Professur für Mikrosystem- und Gerätetechnik






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Abgeschlossene Diplomarbeiten

alle Jahre

2011
Möbius, M.: Entwurf, Modellierung und Simulation von mikroelektromechanischen Körperschallsensoren.
Betreuer: Dr.-Ing. A. Shaporin, Dipl.-Ing. A. Sorger
2010
Franke, D.: Entwurf, Aufbau und Test einer Elektronik zur dynamischen Kapazitätsmessung nach dem Delta-Sigma-Prinzip.
Betreuer: Dipl.-Ing. C. Auerswald, Dr.-Ing. M. Dienel
2009
Gebhardt, E.: Charakterisierung von Mikrooptiken.
Betreuer: Prof. Mehner, Dipl.-Ing. (FH) A. Timmermann (LIMO GmbH)
Günther, B.: Aufbau und Evaluierung mikrofluidischer Komponenten für Lab-On-Chip-Systeme.
Betreuer: Prof. Mehner, Dipl.-Ing. J. Rupp (Robert Bosch GmbH)
Sorger, A.: Simulation von Dämpfungsmechanismen in komplexen Mikrosystemen.
Betreuer: Prof. Mehner, Dipl.-Ing. A. Shaporin
Streit, P.: Algorithmische Optimierung von Teststrukturen zur Charakterisierung von Mikrosystemen auf Waferebene.
Betreuer: Prof. Mehner, Dipl.-Ing. A. Shaporin
2008
Auerswald, C.: Entwurf, Aufbau und Test einer Laborelektronik für die Charakterisierung kapazitiver Sensoren.
Betreuer: Prof. Mehner, Dipl.-Ing. S. Voigt
Mahn, C.: Aufbau einer Messzelle für die medizinische Anwendung von Nanomagneten.
Betreuer: Prof. Mehner
Naumann, M.: Entwicklung von Teststrukturen zur Charakterisierung von Sticking-Effekten in MEMS.
Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Kiehnscherf
Wetzel, S.: Untersuchungen zur Realisierung von Vertiefungen und Rillen mit Abmessungen im Submikrometerbereich durch eine schreibende mechanische Bearbeitung.
Betreuer: Prof. Frühauf, Dipl.-Ing. Seifert
2007
Böhme, M.: Elektrostatische Anregung von MEMS zur Analyse des dynamischen Verhaltens.
Betreuer: Dr. Kurth, Prof. Dötzel
Lasch, M.: Entwicklung eines Gerätekonzeptes zum berührungslosen Vermessen lasergesinterter Gitterbauteile.
Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dipl.-Ing. Schuhmann
Meinig, M.: Verfahren zum Test von MEMS-Bauelementen durch die Messung der Eigenfrequenzen.
Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Kurth
Reinhold, S.: Entwicklung eines vakuumtauglichen Teststands zum Test von Kugellagern für Raumfahrtanwendung.
Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dipl.-Ing. Schmid
Sachse, M.: Konzept zur Integration eines Fadenlängenmessers in einer Luftdüsenwebmaschine.
Betreuer: Dipl.-Ing. Dienel, Hon.-Prof. Kasparick
Stammberger, K.: Technische und wirtschaftliche Betrachtung zur Erkennung von Lagerschäden an Standardmotoren der Siemens AG mit Acoustic Emission auf MEMS-Basis.
Betreuer: Dipl.-Ing. Dienel, Dipl.-Ing. Schmidt, Dr. Müller
Voitel, J.: Upgrade und Optimierung von Prozessanlagen in der Lithografie.
Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Kiehnscherf, Dr. Raaf
2006
Erler, Ch.: Theoretische Untersuchungen zur Kraftwirkung elektrischer Wechselfelder auf polarisierbare Partikel und Nachweis der Kraftwirkung mit dem Rasterkraftmikroskop.
Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Gastrock
Schneider, L.: Miniaturisiertes zweiachsiges frequenzselektives Schwingungsmesssystem basierend auf MEMS-Resonatoren.
Betreuer: Dr. Billep, Dr. Scheibner
Schulze, A.: Resonatorstrukturen in BDRIE-Technologie zur experimentellen Charakterisierung von Dämpfungseffekten sowie zur Abschätzung der Herstellungskosten.
