Professur Technische Physik / Professur Physik fester Körper

• Grundlagenuntersuchungen zum Wachstum dünner Schichten aus der Gasphase, insbesondere bei ionen- und plasmagestützten Verfahren
• Charakterisierung von Schichtabscheideverfahren mittels In-situ-Messverfahren: Optische Emissionsspektroskopie, zeitaufgelöste Langmuir-Sondentechnik, Quadrupolmassenspektroskopie mit Energieanalyse, Laserinduzierte Fluoreszenz
• Aufstellung physikalischer Modelle von Schichtabscheideverfahren
• Theoretische und experimentelle Untersuchungen des mechanischen Verhaltens von dünnen Schichten und Schicht/Substrat-Verbunden

• Plasmaparameter und Schichteigenschaften beim MF-Pulsmagnetronsputtern, (04/2001 - 03/2004, BMBF)
• Spannungsbeeinflussung in c-BN-Schichten durch Strukturmodifizierung des Interfacebereichs mittels gezielter Beimengungen (03/2000 - 02/2003, DFG)
• Herstellung von Kohlenstoffnitridschichten mit dem Penning-Magnetron (04/2000 - 03/2003, BMBF, FKZ 13N7768)
• Auftrag der IBM Speichersysteme Deutschland zur Einstellung und Betreuung eines Doktoranden im BMBF-Verbundprojekt "Innovative Reaktoren und In-situ-Analytik für Nano-Schutzschichten" (05/2000 - 04/2003)
• Effects of Creep and Residual Stress in Nanoindentation Experiments, (1/2002 - 12/2003, DAAD)

Bhattacharyya, S. / Lübbe, M. / Bressler, P. R. / Zahn, D. R. T. / Richter, F.: "Structure of nitrogenated amorphous carbon films from NEXAFS", Diam. Rel. Mater. 11 (2002) 8-15, ISSN 0925-9635

Chudoba, T. / Schwarzer, N. / Richter, F.: "Steps towards a mechanical modelling of layered systems", Surf. Coat. Technol. 154 (2002) 140-151, ISSN 0257-8972

Weissmantel, E. / Pfeifer, T. / Richter, F.: "Electron microscopic analysis of cubic boron nitride films deposited on fused silica", Thin Solid Films 408 (2002) 1-5, ISSN 0040-6090

Welzel, T. / Dani, I. / Richter, F.: "Determination of absolute Radical Densities by Optical Emission Spectroscopy during the ECR Plasma Deposition of Si-C-N:H films using TMS as a Precursor", Plasma Sources Sci. Technol. 11 (2002) 351-359, ISSN 0963-0252

Cheng, Y. H. / Kupfer, H. / Richter, F. / Paraian, A. M.: "Deposition of MgO films by pulsed mid-frequency magnetron sputtering", Applied Surface Science 200 (2002) 117-124, ISSN 0169-4332

Wänstrand, O. / Schwarzer, N. / Chudoba, T. / Kassman-Rudolphi, A.: "Load-carrying capacity of Ni-plated media in spherical indentation: Experimental and theoretical results", Surface Engineering 18 (2002) 2, 98-104, ISSN 0267-0844

Frühauf, S. / Streiter, I. / Puschmann, R. / Schulz, S. E. / Geßner, T. / Chudoba, T. / Richter, F.: "Electrical and Mechanical Properties of Porous Silicon Dioxide as an Ultra Low k Dielectric", Vortrag Materials Week, München, 29.9.-2.10.2002, erschienen bei Werkstoff-Informationsgesellschaft mbH (2003), ISBN 3-88355-314-X

Richter, F.: "Mechanische Charakterisierung dünner Schichten", Stuttgart. Kolloquiumsvortrag beim Plasma-Kolloquium der Universität Stuttgart, Institut für Plasmaforschung: 7.2.2002

Welzel, T.: "Charakterisierung von Facing-Target-Magnetrons bei der CN_x-Abscheidung", Mühlleithen, IX. Erfahrungsaustausch "Oberflächentechnologie mit Plasmaprozes-sen", 5.-7.3.2002

Welzel, T. / Richter, F.: " Herstellung von Kohlenstoffnitridschichten mit dem Penning-Magnetron", Lichtenwalde, Projekttreffen "Innovative Reaktoren und In-situ-Analytik für Nano-Schutz-schichten", TU Chemnitz, Institut für Umweltanalysen (IfU), 22.3.2002

