Professur für Mikrosystem- und Gerätetechnik






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Publikationen

Jahr 1999

Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T.: Investigation of Heat Transfer in Micromirrors. SPIE International Symposia on Industrial Lasers and Inspection & Envirosense, München (Germany), (1999)
Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T.: Investigation of Heat Transfer in Micromirrors. International Spring Seminar on Electronics 99, Dresden (Germany), (1999)
Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Dötzel, W.; Gessner, T.: Analogously Working Micromirror Arrays. SPIE, Santa Clara (USA), Proceedings, SPIE Vol. 3878-08, (1999), pp. 80-89
Kurth, S.; Faust, W.; Kehr, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Michel, B.; Dötzel, W.: Experimentelle Charakterisierung von Mikrospiegelarrays. 4. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik- Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 1999 Oct 11-12, Proceedings
Kurth, S.; Kehr, K.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Seidel, R.; Dötzel, W.; Gessner, T.: Syncronously Working Micromirros for Beam Steering-Design and Application Aspects. SPIE, Colorado (USA), Proceedings, SPIE Vol. 3787-06, (1999), pp. 63-73
Wibbeler, J.; Küchler, M.; Steiniger, C.; Bertz, A.; Wolf, K.; Mehner, J.; Gessner, T.: Resonante Siliziumsensoren mit elektrostatischer Abstimmung für die Vibrationsanalyse. 44. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Ilmenau (Germany), 1999 Sep 20-23, Proceedings, Part 2, pp. 354-359
Wibbeler, J.; Steiniger, C.; Küchler, M; Wolf, K.; Frank, T.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T.: Resonant Silicon Vibration Sensors with Voltage Controlled Frequency Tuning Capability. Eurosensors XIII, The Hague (The Netherlands), 1999 Sep 12-15, Proceedings, 24B3
Wibbeler, J.; Steiniger, C.; Wolf, K.; Symanzik, H.; Mehner, J.; Dötzel, W.: Abstimmbare resonante Sensorarrays in oberflächennaher Si-Bulk-Mikromechanik. 4. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik- Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 1999 Oct 11-12, Proceedings, pp. 5-10