Professur für Mikrosystem- und Gerätetechnik

Publikationen

alle Jahre

2012
Auerswald, C.; Sorger, A.; Dienel, M.; Shaporin, A.; Mehner, J.: MEMS Acoustic Emission Sensor with mechanical noise rejection. 9th International Multi-Conference on Systems, Signals and Devices 2012, Chemnitz (Germany), 2012 Mar 20-23 (ISBN 978-1-4673-1589-0)
Dienel, M.; Mehner, J.: MEMS-Schwingungssensoren: Funktion und Applikation in Medizin und Technik. 6. Tagung "Feinwerktechnische Konstruktion", Dresden (Germany), 2012 Oct 8 (ISBN 978-3-00-038084-6)
Dienel, M.; Naumann, M.; Sorger, A.; Tenholte, D.; Voigt, S.; Mehner, J.: On the influence of vacuum on the design and characterization of MEMS. Vacuum, Special Issue: Sensors, Vol. 86, Issue 5, 2012 Jan 5, pp. 536-546
DOI: 10.1016/j.vacuum.2011.10.005
Dienel, M.; Sorger, A.; Mehner, J.: Micromechanischer Sensor mit Bandpasscharakteristik. Patent, (2012) (Veröffentlichungsnummer: EP2423654B1)
Dorwarth, M.; Kehrberg, S.; Schellenberg, M.; Rank, H.; Schmidt, B.; Mehner, J.: Analysis of mechanical stress on MEMS gyroscopes by measurement and simulations. 11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz (Germany), 2012 Oct 23-24 (ISBN 978-3-00-039162-0)
Hamacher, J.; Tenholte, D.; Schumacher, P.; Muthen, N.; Mehner, J.; Engelmann, U.; Wille, S.: A new catheterless urodynamics measurement method by using an intravesical capsule. In: Biomedical Engineering / Biomedizinische Technik, 57, (2012) (ISSN: 1862-278X)
DOI: 10.1515/bmt-2012-4198
Hamacher, J.; Tenholte, D.; Schumacher, P.; Muthen, N.; Mehner, J.; Engelmann, U.; Wille, S.: Ein intravesikales Messsystem zur katheterlosen Urodynamik. 11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz (Germany), 2012 Oct 23-24 (ISBN 978-3-00-039162-0)
Kehrberg, S.; Wellner, P.; Geckeler, C.; Mehner, J.: Modal analysis of MEMS using ultrasonic base excitation. 9th International Multi-Conference on Systems, Signals and Devices 2012, Chemnitz (Germany), 2012 Mar 20-23 (ISBN: 978-1-4673-1591-3)
DOI: 10.1109/SSD.2012.6198033
Kolchuzhin, V.; Mehner, J.: A parametric multilevel MEMS simulation methodology using finite element method and mesh morphing. 13th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, EuroSimE 2012, Lisbon (Portugal), 2012 Apr 16-18, Proceedings, pp. 1-5 (ISBN 978-1-4673-1512-8)
Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Shende, M.A.; Markert, E.; Heinkel, U.; Wagner, C.; Gessner, T.: System level modelling of CNT based mechanical sensor. 11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz (Germany), 2012 Oct 23-24 (ISBN 9783000391620)
Müller, A.; Tenholte, D.; Mehner, J.; Schweizer, J.: Entwicklungen und Konzepte zum Einsatz von Biosensoren in der Kardiologie. 11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz (Germany), 2012 Oct 23-24 (ISBN 978-3-00-039162-0)
Naumann, M.; Lin, D.; McNeil, A.; Li, G.; Mehner, J.: Application of a prediction methodology for MEMS reliability in shock environments. Hilton Head Workshop 2012, Hilton Head (USA), 2012 Jun 3-7, pp. 489-492
Reuter, D.; Nowack, M.; Shaporin, A.; Rockstroh, J.; Haas, S.; Bertz, A.; Mehner, J.; Gessner, T.: Out of plane capacitive transducer in air gap insulation microstructures technology for high precision monolithic 3-axis sensors. Smart Systems Integration SSI, Zurich (Switzerland), 2012 Mar 21-22 (ISBN 978-3-8007-3423-8)
Schaufuß, J.; Mehner, J.: MEMS design for an efficient electrostatic energy harvester combined with components of precision mechanics. 9th International Multi-Conference on Systems, Signals and Devices 2012, Chemnitz (Germany), 2012 Mar 20-23