Linss, V. / Schwarzer, N. / Hermann, I. / Kreissig, U. / Richter, F.: "Mechanical Properties of B-C-N Thin Films", San Diego, USA, International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF2002), 22.-26.4.2002

Richter, F. / Schwarzer, N. / Linss, V. / Hermann, I. / Chudoba, T.: "Depth-depending Young´s Modulus of Thin Films for Increased Load Carrying Capacity", San Diego, USA, International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF2002), 22.-26.4.2002

Kreissig, U. / Linss, V.: "ERD analysis and mechanical properties of B-C-N thin films", Marienthal, Klausurtagung des Instituts f. Ionenstrahlphysik und Materialforschung Rossendorf, 6.-8.5.2002

Schwarzer, N. / Heuer, P. / Chudoba. T.: "Experimental and analytical modelling of mechanical contact problems of Coating Systems using ELASTICA", Neyenrode, NL, eingeladener Hauptvortrag NIMR/Phillipsworkshop, 6.-7.6.2002

Welzel, T. / Richter, F.: "Characterisierung von Facing-Target-Magnetrons bei der CN_x-Abscheidung", Magdeburg, Jahrestagung 2002 der Deutschen Vakuumgesellschaft e. V. (DVG), 17.-20.6.2002

Welzel, T. / Richter, F.: "Characteristics of Different Facing-Target Magnetrons during CN_x Depostion", Sheffield, UK, 8th Sheffield ABS Days, Sheffield Hallam University, 23.-24.7.2002

Schwarzer, N. / Heuer, P. / Linss, V. / Hermann, I. / Richter, F. / Chudoba, T.: "Coating optimisation with ELASTICA, a new modeling tool for layered materials", Sheffield, UK, eingeladener Vortrag 8th Sheffield ABS Days, Sheffield Hallam University, 23.-24.7.2002

Chudoba, T. / Richter, F.: "Yield Strength Measurements at Thin Coatings", Garmisch-Partenkirchen, 8th International Conference on Plasma Surface Engineering, 9.-13.9.2002

Hermann, I. / Schwarzer, N. / Linss, V. / Chudoba, T. / Richter, F.: "Load carrying capacity of a thin film system", Oak Ridge, Tennesee, USA, eingeladener Vortrag bei der MTS-Nanoinstruments Inc., 13.9.2002

Welzel, T. / Hofmann, K. / Dunger, T. / Welzel, S. / Richter, F.: "Herstellung ultradünner Kohlenstoffnitridschichten mit dem Penning-Magnetron", Berlin, Projekttreffen " Innovative Reaktoren und In-situ-Analytik für Nano-Schutzschichten", Sentech Instruments, 8.10.2002

Wittkowski, T. / Jorzick, J. / Jung, K. / Hillebrands, B. / Pfeifer, T. / Richter, F. / Giovannini, L.: "Oberflächenphononen in h-BN/c-BN-Schichten mit kontrollierter h-BN-Lagendicke", Bonn, 9. c-BN-Expertentreffen, 11.10.2002

Kupfer, H.: "Entwicklung von kratzfesten Beschichtungen für Feinoptiken auf c-BN-Basis", Dresden, Festkolloquium zum 10-jährigen Bestehen der EFDS, 19.10.2002

Richter, F. / Chudoba, T. / Schwarzer, N.: "Difficulties in Measuring mechanical Parameters of Superhard Thin Films", Pilsen, Tschechien, eingeladener Vortrag auf dem IUVSTA-Workshop "Mechanisms of formation and applications of plasma deposited hard nanostructured coatings", 19.-24.10.2002

Schwarzer, N. / Heuer, D.: "Contact mechanics in dentistry", Knoxville, USA, eingeladener Vortrag an der University of Tennesee, 14.11.2002

Schwarzer, N.: "Contact mechanics and coating design", Oakeridge, Tennesee, USA, eingeladener Vortrag bei MTS-Nanoinstruments Inc., 15.11.2002

Richter, F.: "Mechanische Eigenschaften dünner Schichten", Kaiserslautern, Kolloquiumsvortrag an der Universität Kaiserslautern, Fachbereich Physik, 2.12.2002

Schwarzer, N.: "Analytical Contact Modellling for layered Materials", Sheffield, UK, eingeladener Vortrag am Materials Research Institute der Sheffield Hallam University, 12.12.2002

Dani, I.: ECR-Plasmadiagnostic im System Ar-H₂-N₂-TMS und Characterisierung der entstehenden SiC_xN_y:H-Schichten