von Hartstoffschichten bei Schneidwerkzeugen

  • 17.01.2003: K. Hofmann
    Abscheidung von CNx-Schichten im nm-Bereich mit dem Penning-Magnetron

  • 10.01.2003: St. Günther (Fraunhofer FEP, Dresden)
    Plasmaaktivierte Verdampfung von Aluminium für Hochbarriere-Anwendungen
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Aktueller Seminarplan


2002


  • 13.12.2002: B. Cudalbu (Nat. Inst. for Lasers, Plasma and Radiation Physics, Bucharest)
     The thermionic vacuum arc - a new kind of discharge

  • 13.12.2002: B. Cudalbu (Nat. Inst. for Lasers, Plasma and Radiation Physics, Bucharest)
     M-effect: the monochromatization of the emitted spectrum in electropositive-electronegative gas mixture

  • 06.12.2002: M. Ishihara (Nat. Inst. of Advanced Industry Science and Technol., Tsukuba, Japan)
     Diamond Surface Acoustic Wave Device

  • 06.12.2002: T. Kubach (Universität Stuttgart)
     Untersuchungen gepulster mikrowellen-erzeugter Plasmen

  • 29.11.2002: V. Linß, H. Kupfer
     Bestimmung von Rotationstemperaturen in gepulsten Magnetronentladungen

  • 27.11.2002: F. Fenske (HMI Berlin)
     Pulssputterdeposition von vorzugsorientierten polykristallinen Si-Schichten

  • 15.11.2002: Th. Dunger
     Zeitaufgelöste Sondenmessungen an gepulsten Magnetronentladungen

  • 08.11.2002: R. Rank (Fraunhofer FEP, Dresden)
     Optimierung von HF-Plasmen zur effektiven Vorbehandlung von Kunststofffolien in Bandbedampfungsanlagen

  • 01.11.2002: V. Linß
     Zusammenhang zwischen Struktur und mechanischen Eigenschaften amorpher B-C-N-Schichten

  • 05.07.2002: S. Peter
     Plasmachemische Abscheidung und Charakterisierung von ternären und quaternären Schichten im System Ti-Si-C-N

  • 28.06.2002: Th. Welzel
    Neue Ergebnisse zum Penning-Magnetron

  • 21.06.2002: B. Petereit (IBM Mainz)
     Industrielle Arc-Abscheidung für die Speichertechnologie

  • 14.06.2002: H. Kersten (Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald)
     Die Bestimmung des Energieeinstroms bei Sputterprozessen

  • 10.06.2002: L. Hultman (Linköping University)
    Growth and Characterization of Ti3SiC2 Thin Films; A ductile ceramic of the so called MAX phase materials

  • 05.06.2002: J. Bradley (UMIST Manchester)
    Time resolved measurements of the plasma in a pulsed magnetron

  • 31.05.2002 Cheng Yuhang
     Structure and properties of MgO films deposited by pulsed MF magnetron sputtering

  • 24.05.2002: H.-M. Katsch (Universität Essen)
     Charakterisierung von Radiofrequenzentladungen mit kapazitiver und induktiver Anregung in Sauerstoff unter besonderer Berücksichtigung negativer Ionen

  • 03.05.2002: V. Linß, I. Herrmann
     Herstellung von Schichten und Schichtsystemen mit bestimmten mechanischen Eigenschaften im ternären System B-C-N

  • 19.04.2002: F. Heilmann
     Molekulardynamische Modellierung der mechanischen Eigenschaften von Nanotubes

  • 01.02.2002: H. Kupfer, Th. Dunger
    Möglichkeiten der Plasmacharakterisierung an gepulsten Magnetronentladungen

  • 25.01.2002: T. Pfeifer
    Neue Ergebnisse zum Al-Einbau in c-BN

  • 04.01.2002: F. Noack (Gymnasium Frankenberg, Vortrag zu BELL)
    Untersuchung der Abscheidecharakteristik einer Magnetronquelle
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Aktueller Seminarplan


2001


  • 14.12.2001: Th. Welzel
    Charakterisierung der CNx-Abscheidung mit Facing-Target-Magnetrons

  • 07.12.2001: F. Richter
    Mechanische Charakterisierung dünner Schichten

  • 30.11.2001: D. Heuer (Uni Leipzig)
    Grundlagen der adhäsiven Füllungstherapie mit Composite-Materialien in der Zahnheilkunde