DOI: 10.1109/SSD.2012.6197965
Sorger, A.; Freitag, M.; Shaporin, A.; Mehner, J.: CFD analysis of viscous losses in complex microsystems. 9th International Multi-Conference on Systems, Signals and Devices 2012, Chemnitz (Germany), 2012 Mar 20-23 (ISBN 978-1-4673-1591-3)
2011
Gao, S.; Wolff, H.; Brand, U.; Hiller, K.; Hahn, S.; Sorger, A.; Mehner, J.: A comb-drive scanning-head array for fast SPM measurements. SPIE Microtechnologies, Prague (Czech Republic), 2011 Apr 18-20, Proceedings, SPIE Vol. 8066
DOI: 10.1117/12.886938
Kolchuzhin, V.; Mehner, J.: An Atomistic Finite Element Study on Mechanical Properties of Semiconductor Microtubes. 5th European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems – MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components, Dresden (Germany), 2011 Mar 22-23 (ISBN 978-3-8007-3324-8)
Kolchuzhin, V.; Naumann, M.; Mehner, J.: Recent developments in reduced order modeling based on mode superposition technique. 12th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in, Linz (Austria), 2011 Apr 18-20, Proceedings, pp. 1-6 (ISBN 978-1-4577-0107-8 )
Naumann, M.; Lin, D.; Mehner, J.; McNeil, A.; Miller, T.: Design evaluation of shock induced failure mechanisms of MEMS by correlation of numerical and experimental results . Transducers 2011 - 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems , Beijing (China), 2011 Jun 5-9, IEEE, 2891 - 2894 ( 978-1-4577-0157-3 )
DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969564
Schaufuß, J.; Dienel, M.; Mehner, J.; Scheibner, D.: Mikroelektromechanischer Sensor mit Differentialkondensatorprinzip. Patent, (2011) (Veröffentlichungsnummer: WO002011042041A1)
Schaufuß, J.; Eßlinger, S.; Mehner, J.: Resonanzveränderlicher elektrodynamischer Energy Harvester zur Versorgung autarker Sensorsyteme im industriellen Umfeld. 11. Workshop Mikrocontroller-Applikation/ Eingebettete Systeme, Mittweida (Germany), 2011 May 26, Scientific Reports (ISSN 1437-7624 )
Schaufuß, J.; Mehner, J.; Scheibner, D.: Einrichtung zur Erzeugung elektrischer Energie aus mechanischen Schwingungen und zugehöriges Verfahren. Patent, (2011) (Veröffentlichungsnummer: WO002011026514A1)
Schaufuß, J.; Scheibner, D.; Mehner, J.: New approach of frequency tuning for kinetic energy harvesters. Sensors and Actuators A: Physical, (2011) (ISSN 0924-4247 )
DOI: 10.1016/j.sna.2011.07.022
Sorger, A.; Auerswald, C.; Dienel, M.; Shaporin, A.; Mehner, J.: Mikroelektromechanischer Acoustic Emission Sensor mit inhärenter Störunterdrückung und Bandpass-Charakteristik. Mikrosystemtechnik Kongress 2011, Darmstadt (Germany), 2011 Oct 10-12, Proceedings (ISBN 978-3-8007-3367-5)
Tenholte, D.; Müller, A.; Och, W.; Schweizer, J.; Mehner, J.: Überwachung von Patienten mit Herzklappenerkrankungen mittels Inertialsensorik. Biomedical Engineering, Vol. 56, (2011) (ISSN 0939-4990)
Vogel, K.; Wünsch, D.; Shaporin, A.; Mehner, J.; Billep, D.; Wiemer, M.: Crack propagation in micro-chevron-test samples of direct bonded silicon-silicon wafers. Frattura ed Integrità Strutturale, (2011), pp. 21-28 (ISSN 1971-8993 )
Voigt, S.; Franke, D.; Tenholte, D.; Gessner, T.; Mehner, J.: Bestimmung des Gütefaktors bei hochresonanten Mikrostrukturen mittels eines logarithmischen Verstärkers. Mikrosystemtechnik Kongress 2011, Darmstadt (Germany), 2011 Oct 10-12, Proceedings (ISBN 978-3-8007-3367-5)
2010
Becker, M.; Rothhardt, M.; Schröder, K.; Bartelt, H.; Voigt, S.; Teubner, A.; Lüpke, T.; Thierhoff, C.: Fiber-Optical High-Resolution Esophagus Manometry Based on Drawing-Tower Fiber Bragg Gratings. WSEAS/CIEO SENSORS and SIGNALS (SENSIG '10), Faro (Portugal), 2010 Nov 3-5 (ISBN 978-960-474-248-6 )