Betreuer: Dipl.-Ing. Forke, Dr. Hiller, Dipl.-Kffr. Schmidt
Seidel, R.: Magnetisch betätigte Mikrospiegel.
Betreuer: Dr. Markert
Wittig, A.: Untersuchung aktueller Konzepte zur elektronischen Öldruckregelung an Verbrennungsmotoren.
Betreuer: Prof. Dötzel, T. Ohnesorge
2005
Drouve, P.: Aufbau eines Messplatzes zur Charakterisierung von 2D-Beschleunigungssensoren.
Betreuer: Dipl.-Ing. Dienel
Engelmann, M.: Entwicklung eines digitalen Signalprozessorsystems für die Mikrosystemtechnik.
Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Kurth
Forke, R.: Entwicklung eines mikromechanischen gekoppelten Schwingungsmesssystems für frequenzselektive Vibrationsmessung.
Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Scheibner (Siemens)
Hambsch, M.: Entwicklung eines neuen Lösungskonzeptes für ein rotatorisches absolutes Messsystem auf der Grundlage magnetoresistiver Sensorelemente.
Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dipl.-Ing. Schönitz (Gemac Chemnitz)
Hoppe, M.: Lokale Energiegewinnung für Mikrosysteme.
Betreuer: Dr. Billep
Hoyer, K.: Konstruktion, Aufbau und Inbetriebnahme eines Laserbelichters zur Erzeugung von hochauflösenden rauscharmen holografisch-optischen Elementen in Dichromat-Gelatine-Schichten.
Betreuer: Dr. Markert, Dr. Dittrich (sax3d.com GmbH Chemnitz)
Klemm, L.: Entwicklung einer optimalen Aufbau- und Verbindungstechnik für elektronisch kalibrierbare Si- Drucksensorelemente.
Betreuer: Dr. Billep, Dr. Schroth (Intelligente Sensorsysteme GmbH)
Kluth, M.: Realisierung eines Messplatzes zur Bestimmung des elektrischen Oberflächenpotentials.
Betreuer: Dipl.-Ing. Hanf
Otto, M.: Einsatz von Mikrospiegelarrays in einem Hadamard-Transformations-Spektrometer.
Betreuer: Dipl.-Ing Hanf
Richter, G.: Experimentelle Charakterisierung und Vergleich mikromechanischer Beschleunigungssensorarrays.
Betreuer: Dipl.-Ing. Dienel
Schmiedl, J.: Abstandsmesssystem mit Mikrospiegel.
Betreuer: Dr. Markert
Seifert, M.: Anwendung von Si-Mikrostrukturen zur Kontrolle von Geräten der Oberflächenmesstechnik.
Betreuer: Prof. Frühauf, Dipl.-Ing. Krönert
Specht, H.: Vertikal-Ablenksystem für head up Display.
Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Kurth
2004
Lahner, F.: Konzeption, Entwicklung, Aufbau und Test eines Kommunikationskanals für ein autarkes Mikrosystem.
Betreuer: DI Dienel
Rank, H.: Entwicklung eines Drucksensor-Katheters für klinische Untersuchungen.
Betreuer: Dr. Billep
Schneider, J.: Entwicklung eines feldtauglichen inertialen Messsystems zur Anwendung in biometrischen Analysen.
Betreuer: Dr. Billep, DI Seibt (ErgoVita GmbH & Co. KG)
Sodan, L.: Messtechnische Charakterisierung mikromechanischer Schrittschaltwerke.
Betreuer: DI Schröter
Stahl, C.: Kapzitätsberechnung mittels Boundary Element Methoden.
Betreuer: Dr. Mehner
Sternberger, A.: Ansteuerung eines durchstimmbaren Infrarot-Filters mit digitalem Signalprozessor.
Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Kurth
Strobel, J.: Lasernivellier mit 2D-Mikrospiegel.
Betreuer: Dr. Markert
Tenholte, D.: Einsatz eines Mikroresonators für ein Reibungsvakuummeter.
Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Kurth
2003
Ansorge, E.: Untersuchungen zur Ordnungsreduktion magnetischer Systeme für dynamische Berechnungen.