  • 16.11.2001: Pham Hong Tuan (NACENTECH Hanoi)
    Ion assisted deposition - the solution for moisture stable optical coatings

  • 09.11.2001: I. Dani
    ECR-Plasmadiagnostik im System Ar-H2-N2-TMS und Charakterisierung der entstehenden SiCN:H-Schichten

  • 02.11.2001: W. Grimm (Inovap GmbH Dresden), R. Wolf (FhG IWU Chemnitz), F. Kunath (IPMT Chemnitz)
    Abscheidung von MoS2- und WS2-Gleitschichten durch Puls-Arc-Verdampfung

  • 26.10.2001: M. Kormunda (Westböhmische Universität Plzen)
    Energy resolved mass spectrometry in He-N2 and Ar-N2 RF discharges

  • 06.07.2001 F. Heilmann
    Molekulardynamische Simulation in Graphit(0001)-Ebenen und Vergleich mit elastizitätstheoretischen Berechnungen

  • 06.07.2001: T. Dunger
    Direkte Konzentrationsmessung von Aluminiumatomen in der Gasphase während eines Abscheidungsprozesses

  • 02.07.2001: R. Tarrant (The University of Sydney)
    1. Review of research projects in the Depatment of Applied and Plama Physics
    2. Deposition of thick adherent carbon films from cathodic arc plasma

  • 29.06.2001: N. Schwarzer
    Modellierung mechanischer Kontakte in der Nähe von rechtwinkligen Kanten

  • 22.06.2001: S. Peter, P. Bielsky (Westböhmische Universität Plzen)
    Verfahrenskombination Magnetronsputtern/ECR-Plasma

  • 15.06.2001: H. Kupfer
    Sekundärelektronenemission reaktiv gesputterter MgO-Schichten

  • 08.06.2001: Th. Welzel, I. Dani
    Bestimmung von Teilchendichten mittels OES bei der Abscheidung von Si-C-N im ECR-Plasma

  • 08.06.2001: I. Petkov (Bulgarian Academy of Science, Sofia)
    Hot Langmuir Probe Measurements in a Chemically Reactive Plasma and Accurate Evaluation of the Electron Energy Distribution Function

  • 01.06.2001: M. Meier (Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Garching)
    Mechanismen der Schichtabscheidung mit CH3 und H

  • 18.05.2001: F. Berberich (Forschungszentrum Rossendorf)
    In-situ Untersuchungen der Phasentransformation und der mechanischen Eigenschaften stickstoffimplantierter Ti-6Al-4V Legierungen

  • 11.05.2001: J. Moragrega Cardona (University of Barcelona)
    Confocal Fabry-Perot Interferometer - Two Different Points of View

  • 27.04.2001: P. Bielsky (Westböhmische Universität Plzen)
    OES of ECR Plasmas and Time resolved OES of pulsed DC Magnetron Discharges

  • 20.04.2001: Th. Chudoba
    Einweisung in die neue Literaturdatenbank

  • 02.04.2001: A. Anders (Lawrence Berkeley Laboratory, University of California)
    Plasmaphysik des Vakuumbogens und die Anwendung von Bogenplasmen zur Schichtherstellung und Plasma-Immersions-Ionenimplantation

  • 26.01.2001: V. Linß
     Dünne Schichten im (B, C, N)-Zusammensetzungsdreieck

  • 19.01.2001: Th. Welzel
    Neue Entwicklungen bei Niederdruckmagnetrons

  • 12.01.2001: H. Kupfer
    Optische Eigenschaften von BN-Schichten
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2000


  • 19.12.2000: Yi Wang (Tianjin University)
    Structure and Mechanical Properties of CNx Thin Films Synthesized by Facing-Targets Sputtering System"
    (Vortrag zusammen mit dem Graduiertenkolleg)

  • 15.12.2000: E. Weißmantel
    Ergebnisse BMBF- und SMWA-Projekt

  • 08.12.2000: Rother (MAT-GmbH Dresden)
    Reibung, Verschleiß und Physik

  • 24.11.2000: I. Herrmann
    Möglichkeiten für die Nutzung eines AFM in Verbindung mit Eindruckversuchen

  • 17.11.2000: Th. Chudoba
    Das Kriechverhalten unter Last bei Härteeindrücken und der Einfluss auf Härte- und E-Modul-Ergebnisse

