TU Chemnitz: Fakultät ET/IT: Prof. Mikrotechnologie: Praktikum / Anleitungen
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Praktika / Anleitungen
Skripte und andere Lehrmaterialen sind nur für Studenten bzw. Mitarbeiter der Technischen Universität Chemnitz zugänglich.
Technologiepraktikum
Zeitplanung
Versuch V1 - Mikroskopie
(1.4 MB)
Versuch V2 - Fotolithografie
(449 KB)
Versuch V3 - Thermische Oxidation
(186 KB)
Versuch V4 - Chemische Dampfphasenabscheidung (CVD)
(240 KB)
Versuch V5 - Physikalische Dampfphasenabscheidung (PVD)
(653 KB)
Versuch V6 - Naßchemisches Ätzen
(736 KB)
Versuch V7 - Trockenätzen
(403 KB)
Versuch V8 - Montage/Bonden
(735 KB)
Versuch V9 - Simulation von Dotierungsprozessen
(5.4 MB)
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