Professur für Opto- und Festkörperelektronik






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Lehre an der Professur für
Opto- und Festkörperelektronik

Halbleitermesstechnik
Vorlesung / Übung
Prof. Radehaus, Prof. Hietschold
0. Einführung
1. Physikalische Grundlagen
2. Profilometrie und Schichtdickenmessung
3. Optische Mikroskopie
4. Elektronenmikroskopie und el.mikrosk. Analytik
5. Raster-Sonden-Verfahren
6. Vakuummeßtechnik, UHV-Analytik
7. Allgemeine Prinzipien der Meßplatzautomatisierung und Ausblick inkl. Laborbesichtigung in beteiligten Lehrstühlen