TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik: Fakultät für Elektrotechnik/Informationstechnik: Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik
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Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik
Das Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik setzt sich aus folgenden Professuren zusammen:
- Professur für Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
- Professur für Mess- und Sensortechnik
- Professur für Mikrosystem- und Gerätetechnik
- Professur für Mikrotechnologie
- Professur für Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme
