Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme






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Forschung

Liste der Veröffentlichungen

Veröffentlichungen ab 2007

Veröffentlichungen ab 2007 werden zentral in der Universitätsbibliographie gespeichert und sind dort abrufbar:

Veröffentlichungen der Professur in der Universitätsbibliographie

Veröffentlichungen vor 2007

2006
  • Reithmeier, E.; Frühauf, J., Rahlves M.; Kraft, A.; Seifert, M.
    Heißprägen multifunktionaler Kalibriernormale für die optische 3D Mikroskopie
    VDI-Berichte Nr. 1950 Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering, S. 35-44, VDI Verlag GmbH, Düsseldorf 2006
    ISSN: 0083-5560
    ISBN: 3-18-091950-7
  • Gärtner, E.; Frühauf, J.
    Silizium-Normale für die Tiefen- Längen- und Rauheitsmesstechnik
    VDI-Berichte Nr. 1950 Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering, S. 25-34, VDI Verlag GmbH, Düsseldorf 2006
    ISSN: 0083-5560
    ISBN: 3-18-091950-7

2005
  • Frühauf, J.
    Werkstoffe der Mikrotechnik
    Lehruch für Ingenieure
    Fachbuchverlag Leipzig im Carl Hanser Verlag, München Wien, 2005
    ISBN 3-446-22557-9
    Verfügbar in Universitätsbibliothek
  • Frühauf, J.
    Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique
    A Manual of Wet Etched Silicon Structures
    Springer Verlag, Berlin Heidelberg New York, 2005
    ISBN: 3-540-22109-3
    Verfügbar in Universitätsbibliothek
  • Frühauf, J.; Gärtner, E.; Seifert, M.
    Solid Hinge Guide Made by Silicon Bulk Technology.
    Proceedings of the EUSPEN, p. 329, Montpellier 2005
    ISBN: 92-990035-0-5
  • Krüger-Sehm, R.; Dziomba T.; Frühauf, J.
    Determination of the short wavelength cutoff of interferential and confocal microscopes
    Proceedings of the 10th International Conference on Metrology and Properties of Engineering Surfaces, St. Etienne, France, July 4-7 2005 p. 21-28
    ISBN: 2-86272-389-4
  • Frühauf, J.; Krönert S.
    Wet etching of silicon gratings with triangular profiles
    Microsyst. Technol. 11 (2005) 1287-1291
    ISSN: 0946-7076

2004
  • Frühauf, J.; Krönert, S.
    Linear Silicon Gratings with Different Profiles: Trapezoidal, Triangular, Rectangular
    XI. International Colloquium on Surfaces, Chemnitz, Germany, February 2-3 2004
    Proceedings Part II 75-83, Shaker-Verlag Aachen 2004 ISBN: 3-8322-2419-X
  • Frühauf, J.; Krönert, S.; Brand, U.; Krüger-Sehm, R.
    Reachable precision of silicon dimensional standards
    Proceedings of the EUSPEN, p. 217, Glasgow 2004
    ISBN: 1861941080
  • Frühauf, J.; Gärtner, E.; Brand, U.; Döring, L.
    Silicon springs for the calibration of the force of hardness testing instruments and tactile profilometers
    Proceedings of the EUSPEN, p. 362, Glasgow 2004
    ISBN: 1861941080
  • Frühauf, J.
    Ätzmasken-Entwurf und Simulation des kristallorientierungsabhängigen Silizium-Ätzens
    Tagungsband 10. GMM-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen (Hrsg. B. Falter; W. John), Cottbus 2004, S. 19-23
    ISSN: 0947-1413
  • Krüger-Sehm, R.; Häßler-Grohne, W.; Frühauf, J.
    Traceable calibration standard for the lateral axis of contact stylus instruments
    Wear, Vol. 257 Nr. 12 (2004), 1241-1245
    ISSN: 0043-1648

2003
  • Frühauf, J.
    Silicon as a suitable material in precision engineering
    Proceedings of the EUSPEN, p. 39, Aachen 2003
    ISBN: 3-926832-30-4
  • Gärtner, E.; Frühauf, J.; Jänsch, E.
    Flexural solid hinges etched from silicon
    Proceedings of the EUSPEN, p. 43, Aachen 2003
    ISBN: 3-926832-30-4
  • Frühauf, J.; Krönert, S.; Krüger-Sehm, R.
    Precision of etched bulk silicon structures with dimensions up to the mm-range
    Proceedings of the EUSPEN, p. 253, Aachen 2003
    ISBN: 3-926832-30-4
  • Döring, L,; Brand, U.; Peiner, E.; Frühauf, J.; Gärtner, E.
    Development of micro force setting standards for stylus instruments
    Proceedings of the EUSPEN, p. 407, Aachen 2003
    ISBN: 3-926832-30-4
  • Krüger-Sehm, R., Häßler-Grohne, W., Frühauf, J.
    Traceable calibration standard for the lateral axis of contact stylus instruments
    9th Conference on Metrology and Properties of Engineering Surfaces, 10.-11.09.2003, Halmstad, Sweden, Proceedings, p. 7-14
    ISBN: 91-631-5455-2
  • Kuhn, M.; Flaspöhler, M.; Krönert, S.; Kaufmann, C.; Geßner, T.; Hübler, A.; Frühauf, J.
    Herstellung und Charakterisierung von mikromechanischen Scannern mit integrierten Beugungsgittern
    6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 29./30. Oktober 2003, Chemnitz, Germany, Tagungsband S. 60-64
    ISBN: 3-00-011655-9
  • Gärtner, E.; Frühauf, J.; Krönert, S.; Jänsch, E.
    Festkörpergelenkführungen aus Si mit bis zu +/- 5 mm Hub
    6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 29./30. Oktober 2003, Chemnitz, Germany, Tagungsband S. 118-121
    ISBN: 3-00-011655-9

2002
  • Frühauf, J.; Trumpold, H.
    Silicon Standards for Assessment and Calibration of Stylus Probes
    Annals of the CIRP Vol. 51/1/2002, 475-478
  • Jänsch, E.; Gärtner, E.; Frühauf, J.
    Biegebruchfestigkeiten von geätzten und verformten Silicium-Mikrostrukturen
    Freiberger Forschungshefte B321 Werkstofftechnologie (2002) 'Kristallisation und Technik', S. 238-253
    Herausgeber: H.-J. Möller, E. Buhrig und Rektor der TU Bergakademie Freiberg (2002)
    ISBN: 3-86012-173-1
  • Flaspöhler, M.; Kuhn, M.; Kaufmann, C.; Guessous, F.; Frühauf, J.; Gessner, T.; Hübler, A.
    Image capturing method using a microactuator with diffraction grating
    Actuator 2002, 8th International Conference on New Actuators, 10-12 June 2002, Bremen, Germany, Conference Proceedings 325-328,
    ISBN: 3-933339-04-9
  • Hanf, H.; Bennini, F.; Frühauf, J.; Gärtner, E,; Dötzel, W.
    Realization of electrostatically driven Actuators using curved electrodes using by sillicon bulk micromachining techniques
    Actuator 2002, 8th International Conference on New Actuators, 10-12 June 2002, Bremen, Germany, Conference Proceedings 329-332,
    ISBN: 3-933339-04-9

2001
  • Gärtner, E.; Frühauf, J.; Löschner, U.; Exner, H.
    Laser bending of etched silicon microstructures
    Microsystem Technologies 7 (2001) 23-26
    ISSN: 0946-7076
  • Gärtner, E.; Frühauf, J.; Hannemann, B.; , Jänsch, E.
    Mounting of Si-chips with plastically bent cantilevers
    Transducers '01 Eurosensors XV, The 11th International Conference on Solid State Sensors and Actuators, Munich, Germany, June 10-14, 2001
    Digest of technical Papers Vol.1 1C3.08P, p. 206-209
    ISBN: 3-8265-6999-7
  • Frühauf, J.; Krönert, S.; Brand, U.
    Tiefen- und Längennormale aus Silizium
    tm - Technisches Messen 68, 7-8 (2001) 326-332
    ISSN: 0171-8096
  • Gärtner, E.; Frühauf, J.; Jänsch, E.
    Plastic reshaping of silicon microstructures: process, characterization and application
    Microsystem Technologies 7 (2001) 155-160