Betreuer: Dr. J. Mehner, Dipl.-Ing. F. Bennini
Grebner, J.: Entwicklung einer Software für die Mikrocontrollersteuerung eines frequenzselektiven Vibrationssensorarrays.
Betreuer: Dipl.-Ing. Scheibner
Lehmann, U.: Resonante Scanner mit magnetischem Antrieb.
Betreuer: Prof. W. Dötzel, Dr. S. Kurth
Müller, S.: Untersuchungen zur Applikation mikromechanischer 2D-Spiegel-Aktoren für Lasernivellierung.
Betreuer: Dr. J. Markert
Weißflog, M.: Aufbau eines Schrittmotorversuchsplatzes.
Betreuer: Dr. R. Kiehnscherf, Dipl.-Ing. Löhr
Wischnewskij, A.: FEM - basierte Entwicklung einphasiger piezoelektrischer Stehwellenmotoren mit zylindrischen Oszillatoren.
Betreuer: Dr. J. Mehner, Dr. S. Kovalev
2002
Bennis, A.: Entwicklung eines Stresssimulators für synchrone Schaltungen.
Betreuer: Dr. Billep, Dr. Hollerbeck
Beyer, T.: Konzeptentwicklung und Prototypenherstellung eines mikromechanischen Beschleunigungssensors für Schlechtwegerkennung.
Betreuer: Dr. D. Billep, Dipl.-Ing. H. Emmerich
Bronisch, C.: Untersuchungen zum Verhalten mikromechanischer Vakuumsensoren unter Einsatzbedingugen der Halbleiterindustrie.
Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Kurth
Dienel, M.: Kombination von Gyroskop- und Beschleunigungssensoren für Objektverfolgung.
Betreuer: Dr. D. Billep
Frömel, J.: Entwicklung eines Low Cost Kurs- Lage Referenzsystems.
Betreuer: Dr. Billep
Heuschkel, M.: Makromodellierung von MEMS für die Systemsimulation.
Betreuer: Dr. habil. Mehner, Dipl.-Ing. Bennini
Reuter, D.: Flexible Gelenke aus Silizium.
Betreuer: Prof. Frühauf, Dipl.-Ing. Schröter
Schulze, K.: Entwicklung einer "Space Mouse" - Demonstrator für die Anwendung von Inertialsensoren in der Informationstechnik.
Betreuer: Dr. Billep
2001
Fischer, D.: Elektronische Schaltung zum Betrieb eines resonanten Vakuumsensors.
Betreuer: Dr. Kurth
Meckel, J.: Untersuchungen zur Entwicklung eines Transmissionsmeters zur Staubmessung mit Laserlichtwellen und mikromechanischer 2D-Ablenkeinheit.
Betreuer: Dr. Markert, DI Melcher (SICK)
2000
Hanf, M.: Entwicklung einer Ansteuerelektronik für einen Laserprojektor.
Betreuer: Dr. S. Kurth
Kautsch, T.: Bestimmung gerätetechnischer Parameter.
Betreuer: Dr. R. Kiehnscherf
Kuhring, M.: Entwicklung einer Ansteuerung für einen Laserprojektor.
Betreuer: Dr. S. Kurth
Michalz, J.: Untersuchungen an einem Piezoaktor mit Übersetzung im KFZ.
Betreuer: Dr. R. Kiehnscherf, Dipl.-Ing. Gräbner (IAV GmbH Chemnitz)
Sharfeddin, I.: Elektromagnetische Wirkprinzipien für Mikroaktuatoren mit translatorischer und rotatorischer Bewegung.
Betreuer: Dr. J. Mehner
1999
Bennini, F.: Entwurf eines elektrostatischen Antriebs mit gekrümmten Elektroden für die Bulk- Mikromechanik.
Betreuer: Doz. Dr. J. Frühauf, Dipl.-Ing. D. Billep
Löhr, K.: Kapazitive Detektion der Auslenkung mikromechanischer Aktoren.
Betreuer: Dr. S. Kurth, Dipl.-Ing. K. Kehr
Ludwig, R.: Positionserfassungseinrichtung für Mikroaktoren auf der Basis von Lichtwellenleitern.