  • 10.11.2000: Th. Welzel
    Ergebnisse zum Penning-Magnetron-Projekt

  • 03.11.2000: Th. Pfeifer, V. Linß
    Ergebnisse zum c-BN:Al

  • 27.10.2000: H. Kupfer
    HF-Bias bei isolierenden Substraten

  • 17.10.2000: Prof. Dr. John Colligon ( Metropolitan University Manchester, England)
    Energy-assisted coating
    Hard coatings formed by ion-assisted methods

  • 14.07.2000: B. Petereit (IBM, Mainz)
    Technologie eines sub-100 nm-Transistors

  • 07.07.2000: K. Yamamoto (Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, Braunschweig)
    Adhesion improvement of cubic boron nitride films

  • 30.06.2000: G. Pharr (Rice University, Houston)
    Characterization of materials by nanoindentation

  • 23.06.2000: S. Peter
    Charakterisierung der plasmachemischen Abscheidung von TiN aus gepulsten Glimmentladungen

  • 16.06.2000: Ch. Hopf (MPI Garching)
    Oberflächen-Verlustwahrscheinlichkeiten von Radikalen aus Kohlenwasserstoffplasmen

  • 09.06.2000: V. Linß
    Reaktives Magnetronsputtern im System B-C-N

  • 26.05.2000: Th. Chudoba
    Ergebnisse aus dem EU-Projekt INDICOAT

  • 12.05.2000: F. Richter, Th. Chudoba, N. Schwarzer, S. Peter
    Auswertung "International Conference On Metallurgical Coatings And Thin Films ICMCTF 2000" (San Diego / USA)

  • 28.04.2000: A. Richter (Technische Fachhochschule Wildau)
    Charakterisierung mechanischer Eigenschaften von Filmen und Bulkmaterialien mittels Nanoindentation

  • 04.02.2000: R. Behrisch (MPI Garching)
    Grundlagen der Zerstäubung von Festkörpern bei Beschuss mit energiereichen Ionen

  • 14.01.2000: Th. Pfeifer
    Ergebnisse der Messungen am Berliner Elektronenspeicherring BESSY

  • 07.01.2000: B. Scheffler (FhG FEP Dresden)
    Untersuchungen zur plasmaaktivierten Hochrate-Bedampfung mit dem diffusen kathodischen Vakuumbogen
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1999


  • 17.12.1999: B. Wolf (TU Dresden)
    Mechanische Eigenschaften von Quasikristallen

  • 10.12.1999: F. Richter, Th. Welzel
    Überblick über neue Forschungsprojekte

  • 03.12.1999: I. Herrmann
    Einfluss der Vordehnung von Stahl auf das elastoplastische Deformationsverhalten bei Kugeleindrücken (Stand der Diplomarbeit)

  • 26.11.1999: W. Fukarek (FZ Rossendorf)
    In-situ-Messung mechanischer Spannungen in BN-Schichten

  • 23.07.1999: Th. Pfeifer
    Ergebnisse der Messungen am Berliner Elektronenspeicherring BESSY

  • 16.07.1999: I. Dani
    In-situ-Charakterisierung der Si-C-N-Abscheidung aus ECR-Plasmen

  • 09.07.1999: P. Schlott
    Präparation breitbandig hochreflektierender Schichtstapel

  • 02.07.1999: H. Kupfer
    Optische Eigenschaften von BN-Schichten

  • 25.06.1999: S. Peter
    Plasmachemische Abscheidung von Ti-Si-C-N-Schichten

  • 18.06.1999: E. Weißmantel
    Optimierung der c-BN-Abscheidung

  • 11.06.1999: O. Treichel (FhG FEP Dresden)
    Eigenschaften, Funktionsweise und Bedeutung von Blockerschichten in IR-r eflektierenden Schichtsystemen auf Glassubstraten

  • 28.05.1999: S. Bhattacharyya
    Electronic properties of amorphous nitrogenated carbon films

  • 07.05.1999: I. Dani
    Schichtanalyse mit ERDA, RBS und NRA

  • 30.04.1999: V. Linß
    Ergebnisse des Anlagenaufbaus und Arbeitskonzept

  • 23.04.1999: Th. Welzel, P. Schlott
    Charakterisierung der Entladung zur Abscheidung von Nb2O5-Schichten mit Hilfe von Langmuir-Sonden

  • 09.04.1999: F. Richter
    Sputtering and Chemical Erosion During CNx Synthesis by Ion Beam Assiste d Filtered Arc Evaporation

  • 09.04.1999: Th. Chudoba
    New Possibilities of Mechanical Surface Characterization with Spherical Indenters by Comparison of Experimental and Theoretical Results

