Chemnitz UT: Fakulty ET/IT: Chair Microtechnology: Traineeship / instructions
Study in Chemnitz. To know what is good.
Traineeship / instructions
Scripts and other teaching materials are available only for students and employees of the Chemnitz University of Technology.
Technologiepraktikum (DE)
- Versuch V1 - Mikroskopie (1.4 MB)
- Versuch V2 - Fotolithografie (449 KB)
- Versuch V3 - Thermische Oxidation (186 KB)
- Versuch V4 - Chemische Dampfphasenabscheidung (CVD) (240 KB)
- Versuch V5 - Physikalische Dampfphasenabscheidung (PVD) (653 KB)
- Versuch V6 - Naßchemisches Ätzen (736 KB)
- Versuch V7 - Trockenätzen (403 KB)
- Versuch V8 - Montage/Bonden (735 KB)
- Versuch V9 - Simulation von Dotierungsprozessen (5.4 MB)
