TU Chemnitz: Fakultät ET/IT: Professur für Mikrosystem- und Gerätetechnik: Projekte
Professur für Mikrosystem- und Gerätetechnik
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Forschungsprojekte |
Laufend:
- Drucksensorkatheter
- RF-MEMS
- StraMNano
Abgeschlossen:
- Visulase: Scannerpräparation
- SFB 379 Teilbereich A1: Komponentenentwurf
- SFB 379 Teilbereich A4: Mehrbereichs-Sensorarray zur Bewegungsanalyse auf der Basis der oberflächennahen Si-Bulk-Mikromechanik
- SFB 379 Teilbereich B2: Experimentelle Charakterisierung, Modelladaption - Zuverlässigkeit
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