TU Chemnitz: Fakultät ET/IT: Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme: Forschung: Projekte
Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme
Forschung
Projekte
Aktuelle Projekte
- EU IP Nanopack: Advanced thermal technologies, materials and charactersation methods
- EU STREP Nanointerface: Multiscale approach to interface reliability for electronic packages
- BMBF Nanett: Network of competence for nanotechnologies in sensor systems
Abgeschlossene Projekte
- Entwicklung von Röntgenoptiken aus Elementen der Silizium Mikrotechnik
- Kernkomponenten auf Silizium-Basis für Geräte im Mikro-Nano-Bereich
- Heißprägen multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope
- Kalibrierung von Geräten zur registrierenden Härteprüfung mittels mikrotechnisch gefertigter Silizium-Federkörper als Kalibriernormale