  • 08.03.1999: P. Häussler (TU Chemnitz, Physik dünner Schichten)
    Elektronischer Einfluß auf die Strukturbildung in ungeordneten Halbleitern und Isolatoren

  • 26.02.1999: Th. Pfeifer
    Meßmöglichkeiten am Berliner Elektronenspeicherring (BESSY)

  • 05.02.1999: G. Reiße (HTW Mittweida)
    Laser-PVD von c-BN-Schichten

  • 29.01.1999: T. Pfeifer
    Faserbasierte ATR-Spektroskopie an Plasmapolymerschichten

  • 22.01.1999: W. Donner (MPI für Metallforschung, Stuttgart)
    Röntgenstreuung an BN-Schichten

  • 15.01.1999: G. Reiners (Bundesanstalt für Materialprüfung Berlin)
    Referenzschichten für die Oberflächen- und Dünnschichttechnik>
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1998


  • 11.12.1998: I. Dani, S. Peter
    Charakterisierung der ECR-Plasma-Abscheidung von Si-C-N

  • 09.12.1998: A. J. Bushby (Queen Mary and Westfield College, London)
    Indenting with spheres

  • 04.12.1998: H. Barankova, L. Bardos (Uppsala University)
    New Types of Plasma Sources for Processing

  • 20.11.1998: P. Siemroth (FhG IWS Dresden)
    Chaos und Kausalität beim Vakuumbogen

  • 06.11.1998: T. Drüsedau (Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg)
    Untersuchung der Energie- und Teilchenflüsse beim konventionellen Magnetronsputtern

  • 30.10.1998: H. Kupfer
    Innere Spannungen in dünnen dielektrischen Schichten auf mikromecha nischen Laserspiegeln

  • 16.10.1998: Th. Chudoba, H. Kupfer
    Tagungsauswertung PSE '1998 Garmisch-Partenkirchen

  • 16.10.1998: Th. Chudoba
    Determination of elastic properties of thin films by indentation measure ments with a spherical indentor

  • 10.07.1998: Chr. Spaeth
    Mechanische Eigenschaften von CNx-Schichten

  • 03.07.1998: G. Reiners (BAM Berlin)
    Referenzschichten für die Oberflächen- und Dünnschichttec hnik

  • 26.06.1998: E. Weißmantel
    Bericht über das c-BN-Expertentreffen in Reisenburg

  • 15.05.1998: I. Dani
    Gasabgabe von Festkörpern

  • 08.05.1998: V. Linß
    Temperaturmessung in Gasentladungen (Probevortrag zur Diplomverteidigung)

  • 24.04.1998: H. Kupfer
    Metallisierung von Plastgehäusen

  • 05.02.1998: S. Bhattacharyya
    Deposition of nitrogenated carbon films by Plasma-CVD

  • 30.01.1998: P. Schlott
    Reflexionsschichten bei schrägem Lichteinfall

  • 16.01.1998: Th. Welzel
    LIF- und OES-Untersuchungen zu Anregungsmechanismen in einer Magnetronentladung
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1997


  • 19.12.1997: N. Schwarzer
    Zur Biegung von beschichteten Platten

  • 05.12.1997: N. Kaiser (FhG IOF Jena)
    Physikalische Ursachen und Vermeidung der laserinduzierten Zerstörung von Oxid- und Fluoridschichten

  • 28.11.1997: H. Kersten (Universität Greifswald)
    Energiebilanz bei der Plasma-Wand-Wechselwirkung

  • 21.11.1997: Th. Chudoba
    (1) Auswertung des Workshops "Mechanical behaviour of PVD-coated materials" Holzhau/Erzgeb.
    (2) Vorstellung des Härtetesters UNIS-2000:sowie der Zielrichtungender beantragten EG-Projekte

  • 14.11.1997: V. Linß
    Bestimmung der Rotationstemperatur am Beispiel einer Magnetronentladung
    (Stand der Diplomarbeit)

  • 07.11.1997: J. Musil, J. Vlcek (Westböhmische Universität Plzen)
    Ion assisted deposition methods - new results of the research at the West Bohemian University in Plzen

  • 30.10.1997: F. Richter
    Auswertung der Asian-Europian PSE '1997 (Seoul) und des anschließenden Korea-Aufenthaltes