2000
  • Frühauf, J.; Hannemann, B.
    Wet etching of undercut sidewalls in (001)-Silicon
    Sensors and Actuators A 79 (2000) 55-63
    ISSN-Nr: 0924-4247
  • Frühauf, J.; Hannemann, B.; Löhr, K.
    Measurement of form profiles of microstructures using stylus instruments - problems and tools
    X. International Colloquium on Surfaces, 31st January to 2nd February of the year 2000, Chemnitz University of Technology, Proceedings, p. 322-329
    ISBN: 3-8265-6999-7
  • Gärtner, E.; Frühauf, J.; Jänsch, E.
    Plastic reshaping of silicon microstructures: process, characterization and application
    Micro Materials 2000, April 17-19, 2000, Berlin, Germany, Proceedings of the 3rd International Micro Materials Conference
    Editors: B. Michel, T. Winkler, M. Werner, H. Fecht. Verlag ddp goldenbogen Dresden, pp. 1165-1168
  • Bennini, F.; Frühauf, J.; Dötzel, W.
    High force and large displacement electrostatic actuators with curved electrodes using silicon bulk micromachining
    Actuator 2000, 7th International Conference on New Actuators, 19-21. June Bremen, Germany, Proceedings
    ISBN: 3-933339-02-2, p.87-90

1999
  • Frühauf; J.; Gärtner, E.; Jänsch, E.
    New aspects of the plastic deformation of silicon - prerequisites for the reshaping of silicon microelements
    Appl.Phys.A 68 (1999) 673-679
  • Frühauf; J.; Hannemann, B.

    Mikrotechnik in Bestform - Designunterstützung für Funktionselemente aus Silizium
    F&M Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik, Jahrg. 107(1999) Nr.5, 50-52
  • Dötzel, W.; Frühauf, J.; Gessner, T.; Hühnerfürst, A.; Kehr, K.; Gätner, E.; Jänsch, E.
    Characterization of elastic and plastic behaviour of materials in silicon micromechanics in Materials Mechanics - Fracture Mechanics - Micromechanics
    An Anniversary Volume in Honeur of B. Michel's 50th Birthday, Editors: T. Winkler, A. Schubert, Fraunhofer IZM Berlin, Chemnitz 1999, p.243-249
  • Hannemann, B; Frühauf, J.
    Micro-optical silicon elements fabricated by wet chemical etching
    Proc. SPIE Vol. 3739, 9 (1999), Optical Fabrication and Testing, (Roland Geyl; Jonathan Maxwell; Eds.) p. 213-223
  • Frühauf, J.; Gärtner, E.; Jänsch, E.
    Silicon as a Plastic Material
    J. Micromech. Microeng. 9 (1999) 305-312

1998
  • Hannemann, B.; Frühauf, J.
    New and extended possibilities of orientation dependent etching in microtechnics
    Proceedings IEEE The Eleventh Annual International Workshop on Mico Electro Mechanical Systems MEMS'98, January 25-29, 1998, Heidelberg, Germany, 234-239
  • Frühauf, J.
    Problems of contour measuring on microstructures using a surface profiler
    Meas. Sci. Technol. 9 (1998) 293-296
  • Frühauf, J.; Gärtner, E.; Jänsch, E.
    Disloction content and fracture of plastically deformed silicon microstructures
    The 9th Micromechanics Europe Workshop MME '98, June 3-5, 1998, Ulvik in Hardanger, Norway, Proccedings, p.66-69
  • Hannemann, B.; Frühauf, J.
    A catalogue of shapes and elements of Si-bulk microtechnique, producable by anisotropic chemical wet etching
    The 9th Micromechanics Europe Workshop MME '98, June 3-5, 1998, Ulvik in Hardanger, Norway, Proccedings, p.311-314
  • Gärtner, E.; Frühauf, J.; Jänsch, E.
    Plastische Verformung von Silizium-Mikrostrukturelementen
    K. Kempter und J. Haußelt (Hrsg.) Werkstoffwoche '98, Band I, Symposium 12 Mikrosystemtechnik, Wiley-VCH, Weinheim; New York; Chichester; Brisbane; Singapore; Toronto, 1999, 315-320

1997
  • Frühauf, J.
    Kapitel Werkstoffe der Mikrosystemtechnik
    in Grundlagen der Mikrosystemtechnik
    Herausgeber: G. Gerlach; W. Dötzel, München, Wien, 1997, Carl Hanser Verlag
  • Frühauf, J., Franke, C.
    Plastic deformation of silicon microelements at high temperatures
    Micro Materials '97, April 16-18, 1997, Berlin Germany
    Proceedings of the International Conference and Exhibition ed. by Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V.
    Berlin April 16-18, 1997 Berlin, Germany, 459-462
  • Zielke, D.; Frühauf, J.
    Complete simulation support for orientation dependent etched MEMS
    in Adey, R.A.; Renaud, Ph. (Eds.): MICROSIM II Simulation and Design of Microsystems and Microstructures,
    Computational Mechanics Publications, 261-270
    2nd International Conference Simulation and Design of Microsystems and Microstructures
    17-19 September 1997, Lausanne, Switzerland