Professur für Mikrosystem- und Gerätetechnik

Promotionen und Habilitationen

alle Jahre

2012
Forke,Roman:
Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen
Promotion zum Dr.-Ing.
Dezember, 2012
Voigt, Sebastian:
Drucksensorkatheter auf Basis von Faser-Bragg-Gittern
Promotion zum Dr.-Ing.
Januar, 2012
2010
Kolchuzhin, Vladimir:
Methods and Tools for Parametric Modeling and Simulation of Microsystems based on Finite Element Methods and Order Reduction Technologies
Promotion zum Dr.-Ing.
Mai, 2010
2009
Bennis, Abdelali:
Entwicklung einer kontaktfreien nichtdestruktiven Methode zur Messung von mechanischen und elastischen Eigenschaften von mikromechanischen Mehrschichtsystemen mit akustischen Oberflächenwellen
Promotion zum Dr.-Ing.
August, 2009
Dienel, Marco:
Entwicklung und Analyse von Arrays mikromechanischer Beschleunigungssensoren
Promotion zum Dr.-Ing.
Oktober, 2009
Gugel, Denis:
Ordnungsreduktion in der Mikrosystemtechnik
Promotion zum Dr.-Ing.
Januar, 2009
Rank, Holger:
Simulationsmodelle und Teststrukturen zur Bewertung des Einflusses der Aufbau- und Verbindungstechnik auf Funktionskennwerte mikromechanischer Beschleunigungssensoren
Promotion zum Dr.-Ing.
November, 2009
Shaporin, Alexey:
Eine Methode zur Charakterisierung von Mikrostrukturen auf der Basis von speziellen Teststrukturen
Promotion zum Dr.-Ing.
November, 2009
Tenholte, Dirk:
Ein mikromechanischer Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip
Promotion zum Dr.-Ing.
Mai, 2009
2008
Grahmann, Jan:
Hochempfindliche resonante Gassensoren auf der Basis von einkristallinen Silizium-Plattenschwingern
Promotion zum Dr.-Ing.
2008
Schröter, Bernd:
Entwurf und Charakterisierung eines mikromechanischen Schrittschaltwerkes mit elektrostatischem Antrieb
Promotion zum Dr.-Ing.
Juni, 2008
2007
Frahnow, Roman:
Massendurchfluss- und Dichtemessung mit einer resonanten Messzelle in Volumenmikromechanik
Promotion zum Dr.-Ing.
November, 2007
Wolfram, Heiko:
Regelungstechnische Analyse und Synthese von MEMS mit elektrostatischem Wirkprinzip
Promotion zum Dr.-Ing.
Mai, 2007
2005
Bennini, Fouad:
Ordnungsreduktion von elektrostatisch-mechanischen Finite Elemente Modellen für die Mikrosystemtechnik
Promotion zum Dr.-Ing.
Februar, 2005
Scheibner, Dirk:
Entwicklung eines frequenzselektiven Schwingungsmesssystems mit abstimmbaren mikromechanischen Resonatoren
Promotion zum Dr.-Ing.
Januar, 2005
2004
Nguyen, Nam-Trung:
Entwurf, Herstellung und Charakterisierung von mikrofluidischen Systemen
Habilitationsschrift
2004
2002
Deter, Christhard:
Entwicklung eines Videoprojektionsverfahrens mit direkt schreibendem Lichtbündel
Promotion zum Dr.-Ing.
2002
Wibbeler, Jürgen:
Frequenzselektive Vibrationssensoren mit spannungsgesteuerter Resonanzabstimmung in Oberflächenmikromechanik
Promotion zum Dr.-Ing.
Dezember, 2002
2000
Billep, Detlef:
Modellierung und Simulation eines mikromechanischen Drehratesensors
Promotion zum Dr.-Ing.
April, 2000
Kehr, Kersten:
Theoretische und experimentelle Analyse mikromechanischer Spiegel mit hoher Dynamik
Promotion zum Dr.-Ing.
Juni, 2000
1999
Mehner, Jan:
Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Silizium- Mikrostrukuren
Habilitationsschrift
1999
1998
Neubert, Colette:
Entwicklung von technischen Verfahren für die Laserinduzierte Interstitielle Thermotherapie
Promotion zum Dr.-Ing.
1998
1997
Nguyen, Nam-Trung:
Entwurf und Charakterisierung eines elektrokalorischen Durchflusssensors
Promotion zum Dr.-Ing.
Juli, 1997
1996
Büttner, Knut:
Ein Beitrag zur Simulation des dynamischen Verhaltens mikromechanischer kinetischer Elemente mit parallelen Platten unter besonderer Berücksichtigung der Dämpfung
Promotion zum Dr.-Ing.
April, 1996
Langer, Eckhard:
Elektronenoptische Untersuchung des Werkstoffverhaltens in mechanisch belasteten Mikrobauteilen
Promotion zum Dr.-Ing.
1996
1995
Kurth, Steffen:
Theoretische und experimentelle Verhaltensbeschreibung kinetischer mikromechanischer Komponenten mit elektrostatischer Feldkopplung
Promotion zum Dr.-Ing.
Dezember, 1995
1994
Mehner, Jan:
Mechanische Beanspruchungsanalyse von Siliziumsensoren und -aktoren unter dem Einfluss von elektrostatischen und Temperaturfeldern
Promotion zum Dr.-Ing.
Februar, 1994