Kolchuzhin, V.; Dötzel, W.; Mehner, J.: Parameterized Mode Truncation Technique in MEMS Design. Workshop on Model Reduction for Complex Dynamical Systems, Berlin (Germany), 2010 Dec 2-4
Mehner, J.: Aktuelle Entwicklungen auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik. 4. Tagung Feinwerktechnische Konstruktion, (2010)
Michael, S.; Voigt, S.; Knechtel, R.: Stressidentifikation dünner Membranstrukturen mittels dynamischer Messungen. 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2010 Oct 20-21, pp.51-54 (ISBN 978-3-00-032052-1)
Müeller, A.; Tenholte, D.; Och, W.; Mehner, J.; Schweizer, J.: Telemedizinisches Monitoring in der Kardiologie an der Schnittstelle zwischen Sensortechnik, Informationstechnik und Medizin. 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2010 Oct 20-21, pp.6-9 (ISBN 978-3-00-032052-1)
Naumann, M.; Mehner, J.; Lin, D.; Miller, T.: Design and Application of Flexible Stops for MEMS Devices. IEEE SENSORS 2010 Conference , Hawaii (USA), Proceedings, (2010) (ISBN 978-1-4244-8168-2 )
Naumann, M.; Mehner, J.; Lin, D.; Miller, T.: Dependency of sticking effects on environmental conditions at MEMS devices. 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2010 Oct 20-21 (ISBN 978-3-00-032052-1 )
Schaufuß, J.: Vibrationen zur Energieversorgung autarker Kleinsysteme. Technik in Bayern, Nachrichten aus Technik, Naturwissenschaft und Wirtschaft, (2010)
Schaufuß, J.: Energy Harvesting – Nutzung von Vibrationen zur Energieerzeugung. 5. Materialica Design Kongress, München (Germany), 2010 Oct 19
Schaufuß, J.; Mehner, J.: Optimierung der Elektrodenstruktur für kapazitive Energy Harvester. 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2010 Oct 20-21, pp. 101-105 ( ISBN 978-3-00-032052-1)
Schock, W.; Fritz, J.; Muchow, J.; Friese, C.; Liewald, T.; Mehner, J.: Optimierung eines elektrostatischen Kammantriebes unter Berücksichtigung von Pull-In-Effekten. 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2010 Oct 20-21, pp. 81-87 ( ISBN 978-3-00-032052-1)
Tenholte, D.; Müller, A.; Schweizer, J.; Mehner, J.: Messung von Herztönen mittels Inertialsensorik. 3. Dresdner Medizintechnik-Symposium, Dresden (Germany), (2010) ( ISBN 978-3-942710-02-2 )
Tenholte, D.; Müller, A.; Schweizer, J.; Mehner, J.: Ermittlung von Herztönen mittels Inertialsensorik. 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2010 Oct 20-21, pp. 10-13 (ISBN 978-3-00-032052-1 )
Voigt, S.; Rothhardt, M.; Becker, M.; Lüpke, T.; Thieroff, C.; Teubner, A.; Mehner, J.: Homogeneous catheter for esophagus high-resolution manometry using fiber Bragg gratings. SPIE Photonics West, San Francisco (USA), 2010 Jan 23-28, Proceedings, SPIE Vol. 7559
DOI: 10.1117/12.842033
Voigt, S.; Tenholte, D.; Franke, D.; Reuter, D.; Hiller, K.; Geßner, T.; Mehner, J.: Gütebestimmung von MEMS-Strukturen im Zeitbereich mittels Laser Doppler Vibrometer und einem Logarithmierer. 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2010 Oct 20-21, pp. 55-59 (ISBN 978-3-00-032052-1 )
2009
Becker, M.; Rothhardt, M.; Voigt, S.; Teubner, A.; Lüpke, T.; Thieroff, C.; Bartelt, H.: Fiber Optical High Resolution Esophagus Manometry based on Draw-Tower-Fiber-Bragg-Gratings. ICEDyn 2009, Ericeira (Portugal), 2009 Jun 22-24 (ISBN 978-989-962760-4)
Becker, M.; Rothhardt, M.; Voigt, S.; Teubner, A.; Lüpke, T.; Thieroff, C.; Chojetzki, C.; Bartelt, H.: Fiber Bragg grating arrays for high resolution manometry . 20th International Conference on Optical Fibre Sensors, Proceedings, SPIE Vol. 7503, (2009)
