Forschungsthemen

Es folgt eine Auswahl an Forschungsthemen der Professur:

• Drucksensorkatheter
• Energy-Harvesting
• Federführungen aus Silizium
• Hadamard Transformationsspektrometer
• Ladungsmessungen
• Laserprojektion
• Mikromechanisches Schrittschaltwerk
• RF-MEMS - RF-Switch
• Teststrukturen für Silizium Technologien
• Vakuumsensor
• Vibrationssensoren
• Abstimmbares Resonatorarray
• Kraftgekoppeltes Schwingsystem