Professur für Mikrosystem- und Gerätetechnik






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Ausstattung der Professur

Messtechnik

  • Micro System Analyzer Polytec MSA 500
    • Scanning-Laservibrometer
    • Stroboskopisches Videomikroskop
    • Weißlichtinterferometer
  • Vakuumprober Süss PVM200
  • Waferprober Süss PM8
  • Vallen Acoustic Emission Messsystem AMSY-5
  • Autofokusmesssystem OPM AF-16
  • Rasterkraftmikroskop Bruker NANOS
  • Real-Time Spectrum Analyzer Tektronix 3303B
  • Mixed-Signal Oszilloskop Tektronix MSO 4034
  • Laser-Vibrometer
  • Lichtmikroskope
  • Beschleunigungsaufnehmer
  • Schwingerreger
  • Ladungsverstärker
  • Kapazitätsmessbrücke
  • Wärmebildkamera
Vakuumprober mit MSA 500
Vakuumprober mit Polytec MSA 500
 
Autofokusmesssystem OPM AF16
Autofokusmesssystem OPM AF-16

Software

  • ANSYS Multiphysics
  • Eagle
  • Mathematica
  • Matlab
  • ProEngineer
  • Softmems MEMSPro
  • MathCad