  • 24.10.1997: K. Ellmer (Hahn-Meitner-Institut Berlin)
    Ionengestützte Abscheidung von Halbleitermaterialien für Dünnschichtsolarzellen am Beispiel der ZnO:Al-Fensterabscheidung mittels Magnetron-Sputtern

  • 11.07.1997: Th. Welzel
    Laserdiagnostik (LIF) der c-BN-Abscheidung durch Magnetronsputtern von h-BN

  • 04.07.1997: P. Schlott
    Homogenität und Stabilität optischer Eigenschaften von dünnen Schichten

  • 04.07.1997: Ch. Täschner (IFW Dresden)
    Abscheidung Al-haltiger Schichten mittels MOCVD

  • 27.06.1997: N. Huber (FZ Karlsruhe)
    Zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften mit dem Eindringversuch

  • 13.06.1997: S. Peter
    Plasma- und schichtdiagnostische Charakterisierung der Si-C-N-Abscheidung

  • 06.06.1997: N. Kahl
    PVD-Phasendiagramme

  • 30.05.1997: H. Wagner
    Charakterisierung von Beschichtungsplasmen mit Plasmamonitor und Gegenfeldanalysator (Stand der Diplomarbeit)

  • 23.05.1997: M. Kühn
    Neutronen- und Röntgenbeugung zur Strukturuntersuchung von amorphem CNx

  • 23.05.1997: S. Peter
    Anlagenkonzept des neuen PACVD-Pumpstandes

  • 16.05.1997: M. Kühn
    Einsatz unterschiedlicher Ionen- und Plasmaquellen bei der CNx-Abscheidung mittels gefiltertem kathodischem Bogen

  • 16.05.1997: R. Pintaske
    Tagungswauswertung San Diego

  • 25.04.1997: T. Flügel
    Optische und mechanische Eigenschaften dielektrischer Vielfachschichten

  • 18.04.1997: Th. Chudoba
    Interpretation elastoplastischer Eindringkurven in Zusammenhang mit Härtemessungen

  • 11.04.1997: Y. Paderno (Ukrainische AdW, Kiew)
    Rare-earth borides and materials based on them

  • 31.01.1997: K. Taube (FhG IST Braunschweig)
    Tribologie amorpher Kohlenstoffschichten

  • 24.01.1997: S. Prause
    Abscheidung und Charakterisierung von c-BN-Schichten

  • 17.01.1997: B. Schultrich (FhG IWS Dresden)
    Besonderheiten hochaktiver Beschichtungsplasmen

  • 10.01.1997: J. Radecker
    In-situ-Diagnostik der plasmachemischen Si-C-N-Abscheidung mittels OES
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1996


  • 20.12.1996: N. Schwarzer
    Überblick zum EU-Verbundprojekt sowie eigene fachliche Vorhaben dazu

  • 13.12.1996: H. Moussaoui
    Reaktives Magnetronsputtern von Chromiumnitridschichten

  • 06.12.1996: Ch. Spaeth
    Strukturuntersuchungen an CNx-Schichten

  • 29.11.1996: F.-R. Weber (Uni Kaiserslautern)
    Energiekontrollierte Deposition von c-BN und CxNy- Schichten mittels Plasmastrahlmethoden

  • 22.11.1996: K.-L. Barth (Uni Stuttgart)
    In-situ-Prozeßdiagnostik bei der Abscheidung von kubischen BN-Schichten

  • 15.11.1996: J. Röpcke (INP Greifswald)
    Zur spektroskopischen Diagnostik von Nichtgleichgewichtsplasmen

  • 08.11.1996: S. Grigull (FZ Rossendorf)
    Transport und Strukturmodifikation in Stickstoff-implantiertem amorphen Kohlenstoff

  • 25.10.1996: P. Schlott
    Herstellung dielektrischer Schichten mittels reaktiver Magnetronzerstäubung

  • 11.10.1996: A. Weber (HTW Mittweida)
    Ionenunterstützte Laserpulsabscheidung von Bornitrid-Schichten

  • 16.08.1996: J. Radecker, S. Peter
    Untersuchungen von Kathodenprozessen in H2-N2-Ar-Glimmentladungen mittels optischer und elektrischer Meßmethoden

  • 05.07.1996: S. Prause, J. Hahn
    Neueste Erkenntnisse der Arbeitsgruppe in Sachen c-BN

  • 28.06.1996: M. Schubert (Universität Leipzig)
    Ellipsometrische Charakterisierung von hexagonalen und kubischen BN-Schichten