Betreuer: Dr. J. Markert, Dr. Löwe
Ngo, H. D.: Durchflussregelung mit mikromechanischen Komponenten.
Betreuer: Dipl.-Ing. S. Richter
Schäfer, A.: Optische Untersuchungen an (100)-Si-Mikrospiegeln.
Betreuer: Dr. Frühauf, Dr. Hannemann
Scheibner, D.: Experimentelle Charakterisierung resonanter Mikrosensoren.
Betreuer: Dipl.-Ing. J. Wibbeler
Schröter, B.: Theoretische und experimentelle Untersuchungen von elastischen Materialparametern dünner Schichten.
Betreuer: Dipl.-Ing. K. Kehr
1998
Buchmann, M.: Entwicklung und Inbetriebnahme einer Vorrichtung zur Kalibrierung und Endprüfung von Beschleunigungssensoren im Erdfeld - Hochbeschleunigungssensoren.
Betreuer: Dr. S. Kurth, Dipl.-Ing. M. Fehrenbach (Robert Bosch GmbH)
Hock, A.: Entwurf eines Moduls zur Messung des Erdmagnetfeldes.
Betreuer: Dipl.-Ing. D. Billep, Dipl.-Ing. K.-U. Graupner (ELCoSoft Chemnitz)
Kuhn, M.: Konzipierung und Aufbau eines stationären Demonstrators zur Fadenüberwachung an Textilmaschinen mittels mikromechanischer Schwenkspiegel.
Betreuer: Dr. B. Küttner, Dipl.-Ing. K. Schmidt (CMS Chemnitz)
Leiblich, M.: Modellierung und Simulation des Einflusses prozessbedingter Strukturtoleranzen auf das dynamische Verhalten eines mikromechanischen Drehratesensors.
Betreuer: Dipl.-Ing. D. Billep
1997
Bork, T.: Charakterisierung von Bauelementen der oberflächennnahen Mikromechanik.
Betreuer: Dr. R. Kiehnscherf, Prof. D. van der Weide (University of Delaware)
Bratfisch, T.: Einsatz mikromechanischer Spiegel zur Laserprojektion mit einem Öffnungswinkel von 360 Grad.
Betreuer: Dr. S. Kurth
Diez, W.: Aufbau und Erprobung eines sensorgestützten Prüfplatzes für aerostatische und aeerodynamische Präzisionslager.
Betreuer: Dipl.-Ing. Nguyen, Dipl.-Ing. Risse (Fraunhofer Institut Jena)
Frank, T.: Entwurf resonanter Vibrationssensoren auf der Basis der oberflächennahen Si- Bulk- Mikromechanik.
Betreuer: Dr. J. Mehner
Hoffmann, R.: Prüfung des Einflusses von Schwingungen und Stößen auf mikromechanische Scanner bei Betrieb und Transport.
Betreuer: Dr. J. Markert, Dr. M. Rauch (CMS Niederwiesa)
Lange, E.: Toleranzuntersuchungen für mikrosystemtechnische Komponenten der Mikrowellentechnik.
Betreuer: Dr. B. Küttner, Dipl.-Ing. T. Groß (EUROSPACE Flöha)
Liche, S.: Großbilddarstellung von Zeitfunktionen mit mikromechanischem Schwenkspiegel.
Betreuer: Dipl.-Ing. K. Kehr, Dipl.-Ing. Felber (GEMAG Chemnitz)
Merunka, S.: Entwicklung von Synchronisationsalgorithmen für die gekoppelte Simulation heterogener mikromechanischer Systeme.
Betreuer: Dipl.-Ing. Billep
Oehmigen, M.: In- situ Deformationsanalyse an gehäusten und ungehäusten Siliziumkomponenten.
Betreuer: Dr. S. Kurth, Dr. A. Schubert (IZM Berlin)
Schulze, G.: Entwurf und Test einer mikrofluidischen Struktur.
Betreuer: Prof. W. Dötzel, Dipl.-Ing. C. Kleinsteuber, Dr. M. Tracey (University of Herfordshire)
Ullrich, A.: Untersuchung des Einflusses der Montagetechnik auf Zuverlässigkeit und Kennlinien von Beschleunigungssensoren in Silizium- Oberflächenmikromechanik.
