Mit der Entwicklung der Mikrosystemtechnik haben die Vorteile der Mikroelektronik – Miniaturisierung, Integration und hohe Parallelität in der Fertigung – auch die nichtelektrische Welt erreicht. Das vorliegende Buch stellt die grundlegenden Aspekte der Mikrosystemtechnik dar. Es schlägt einen Bogen von den verwendeten Werkstoffen über die wichtigsten Fertigungsverfahren und die technologischen Methoden der Systemintegration hin zum Entwurf von Funktionskomponenten und kompletten Systemen. Über 100 Beispiele und Aufgaben helfen dem Leser, die vielfältigen Facetten der Mikrosystemtechnik erlebbar zu machen und die erworbenen Kenntnisse zu vertiefen. Das Buch basiert auf Vorlesungen an den Technischen Universitäten Dresden und Chemnitz. Es ist vor allem für Studenten geschrieben, die Mikrosystemtechnik als Haupt-, Wahl- oder Nebenfach belegen, wird aber auch Ingenieuren und Facharbeitern als Wissensspeicher und Nachschlagewerk sehr nützlich sein.
 

Lösungen zu den Aufgaben
Korrekturen des 9. Kapitels
 

Gerlach, G.; Dötzel, W.: Einführung in die Mikrosystemtechnik - ein Kursbuch für Studierende,
Fachbuchverlag Leipzig im Carl Hanser Verlag, ISBN-10: 3-446-22558-9, ISBN-13: 978-3-446-22558-9
 

Prof. Dr.-Ing. habil. Gerald Gerlach hält an der TU Dresden Vorlesungen zur Mikrotechnik, Sensorik, Festkörper- und Optoelektronik.

Prof. Dr.-Ing. Wolfram Dötzel hält an der TU Chemnitz Vorlesungen zur Mikrosystemtechnik, Feinwerktechnik und Zuverlässigkeit.

Over half a century after the discovery of the piezoresistive effect, microsystem technology has experienced considerable developments. Expanding the opportunities of microelectronics to non-electronic systems, its number of application fields continues to increase. Microsensors are one of the most important fields, used in medical applications and micromechanics. Microfluidic systems are also a significant area, most commonly used in ink-jet printer heads.

This textbook focuses on the essentials of microsystems technology, providing a knowledgeable grounding and a clear path through this well-established scientific discipline. With a methodical, student-orientated approach, Introduction to Microsystem Technology covers the following: microsystem materials (including silicon, polymers and thin films), and the scaling effects of going micro; fabrication techniques based on different material properties, descriptions of their limitations and functional and shape elements produced by these techniques; sensors and actuators based on elements such as mechanical, fluidic, and thermal (yaw rate sensor components are described); the influence of technology parameters on microsystem properties, asking, for example, when is the function of a microsystem device robust and safe?

The book presents problems at the end of each chapter so that you may test your understanding of the key concepts (full solutions for these are given on an accompanying website). Practical examples are included also, as well as case studies that enable a better understanding of the technology as a whole. With its extensive treatment on the fundamentals of microsystem technology, this book also serves as a compendium for engineers and technicians working with microsystem technology.
 

Solutions of excercises
Official website
 

Prof. Dr.-Ing. habil. Gerald Gerlach teaches courses in micro-systems and sensor technology, solid-state and opto-electronics at Dresden University of Technology.

Prof. Dr.-Ing. Wolfram Dötzel teaches courses in micro-systems technology, precision engineering and reliability at Chemnitz University of Technology.