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Lehre und Forschung an der Professur Mikrotechnologie

Im Mittelpunkt der Forschungsarbeiten stehen die Entwicklung und Anwendung von Mikro- und Nanotechnologien für die Mikroelektronik, die Mikrosystemtechnik und die Systemintegration. Als technologische Basis stehen die Reinräume des Zentrums für Mikrotechnologien mit der technologischen Ausrüstung für die Maskenerstellung, Siliziumprozessierung und Charakterisierung zur Verfügung. In Zusammenarbeit mit den anderen Professuren des ZfM und dem Fraunhofer Institut ENAS werden diese Technologien z. B. für die Entwicklung und Prototypenfertigung von Mikro- und Nanosystemen genutzt. Diese Entwicklungsarbeiten werden gemeinsam mit Industriepartnern im Rahmen von regionalen, landesweiten oder internationalen Forschungsprojekten bzw. Direktaufträgen durchgeführt.

Wir bieten Ausbildung auf hohem Niveau, geprägt durch die Forschungsarbeiten im Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) sowie am Fraunhofer Institut für Elektronische Nanosysteme (ENAS)

Ins Ausland mit der Professur für Mikrotechnologie

Wir vermitteln bevorzugt Auslandsaufenthalte ...

• in Japan am WPI AIMR der Tohoku Universität Sendai,
• in den USA (z.Zt. University of Nevada, Portland State University),
• in Europa (u.a. in Belgien, Frankreich, Dänemark, Finnland, Schweden...),
• aber auch in der VR China.

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