DOI: 10.1117/12.835404
Forke, R.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Mehner, J.: Measurement unit for tunable low frequency vibration detection with MEMS force coupled oscillators. Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 156, Issue 1, 2009 Nov, pp. 59-65 (ISSN 0924-4247)
DOI: 10.1016/j.sna.2009.08.028
Kolchuzhin, V.; Dötzel, W.; Mehner, J.: Challenges in MEMS parametric macro-modeling based on mode superposition technique. EuroSimE, Delft (The Netherlands), 2009 Apr 27-29, Proceedings, pp. 442-445 (ISBN 978-1-4244-4159-4)
DOI: 10.1109/ESIME.2009.4938481
Kolchuzhin, V.; Forke, R.; Dötzel, W.; Mehner, J.: High Order Derivatives Technology in Advanced MEMS Modeling. Smart Systems Integration, Brussels (Belgium), 2009 Mar 10-11, Proceedings, pp. 472-475 (ISBN 978-3-89838-616-6)
Kroll, L.; Heinrich, M.; Wolf, P.; Dienel, M.; Meyhöfer, T.; Häfner, P.: Faserkunststoffverbunde mit integrierter Zustandsüberwachung in Echtzeit. 9. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2009 Nov 5-6, pp. 12-16 (ISBN 978-3-00-029135-7)
Lüpke, T.; Thieroff, C.; Rothhardt, M.; Voigt, S.: Flexible Kunststoffummantelung für Drucksensorkatheter. Technomer 2009, 21. Fachtagung über Verarbeitung und Anwendung von Polymeren, Chemnitz (Germany), 2009 Nov 12-14 (ISBN 978-3-939382-09-6)
Mehner, J.; Kolchuzhin, V.; Schmadlak, I.; Hauck, T.; Li, G.; Lin, D.; Miller, T.: The influence of packaging technologies on the performance of inertial MEMS sensors. The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 20, Denver (USA), 2009 Jun 21-25, Proceedings, pp. 1885-1888
DOI: 10.1109/SENSOR.2009.5285685
Meinig, M.; Kurth, S.; Gessner, T.; Shaporin, A.V.; Giessmann, S.: Time efficient test method for dimensional parameter determination based on resonant mode detection. Smart Systems Integration, Brussels (Belgium), 2009 Mar 10-11, Proceedings, pp. 488-491 (ISBN 978-3-89838-616-6)
Schaufuß, J.; Scheibner, D.; Mehner, J.: Abstimmbarer kapazitiver Niederfrequenz-Energy Harvester. 9. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2009 Nov 5-6, pp. 79-84 (ISBN 978-3-00-029135-7)
Shaporin, A.; Mehner, J.; Schmiedel, R.; Billep, D.; Sommer, J.-P.; Bauer, W.: Novel Method for Parameter Identification and Characterization of Mechanical Stress for Microsystems. Smart Systems Integration, Brussels (Belgium), 2009 Mar 10-11, Proceedings, pp. 520-523 (ISBN 978-3-89838-616-6)
Shaporin, A.; Streit, P.; Specht, H.; Mehner, J.; Dötzel, W.: Novel test structures for characterization of microsystems parameters at wafer level. SPIE - Photonics West, San Jose/California (USA), 2009 Jan 25-29, Proceedings, SPIE Vol. 7206
DOI: 10.1117/12.810051
Sorger, A. ; Shaporin, A.; Mehner, J.: Simulation of air damping in arbitrary complex MEMS. 9. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2009 Nov 5-6, pp. 90-95 (ISBN 978-3-00-029135-7)
Voigt, S.; Becker, M.; Rothhardt, M.; Thieroff, C.; Lüpke, T.; Teubner, A.; Mehner, J.: High resolution pressuere senor catheter for esophageal manometry with optical measurement principle. 9. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2009 Nov 5-6, pp. 5-11 (ISBN 978-3-00-029135-7)
Voigt, S.; Becker, M.; Rothhardt, M.; Thieroff, C.; Lüpke, T.; Teubner, A.; Mehner, J.: Homogeneous pressure sensor katheter for high esophagus high resolution manometry using fiber bragg gratings . 9. Dresdner Sensor Symposium, Dresden (Germany), 2009 Dez 7-9 (ISBN 978-3-94-129844-6)
2008
Fleischer, J.; Buchholz, I.; Peters, J.; Viering, B.; Goch, G.; Patzelt, S.; Tausendfreund, A.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Shaporin, A.; Neuschaefer-Rube, U.; Hilpert, U.; Simon, S.; Tutsch, R.; Herbst, C.; Weckenmann, A.; Hoffmann, J.; Krämer, P.: Erfassung von Standardgeometrieelementen im Mikrometerbereich. tm Technisches Messen, (2008), pp. 327-338 (ISSN 0171-8096)
DOI: 10.1524/teme.2008.0875
Forke, R.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Mehner, J.: Tunable Frequency Selective Vibration Detection with MEMS Force Coupled Oscillators. Eurosensors XXII, Dresden (Germany), 2008 Sep 7-10, Proceedings, pp. 1573-1576 (ISBN 978-3-00-025217-4)
Forke, R.; Scheibner, D.; Hiller, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Mehner, J.: Fabrication and Characterization of a Force Coupled Sensor-Actuator System for Adjustable Resonant Low Frequency Vibration Detection. Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 145-146, 2008 Jul-Aug, pp. 245-256
DOI: 10.1016/j.sna.2007.12.032
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.; Gessner, T.; Dötzel, W.: Electrostatic Force Coupling of MEMS Oscillators for Spectral Vibration Measurements. Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 142, Issue 1, 2008 Mar 10, pp. 276-283
DOI: 10.1016/j.sna.2007.04.004
Kolchuzhin, V.; Dötzel, W.; Mehner, J.: Efficient Generation of MEMS Reduced-Order Macromodels Using Differentiation of Finite Elements. Sensor Lett., Vol. 6, No. 1, 2008 Feb, pp. 97-105
DOI: 10.1166/sl.2008.013
Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Dötzel, W.: Application of Higher Order Sensitivity FE Method for Parametric MEMS Design. Smart Systems Integration, Barcelona (Spain), 2008 Apr 9-11, Proceedings, pp. 457-459 (ISBN 978-3-8007-3081-0)
Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Dötzel, W.: A Derivatives-Based Method for Parameterization of MEMS Reduced Order Models. EuroSimE, Freiburg-im-Breisgau (Germany), 2008 Apr 21-23, Proceedings, pp. 519-523 (ISBN 978-1-4244-2127-5)
DOI: 10.1109/ESIME.2008.4525024
Shaporin, A.; Forke, R.; Dienel, M.; Naumann, M.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Mehner, J.: Technology Dependent Design and Characterization of Silicon Vibration Sensors with Linear Tunable Band Selectivity. Eurosensors XXII, Dresden (Germany), 2008 Sep 7-10, Proceedings, pp. 605-608 (ISBN 978-3-00-025217-4)
Shaporin, A.; Forke, R.; Schmiedel, R.; Dötzel, W.: Test-Structures for Wafer Level Microsystems Characterization. Smart Systems Integration, Barcelona (Spain), 2008 Apr 9-11, Proceedings, pp. 528-531 (ISBN 978-3-8007-3081-0)
Tenholte, D.; Kurth, S.; Hiller, K.; Kaufmann, C.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Mehner, J.: A Mems Friction Vacuum Gauge. Eurosensors XXII, Dresden (Germany), 2008 Sep 7-10, Proceedings, pp. 206-209 (ISBN 978-3-00-025217-4)
Xinming, Z.; Dienel, M.; Voigt, S.; Mehner, J.; Gessner, T.: Wireless Communication over ZigBee for Automotive Inclination Measurement. China Communications, (2008), pp. 140-144 (ISSN 1673-5447)
2007
Baum, M.; Letsch, H.; Shaporin, A.V.; Otto, T.; Gessner, T.: Development and characterization of Cu to Cu bonding technology. Smart Systems Integration, Paris (France), 2007 Mar 27-28, Proceedings, pp. 427-429 (ISBN 978-3-8007-3009-4)
Dienel, M.; Dötzel, W.: Development of Accelerometer Arrays for Drift Compensation. Annual Report ZfM, 2007, (2007)
Dienel, M.; Dötzel, W.; Mehner, J.: Zerstörungsfreie Geometrieparameterbestimmung an einem Beschleunigungssensorarray. MikrosystemTechnik Kongress, Dresden (Germany), 2007 Oct 15-17, Proceedings, pp. 885-888 (ISBN 978-3-8007-3061-2)