Betreuer: Dr. J. Mehner, Dr. B. Mayhöfer (Robert Bosch GmbH)
Weidner, J.: Untersuchungen zur Übertragbarkeit von Gestaltungsprinzipien der Feinwerktechnik auf Funktionselemente der Mikromechanik.
Betreuer: Prof. W. Dötzel, Dr. Döler
1996
Bochnia, D.: Simulation der Transportvorgänge in Mikrofluidsystemen.
Betreuer: Dipl.-Ing. Nguyen
Böhm, Th.: Geregelte Ansteuerung von mikromechanischen Aktoren zur Laserablenkung mit digitalem Signalprozessor.
Betreuer: Dr. Kurth, Dipl.-Ing. Kehr
Brosche, J.: Entwurf und Realisierung eines integrierten Sensorsystems für einen Montageroboter.
Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dipl.-Ing. Gebhardt (FhG/IOF Jena)
Förster, J.: Permanentmagnetische Volumina auf Si- Strukturen für magnetisch betätigte Aktoren.
Betreuer: Prof. W. Dötzel, Dipl.-Ing. Löchel (ISiT Berlin)
Goldschmidt, A.: Ansteuerung mikromechanischer Schwingspiegel.
Betreuer: Dr. Markert, Dr. Rauch (CMS Niederwiesa), Dipl.-Ing. Schwitzer (Colour Control, Chemnitz)
Hahn, J.-U.: Untersuchungen zum mechanischen Verhalten von 1D- Torsionsaktoren.
Betreuer: Dipl.-Ing. Kehr
Hartig, C.: Dämpfungsoptimierung einer faseroptischen mikromechanischen Schalteinrichtung.
Betreuer: Dr. Markert, Dr. Rauch (CMS Niederwiesa)
Haubold, Th.: Entwurf und praktische Realisierung eines Messplatzes zur automatisierten Messung des statischen Temperaturverhaltens mikromechanischer Elemente.
Betreuer: Dipl.-Ing. Kehr
Helbig, H.: Auswertung für einen Durchflussmengenaufnehmer.
Betreuer: Dipl.-Ing. Nguyen, Dr. Rauch
Höllig, U.: Aufbau einer Messeinrichtung für Drehratesensoren.
Betreuer: Dipl.-Ing. Dittmann, Dipl.-Ing. Wetzel
Kiesow, A.: Zweistellungs- Wegeventil mit großem Hub.
Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dr. Rauch (CMS Niederwiesa)
Kleinsteuber, C.: Methode zur Bestimmung von 3- dimensionalen Ätzratenverteilungen für das orientierungsabhängige Ätzen von Silizium.
Betreuer: Prof. W. Dötzel, Dr. Frühauf, Dr. Ziehlke (GEMAC Chemnitz)
Kummer, J.: Transiente Analyse des Dämpfungsverhaltens bewegter Platten in Luft mit dem FE- System FLOTRAN.
Betreuer: Dr. Mehner
Langguth, L.: Montage von Mikro- und Makrokomponenten.
Betreuer: Dr. Kurth, Dr. Schubert FhG/IZM
Langheinrich, M.: Lokale Deformationsanalyse an Packagingaufbauten mittels Rasterelektronenmikroskopie.
Betreuer: Dr. Kurth, Dr. Schubert (FhG/IZM Berlin)
Matusczak, T.: Entwicklung geeigneter Simulationsmodelle mikromechanischer Sensoren für den Komponenten- und Mikrosystementwurf.
Betreuer: Dipl.-Ing. Billep, Dipl.-Ing. Seidel
Meier, J.: EMV- gerechte Geräteentwicklung.
Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dr. Schubert (LVQ Chemnitz)
Möbius, Th.: Analytische und numerische Betrachtungen zum Wärmeübergang Silizium- Luft an Mikrostrukturen.
Betreuer: Dr. Mehner
Papendick, J.: Unterschungen zur mikrotechnischen Herstellung von Elektroden und deren elektrochemischen Eigenschaften durch Generator- Kollektor- Experimente mit fotokatalysiertem H2O2.
