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Überblick


Professur Oberflächen- und Grenzflächenphysik


* Univ.-Prof. Dr. Hans-Jürgen Hinneberg
* Telefon: (03 71) 5 31 - 30 98
* Fax: (03 71) 5 31 - 30 77
* E-Mail: hinneberg@physik.tu-chemnitz.de

* Forschungsschwerpunkte
  • Herstellung von epitaktischen Silicidschichten auf / in Silicium, elektrische und strukturelle Charakterisierung der Schichten und Grenzflächen
  • Wirkung von surfactants beim Wachstum epitaktischer Silicide
  • Gesteuertes Wachstum von Inselverteilungen an Oberflächen
  • Thermische und galvanomagnetische Eigenschaften von Silicideinkristallen, Silicidschichten und Multilagen
  • Wachstum von Al-Ni-Si-Phasen auf (001)Si

* Forschungsprojekte / Forschungsvorhaben
  • Grenzflächenstruktur und thermische Transporteigenschaften nanoskaliger Silicid/Silicium Multilagen I (04/1999 - 03/2002, DFG)
  • Grenzflächenstruktur und thermische Transporteigenschaften nanoskaliger Silicid/Silicium Multilagen II (09/2002 - 12/2003, DFG)
  • Surfactant mediated growth of Silicides on Si(001) (Haushaltsfinanzierung)

* Wissenschaftliche Veröffentlichungen

Hortenbach, H. / Falke, M. / Teichert, S. / Beddies, G. / Hinneberg, H.-J.: Surfactant mediated growth of TiSi2 on Si(001), Microelectronic Engineering 64, S.157-162, ISSN 0167-9317

Mogilatenko, A. / Falke, M. / Teichert, S. / Hortenbach, H. / Beddies, G. / Hinneberg, H.-J.: Surfactant mediated growth of MnSi1.7 on Si(001), Microelectronic Engineering 64, S. 211-218, ISSN 0167-9317

Teichert, S. / Hortenbach, H. / Beddies, G. / Hinneberg, H.-J.: Surfactant mediated growth of Silicides, Microelectronic Engineering 60, S. 255-259, ISSN 0167-9317

Falke, M. / Mogilatenko, A. / Filonenko, O. / Henning, A. / Teichert, S. / Beddies, G. / Hinneberg, H.-J. / Humphreys, C.: Epitaxial Silicide Growth on Si(001), ICEM 15 Durban Proceedings 1, S. 771-772, ISBN: 0-620-29294-6


* Wissenschaftliche Vorträge

Hortenbach, H.: Surfactant mediated growth of TiSi2 on Si(001), Vaals, MAM-Kongress, 4.03.2002

Falke, M.: Epitaxial Silicide Growth on Si(001), Durban, ICEM Kongress, 3.09.2002



WD
29. Oktober 2003
Technische Universität Chemnitz, Straße der Nationen 62, 09107 Chemnitz
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