Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik

Aktuelle Forschungsprojekte



  • BMBF-Verbundprojekt "ModElan"
    • Modulplattform für kundenspezifische kompakte Elektroantriebe
    • Projektpartner: EDC Electronic Design Chemnitz GmbH, NAsP III/V GmbH, Matesy GmbH, TURCK duotec GmbH, X-FAB Semiconductor Foundries AG

  • BMBF-Verbundprojekt "SmartFilter - Intelligente Filterüberwachung"
    • Entwicklung eines Systems zur exakten Überwachung von Filterverschmutzung sowie Temperatur
    • Projektpartner: EDC Electronic Design Chemnitz GmbH, TEKA Absaug- und Entsorgungstechnologie GmbH, TURCK duotec GmbH, X-FAB Semiconductor Foundries AG

  • DFG-Forschergruppe 1713 "SMINT - Sensorische Mikro- und Nanosysteme"
    • Bearbeitung von Teilprojekt 7 (MOS-Detection for Nano-Resonators)
    • Integration unterschiedlicher Technologien und Funktionalitäten, um neben der Signal- und Informationsverarbeitung auch die Interaktion mit der Umwelt in einem miniaturisierten System zu ermöglichen
    • Projektpartner: Fraunhofer ENAS

  • Nanosystemintegration (nanett)
    • Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration - Anwendung von Nanotechnologien für energieeffiziente Sensorsysteme
    • Untersuchung zu Weak-Inversion-Schaltungstechniken
    • Projektpartner: Leibnitz-Institut für Innovative Mikroelektronik (IHP)

  • Entwurf von Intellectual Properties für MEMS-Technologien
    • z.Z. 1µm-CMOS-Technologie
    • monolithisch integrierte Drucksensoren
    • Projektpartner: X-FAB Semiconductor Foundries AG

  • In-Die Parameter Variation
    • Charakterisierung von Halbleiterstrukturen in Nanotechnologien
    • Konzeption angepasster Messstrategien
    • Projektpartner: GLOBALFOUNDRIES Inc. Dresden

  • Entwicklung moderner elektrischer Antriebssysteme
  • Elektrischer und physikalischer Entwurf analoger und mixed-signal Grundschaltungen (Design/Präparation/Charakterisierung von Analog-ICs)

  • Erstellung von Simulationsmodellen für SOI-Bauelemente (z.B. DMOS-Hochvolt-Transistoren)

  • Untersuchung und Modellierung von Isolatorstrukturen für High-Voltage-ICs