  • 21.06.1996: H. Neumann (IOM Leipzig)
    Breitstrahlionenquellen - Aufbau, Charakterisierung und ausgewählte Applikationen

  • 14.06.1996: Dr. Kempf (FZ Dt. TELEKOM Darmstadt)
    Ionenstrahlgestützte Abscheidung optischer Schichten

  • 07.06.1996: Th. Welzel, R. Pintaske
    Plasmadiagnostik mittels LIF (Konzept und gegenwärtiger Stand)

  • 01.03.1996: F. Weich (Prof. Theorie ungeordneter Systeme)
    Computersimulation von Carbonitrid-Schichten

  • 23.02.1996: Th. Witke (FhG IWS Dresden)
    Optische Spektroskopie und Kurzzeituntersuchungen an gepulsten Laser-, Bogen- und Kanalfunkenplasmen

  • 02.02.1996: J. Widany (Prof. Theorie ungeordneter Systeme)
    TB-Molekulardynamik-Rechnungen zu BN-Systemen

  • 26.01.1996: A. Kolitsch (FZ Rossendorf)
    Ionenstrahlgestützte Abscheidung von c-BN und CNx am FZR

  • 19.01.1996: H. Kupfer
    Untersuchungen mit dem Rasterkraftmikroskop am Beispiel plasmamodifizierter Polymeroberflächen

  • 12.01.1996: W. Faust (FhG IZM Chemnitz)
    Möglichkeiten der konfokalen Laser-Scanning-Mikroskopie
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1995


  • 15.12.1995: Ch. Schürer (GFE Chemnitz)
    Diamantähnlicher Kohlenstoff - Herstellung, Eigenschaften und Anwendung

  • 08.12.1995: M. Schaller
    Optische Emissionsspektroskopie bei der c-BN-Abscheidung

  • 30.11.1995: R. Pintaske
    Plasmadiagnostik bei der c-BN-Abscheidung mittels OES und Langmuir-Sonde

  • 23.11.1995: M. Kühn, Ch. Spaeth
    Untersuchungen zur CNx-Abscheidung mit dem Vakuumbogen

  • 16.11.1995: J. Hahn
    Tagungsbericht Diamond Films 1995, Barcelona

  • 16.11.1995: S. Peter, R. Pintaske
    Tagungsbericht ISPC 12, Minneapolis

  • 16.11.1995: F. Richter
    Bericht über Studienaufenthalt in London

  • 08.11.1995: A. Schütze (FhG IST Braunschweig)
    DC-Magnetron-Sputtering von c-BN-Schichten vom B4C-Target

  • 08.11.1995: J. Hahn
    DC- und RF-Magnetron-Sputtern von c-BN-Schichten

  • 02.11.1995: K. Rusnak (ZCU Plzen)
    CNx-Abscheidung mit einer DC-Magnetronanordnung und andere aktuelle Forschungsprojekte am Lehrstuhl Physik der Westböhmischen Universitä Plzen

  • 26.10.1995: A. Leonhardt, K. Bartsch (IFW Dresden)
    Abscheidung von Einzel- und Viellagenschichten mit TiAlN mittels PACVD

  • 15.06.1995: Ch. Spaeth
    Kernphysikalische Analyse dünner Schichten

  • 08.06.1995: F. Richter
    Reaktive Schichtabscheidung mittels Magnetron und Vakuumbogenverdampfung

  • 01.06.1995: R. Pintaske
    Konzept und Ausrüstung zur Charakterisierung des reaktiven Magnetronsputterns mittels laserinduzierter Fluoreszenz

  • 18.05.1995: M. Schaller
    Charakterisierung plasmagestützter Schichtabscheideprozesse mit der optischen Spektroskopie (Stand der Diplomarbeit)

  • 11.05.1995: G. Krannich
    Reaktive Arc-Abscheidung von Bornitrid (Stand der Diplomarbeit)

  • 04.05.1995: Dr. Sobe (IFW Dresden)
    Grundlagenuntersuchungen zur partiell-reaktiven Gleichstrom-Magnetronabscheidung von Chrom-Silizium-Legierungen

  • 27.04.1995: S. Pfau
    Messung von Ionenenergieverteilungen in niederfrequenten Glimmentladungen (Stand der Diplomarbeit)

  • 20.04.1995: M. Kühn
    Characteristics of reactive arc evaporation

  • 13.04.1995: N. Schwarzer
    Elastischer Kugeleindruckversuch für große Eindringtiefen in geschichtete Materialien
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