Betreuer: Dr. C. Steiniger, Prof. W. Dözel, Dr. J. Cooper (University of Glasgow)
Richter, St.: Gerät und Demonstrator für magnetisch betätigte Aktoren.
Betreuer: Prof. W. Dötzel, Dr. Küttner
Schmidt, K.: Optimierung des elektrischen und mechanischen Aufbaus einer mikromechanischen faseroptischen Schalteinrichtung.
Betreuer: Dr. Markert, Dr. Rauch (CMS Niederwiesa)
Schönfelder, S.: Aufbau eines FIA- Systems für die Bestimmung stickstoffhaltiger Ionen unter Verwendung eines LIGA- Mikrospektrometers.
Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dr. Wulf (Perkin-Elmer), Dr. Müller (IMT Karlsruhe)
Straka,Y.: Untersuchungen der Eigenschaften eines Mikrofluidsystems am Beispiel eines Durchflussmengensensors.
Betreuer: Dipl.-Ing. Nguyen
Wagner, U.: Kombinierte Eichgitter- Druckammer- Messtechnik zur Qualitätssicherung von Kondensatormessmikrofonen.
Betreuer: Dr. Kurth, Dipl.-Ing. Richter (TU Dresden)
Zwingenberger, G.: Automatische Befüllanlage für Hochdruckgasthermometer.
Betreuer: Dr. Küttner, Dipl.-Ing. Richter (R&R Automatisierungstechnik GmbH, Beierfeld)
1995
Enge, R.: Untersuchungen zum Einsatz von Mikrospiegeln zur Hochauflösung.
Betreuer: Dr. Markert, Dipl.-Ing. Neubert
Gräbner, C.: Entwicklung und Erprobung eines variablen Einspritzventiles.
Betreuer: Prof. W. Dötzel, Dipl.-Ing. Junghans (IVA motor, Chemnitz)
Hähnel, M.: Schnittstellenmodul zur Kopplung des Messdatenerfassungssystems "Lab Windows / CVI" mit dem grafischen Informationssystem "TRiAS".
Betreuer: Dr. Döhler, Dr. Neubert (AMC)
Harnisch, J.: Untersuchungen zur Reproduzierbarkeit des Bewegungsverhaltens mikromechanischer 1D- Aktoren.
Betreuer: Dr. Markert, Dr. Löwe (CMS Niederw.)
Heidinger, Th.: Untersuchung zur Eignung von CAD- Systemen zur Geometriemodellierung für FEM- Berechnungen an mikromechanischen Strukturen.
Betreuer: Dr. Döhler
Hempel, M.: Implementierung eines Messverfahrens zur Bestimmung wesentlicher Technologieparameter von dielektischen Membranen aus deren Eigenfreguenz.
Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth, Dr. Lock (Bosch, Reutlingen)
Herburg, H.: Realisierung eines Systems für die grafische Aufmaßberechnung mit Schnittstelle zur Auftragsbearbeitung im Dachdeckerhandwerk.
Betreuer: Dr. Görlitz, Dipl.-Ing. Seidel (MCDS, Karlsbad)
Herziger, K.: Konzipierung und Aufbau von Gehäusevarianten für mikromechanische Druckmesszellen.
Betreuer: Dr. Küttner
Hesselbart, R.: Durchkontaktierung von Glaselementen.
Betreuer: Dr. Schönherr, Dipl.-Ing. Kurth
Hofmann, M.: Digitale on-line- Filterung von Messsignalen an hochdynamischen Schwingungsmesssystemen.
Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth
Kaden, I.: Miniaturisiertes Ventil für Durchflusssteuerungen.
Betreuer: Dr. Kienscherf, Dr. Rauch (CMS Niederw.)
Karsch, K.: Erzeugung von Ansteuerspannungen für Mikro- Aktoren auf der Basis integrationsfähiger Elektronikstrukturen.
Betreuer: Dr. Markert, Dipl.-Ing. Felber (GEMAC Chemnitz)
Kleiber, T.: Fertigungslinie für Leiterplatten.
Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dipl.-Ing. Fischer (ELCoSoft Chemnitz)
Krebs, R.: Praktikumsversuch: Gerätetechnische Funktionsgruppen.