Dienel, M.; Hiller, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.: Acceleration Sensor Arrays. Smart Systems Integration, Paris (France), 2007 Mar 27-28, Proceedings, pp. 461-464 (ISBN 078-3-8007-3009-4)
Forke, R.; Scheibner, D.; Hiller, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Mehner, J.: Spektrale Vibrationsmessung mit mikromechanischen kraftgekoppelten Silizium-Schwingern. 8. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik- Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2007 Nov 14-15, Proceedings, pp. 67-72 (ISBN 978-3-00-022168-2)
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.; Gessner, T.; Dötzel, W.: Adjustable Force Coupled Sensor-Actuator System for Low Frequency Resonant Vibration Detection. Transducers '07 - 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Lyon (France), 2007 Jun 10-14, Proceedings, pp. 1725-1728 (ISBN 1-4244-0842-3)
DOI: 10.1109/SENSOR.2007.4300485
Giessmann, S.; Geissler, H.; Werner, F.-M.; Kurth, S.; Michael, S.; Rembe, C.; Klattenhoff, J.; Armbruster, B.; Shaporin, A.: Vollautomatisierter Test von Mikrosystemen auf dem Wafer. Mikrosystemtechnik Kongress, Dresden (Germany), 2007 Okt 15-17, Proceedings, pp. 75-78 (ISBN 978-3-8007-3061-2\r)
Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Gessner, T.; Dötzel, W.: Application of Higher Order Derivatives Method to Parametric Simulation of MEMS. EuroSimE, London (England), 2007 Apr 16-18, Proceedings, pp. 588-593 (ISBN 1-4244-1105-X)
DOI: 10.1109/ESIME.2007.359962
Kurth, S.; Mehner, J.; Shaporin, A.V.; Michael, S.; Ebert, M.; Dötzel, W.: Determination of Dimensional Parameters in MEMS Components by Vibration Analyses. IMAC - XXV, Florida (USA), 2007 Feb 05, Proceedings
Markert, E.; Dienel, M.; Herrmann, G.; Heinkel, U.: SystemC-AMS assisted design of an Inertial Navigation System. IEEE Sensors Journal - Special Issue on Intelligent Sensors, 7/5, (2007), pp. 770-777 (ISSN 1530-437X)
DOI: 10.1109/jsen.2007.894130
Shaporin, A.; Dötzel, W.; Mehner, J.: Test-Structures for MEMS reliability analysis. MikroNanoReliability 2007, Berlin (Germany), 2007 Sep 2-5, Proceedings, Vol. 6, p. 227 (ISSN 1619-2486)
Shaporin, A.; Forke, R.; Dötzel, W.; Mehner, J.: MEMS Characterization Technique Based on Special Designed Test-Structures. Mikrosystemtechnik Kongress, Dresden (Germany), 2007 Okt 15-17, Proceedings, pp. 873-876 (ISBN 978-3-8007-3061-2\r)
Shaporin, A.V.; Hanf M.; Dötzel, W.: Advanced Technique for MEMS Manufacturing Monitoring based on Test-Structures. 10th CIRP Conference on Computer Aided Tolerancing Specification and Verification for Assemblies, Erlangen (Germany), 2007 Mar 21-23, Proceedings, p. 30 (ISBN 3-00-016889-3, ISSN 1613-2122)
Shaporin, A.V.; Hanf M.; Forke, R.; Mehner, J.; Gessner, T.; Dötzel, W.: Test-Structure based MEMS Characterization Technique. Smart Systems Integration, Paris (France), 2007 Mar 27-28, Proceedings, pp. 625-627 (ISBN 978-3-8007-3009-4)
Shaporin, A.V.; Seifert, M.; Hanf, M.; Hiller, K.; Frühauf, J.; Gessner, T.; Dötzel, W.: Arrays of Sensors with Variable Stiffness. Smart Systems Integration, Paris (France), 2007 Mar 27-28, Proceedings, pp. 367-375 (ISBN 978-3-8007-3009-4)
Specht, H.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Gessner, T.; Dötzel, W.: MEMS based laser display system. Smart Systems Integration, Paris (France), 2007 Mar 27-28, Proceedings, pp. 41-48 (ISBN 978-3-8007-3009-4)
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