Professur für Mikrosystem- und Gerätetechnik

Forschungsprofil

Schwerpunkte in der Forschung sind:

  • Entwurf von Mikrosystemen und deren Applikation in eine Geräteumgebung
  • Modellierung, Simulation und experimentelle Validierung des Verhaltens mikromechanischer Sensoren und Aktoren
  • Mess- und Prüftechnik für Mikrosysteme
  • Entwicklung von Entwurfswerkzeugen und -methoden
  • mechanische Beanspruchung, Lebensdauer, Zuverlässigkeit
  • Charakterisierung von MEMS und feinwerktechnischen Strukturen