Betreuer: Dr. Kiehnscherf
Kusche, T.: Prozessarchivierung und Archivnutzung in der Prozessleittechnik.
Betreuer: Dr. Döhler, Dipl.-Ing. Lehngut (ICA Chtz)
Lüdicke, M.: Einsatz kapazitiver, freguenzselektiver Beschleunigungssensoren als Grenzbebeschleunigungssensoren.
Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth
Ludwig, A.: Elektostatische Erregung mikromechanischer Schwinger auf ihrer Resonanzfreguenz.
Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth
Martin, St.: Untersuchungen zur messtechnischen Bestimmung der Abweichung zwischen dem optischen und mechanischen Tool- Center- Point bei der 3D- Laserbearbeitung.
Betreuer: Dr. Küttner, Dr. Schwabe (Ing.-Büro, Chemnitz)
Modelmog, U.: Automatische optische Inspektion für Dickschichtschaltungen.
Betreuer: Dr. Küttner, Dr. Löwe (Siemens AG, München)
Neuhaus, K.: Untersuchung des Restgaseinschlusses in Mikrokavernen von Siliziumdrucksensoren.
Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth, Dr. Baumann (Bosch, Reutlingen)
Otto, J.: Untersuchungen zur Kraftberechnung von Magnetfeldern mit FEM.
Betreuer: Dr. Mehner
Paul, H.: Aufbau einer Steuerung und eines HF- Synthesizers für Kernspintomografieanlagen.
Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth, Dipl.-Ing. Proksa (Philips, Hamburg)
Pohl, F.: 1D-Schwingspiegel mit kombinierter optischer Positionserfassung.
Betreuer: Dr. Markert, Dr. Rauch (CMS Chemnitz)
Prager, A.: Kopplung eines Diagnosegerätes mit dem Kommunikationssystem einer Druckmaschine.
Betreuer: Dr. Döhler, Dr. Diescher (MAN Plamag Plauen)
Räder, H.: KOSMOS - ein Kommunikationsmanager zur Unterstützung logistischer Prozesse wie Qualitäts-, Montage- und Materialflusssteuerung.
Betreuer: Dr. Görlitz, Mercedes- Benz AG (Untertürkheim)
Rode, D.: Erweiterung eines Messwerterfassungssytems mit Kommunikationstechnik.
Betreuer: Dr. Döhler, Dr.Uhlig (ICA Chemnitz)
Rothe, W.: Verarbeitung und Auswertung von Sensorsignalen eines integrieten Lagegebers für eine Schrittfehlererkennung.
Betreuer: Dr Kiehnscherf, Dr. Wendorff (PASIM Suhl)
Scharf, S.: Implementierung von Signalverarbeitungsalgorithnen zur Qualitätssicherung bei Montagevorgängen.
Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth, Dr. Müller (fm automation, Plauen)
Schön, Ch.: Verbesserung mikromechanischer Strukturen zum Einsatz in Blutanalysegeräten.
Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dr. M. Tracey (Universität of Hertfordshire)
Schuffenhauer, A.: Experimentelle und numerische Untersuchungen zum dynamischen Verhalten mikromechanischer Komponenten.
Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth
Tannhäuser, F.: Projekt einer Schaltausrüstung.
Betreuer: Dr. Görlitz, Dr. Haufer (Siemens Chemnitz)
Thiele, I.: Erweiterung der Teilwissensbasis für die handhabungs-, montage- und instandhaltungsgerechte Konstruktion um eine Diagnosekomponente.
Betreuer: Dr. Görlitz
Thoß, F.: Belichtungseinrichtung.
Betreuer: Dr. Markert, Dr. Löwe (CMS Niederw.)
Trampel, S.: Angebotszeichnungen für Kunden der Werkzeugmaschinenfabrik VOGTLAND GmbH in 3D- Darstellung.
Betreuer: Dr. Görlitz
Wagner, T.: Implementierung von Wissen für die handhabungs-, montage- und instand- haltungsgerechte Konstruktion um eine Diagnosekomponente.
Betreuer: Dr. Görlitz
Wibbeler, J.: Untersuchungen zum dynamischen Verhalten mikromechanischer Drehspiegel.
Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth, Dr. Rauch (CMS Niederw.)